【課題】ビーム伝送系のレーザから直接放出されたレーザ光よりもコヒーレンスが低減された光ビームを供給するビーム伝送系を提供する。
【解決手段】投影露光系のビーム伝送系は、キャビティ内の複数の縦レーザモードからレーザ光ビームを生成するレーザを含む。１つの縦レーザモードによって生成される光は平均線幅λ_latを有し、ビームのレーザ光は、ビームの各横位置において、横レーザモードに対応する第２の線幅λ_latを有し、ビームのレーザ光は、その断面全体にわたって平均化した場合、複数の横レーザモードに対応する線幅λ_bを有し、λ_m＜λ_lat＜λ_bである。ビーム上に配置される光遅延装置は、光路差ΔＩを与える。但し、λ₀は第１のレーザ光ビームの光の平均波長であり、λ_latは第２の線幅を表している。 （もっと読む）

【課題】 発振スペクトル線幅の狭小化と、高速な波長掃引と、を同時に達成し得る光源装置を提供する。
【解決手段】 光を増幅させる光増幅媒体と、光導波路と、光の強度を変調する光変調器と、を含んで構成される光共振器を備えた光源装置であって、前記光共振器は、該光共振器を周回する光に対する増幅率が複数の周波数域において、それぞれ極大値と極小値をとるように構成され、前記光の周波数をν、前記光共振器の屈折率をｎ（ν）、前記光共振器の長さをｌ、光速をｃ、自然数をａとして、前記光変調器を変調する周波数ｆｍは、ｆｍ ＝ ａ×ｃ ／（ｎ（ν）×ｌ）を満足し、前記周波数ｆｍに対応して発振周波数が変化すると共に、該発振周波数は前記複数の周波数域における前記極大値をとる周波数に対応して定まり、前記極大値の帯域幅が２×ｆｍよりも大きいことを特徴とする光源装置。 （もっと読む）

【課題】短パルス化とマルチライン発振を同時に達成するＥＵＶ光源装置用ドライバーレーザを実現する。
【解決手段】このドライバーレーザは、（ｉ）短パルスレーザ光を出力するレーザ装置と、レーザ装置から出力される短パルスレーザ光を光パラメトリック発振により広帯域化する光パラメトリック発振装置とを有するレーザ発振器と、（ii）レーザ発振器から出力されるレーザ光を入力し、該レーザ光を櫛状の利得スペクトルで増幅して出力する少なくとも１つのＣＯ_２レーザ増幅器とを具備し、レーザ発振器が、ＣＯ_２レーザの再生増幅器を用いてレーザ光を櫛状のスペクトルを有する光パルスに変換することにより、光パラメトリック発振装置によって広帯域化されたレーザ光を少なくとも１つの増幅器の利得スペクトルに整合させるスペクトル整合器をさらに有する。 （もっと読む）

【課題】薄膜太陽電池パネルのエッジデリーションの加工時間の増大を抑制しつつ、加工品質を向上させる。
【解決手段】光スポットを、矢印３１１ａ，矢印３１１ｂ，・・・，矢印３１１ｋの順に、薄膜太陽電池パネル１０２に対して光学部が進む主走査方向に走査した後、１つ隣の行に移動し、主走査方向と逆方向に走査した後、１つ隣の行に移動する処理を繰り返す。そして、光スポットを矢印３１１ｋの方向に走査した後、矢印３１１ｌの方向に走査し、次の加工ブロックも同様にして光スポットを走査する。この走査を、薄膜太陽電池パネル１０２の辺３０１ａに沿った直線状の領域の薄膜の剥離が完了するまで繰り返す。本発明は、例えば、エッジデリーションを行うレーザ加工装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】 レンズなどの光学系の手段によってレーザビームを均質化する場合、レンズの形状によって定まる特定の位置でしか均一なエネルギ分布が得られなかった。
【解決手段】 レーザ媒質３に入射された被増幅光１ａがトップハット形状のエネルギ分布に成形されたレーザビーム３ａとして出射されるように、前記レーザ媒質３の母材中に添加する希土類イオンのドープ濃度を、前記レーザ媒質３の光軸３ｂの方向と交差する断面３１の中心部３２よりも周縁部３３に近づく程より高くなるよう分布させた構成のレーザ媒質３である。この均質化されたレーザビーム３ａを被加工物に照射して加工を施すレーザ加工装置を使用する。
【効果】 レーザヘッドと被加工物の間の距離が変化した場合でも被加工物の照射面で均一なエネルギ分布が得られる。 （もっと読む）

高利得光ファイバーおよび／または光学パルスの光学ロッド振幅における峻険なパルスを回避および／または補償する制御された高ダイナミックレンジ増幅を有するシードパルス信号のためのＱスイッチレーザーまたはＱシードソースを使用する装置、方法およびシステムである。随意に、光学出力はＬＩＤＡＲまたは照明用に使用される（例えば、画像取り込み用）。いくつかの実施形態において、良好に制御されたパルス形状は、広いダイナミックレンジ、長い持続時間および狭すぎない輝線幅を有して制御される。いくつかの実施形態におぃて、利得媒体を有する光学的空洞内でのＱスイッチを開放すると、増幅が比較的遅く増大し、ここで利得媒体を通る各ラウンドトリップが光学パルスの振幅を増加させ。他の実施形態は、Ｑシードパルスを得るために、準Ｑスイッチ装置又は複数の振幅変調を使用する。これらの構成は、広いダイナミックレンジを有する光学パルスを提供し、非常に高いパワーのＭＯＰＡデバイスにおける峻険なパルス、非線形のスペクトルの広がりなどの問題を改善する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、可干渉距離が短く連続光を発生させることができる光源装置を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様に係る光源装置は、赤外波長域の連続光である第１のレーザー光を発生する第１のレーザー媒質１ａと、第１のレーザー光と略同一波長の連続光である第２のレーザー光を発生する第２のレーザー媒質１ｂと、第１のレーザー光の第２高調波を発生する第２高調波発生用非線形光学結晶２と、第２高調波と第２レーザー光とを和周波混合し、出力１０ｍＷ以上、可干渉距離１ｍ以下の連続出力光を発生させる和周波混合用非線形光学結晶３とを備える。 （もっと読む）

画像形成システム（２００）は、複数の光線（２０４）を発生させる複数のレーザー光源（２０１）と、光線（２０４）をコリメートされた光線（２０５）に適応させる一以上の光学的整列装置（２２０）と、コリメートされた光線（２０５）により画像（２０６）を表示面（２０７）に発生させる光変調器（２０３）と、光学的フィードバック手段（２２１）とを備えており、光学的フィードバック手段（２２１）は、コヒーレンス崩壊状態でレーザー光源（２０１）のそれぞれを動作させて画像（２０６）が表示面（２０７）に表示されるときに現れるスペックルを減少させる。 （もっと読む）

【課題】反射ミラーを設定した角度だけ傾けることにより横モードのマルチビームを実現し、固体レーザー結晶や波長変換素子中のレーザー光の透過領域を拡大して発熱を抑制して安定な固体レーザー装置およびこれを用いた画像表示装置を提供する。
【解決手段】ポンプ用のレーザー光１９を出射する半導体レーザー光源１０と、レーザー光１９の入射により励起され基本波レーザー光２０を発振する固体レーザー結晶１５およびこの固体レーザー結晶１５を挟む位置にそれぞれ配置されたミラー１６、１７を含み構成される光共振器１４と、光共振器１４の内部に配置され、基本波レーザー光２０の波長を変換するＳＨＧ素子１８とを備え、それぞれのミラー１６、１７のうちの１つがレーザー光１９の光軸に対して設定した傾斜角度を設けて配置されている構成からなる。 （もっと読む）

【課題】ワークがエッジ検出用レーザービームに対して透明である場合にも、ワークのエッジを精度良く検出可能なワークのエッジ検出装置を提供する。
【解決手段】エッジ検出用レーザービーム発振手段と、該エッジ検出用レーザービーム発振手段から発振されたエッジ検出用レーザービームのコヒーレンスを低下させ、低コヒーレントエッジ検出用レーザービームに変換するコヒーレンス低下手段と、該低コヒーレントエッジ検出用レーザービームを集光して前記保持面又は前記ワークの表面に照射する集光器と、該保持面又は該ワーク表面で反射した低コヒーレントエッジ検出用反射ビームを第２の光路に導くビームスプリッターと、該ビームスプリッターで第２の光路に導かれた該低コヒーレントエッジ検出用反射ビームを受光して光強度に応じた電気信号を出力する受光素子と、該電気信号に基づいて前記ワークのエッジ位置を求める制御手段と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】アクティブコア（１）、内部クラッド層（２）及び外部クラッド層（３）を備えるアクティブ光ファイバ（１１）のセクションを提供すること。
【解決手段】前記コア（１）の直径及び内部クラッド（２）の厚さは、アクティブ光ファイバ（１１）のセクションの長さ沿って徐々に変化し、これによりファイバ（１１）のセクションの長さに沿って連続モード変換処理を可能とする先細り縦プロファイルを形成する。この先細アクティブ光ファイバのセクションを作成する方法は、プリフォームからアクティブ光ファイバを延伸するためのプリフォームを作成する工程と、プリフォームを延伸タワーに設置する工程と、延伸タワー内の光ファイバを延伸する工程と、光ファイバの延伸中に引き取りプリフォーム速度及び巻き取りファイバ速度を含むふたつのパラメータの少なくともひとつを変更する工程とを備える。 （もっと読む）

光導波路（１００）は、コア（ＣＯＲ１）と、コア（ＣＯＲ１）を囲むバッファ（ＢＵＦ１）と、バッファ（ＢＵＦ１）を囲むクラッド（ＣＬＤ１）とを備え、コア（ＣＯＲ１）、バッファ（ＢＵＦ１）およびクラッド（ＣＬＤ１）は石英ガラスから成り、バッファ（ＢＵＦ１）の屈折率（ｎ_ＢＵ）は、純アモルファス石英ガラスの屈折率に実質的に等しい。バッファ（ＢＵＦ１）は製造中の気泡形成を減少させ、光導波路（１００）の接合を容易にし得る。光導波路（１００）の開口数は、コア（ＣＯＲ１）の屈折率（ｎ_ＣＯ）の変化を補償するために、バッファ（ＢＵＦ１）の半径寸法（ｂ１）を調整することによって微調整され得る。
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【課題】 分光分析機器、製造管理、照明などに用いられる白色光源において、高い出力安定性、高い集光性、高い輝度を備えた白色光を提供する。
【解決手段】 ＡｌＦ_３を２０〜４５モル％、アルカリ土類フッ化物としてＭｇＦ_２を０〜１５モル％、ＣａＦ_２を７〜２５モル％、ＳｒＦ_２を０〜１５モル％、及びＢａＦ_２を５〜２５モル％の範囲で且つアルカリ土類フッ化物を合計で４０〜６５モル％含有し、さらに、Ｙ、Ｌａ、Ｇｄ、Ｙｂ、及びＬｕから選ばれる一種以上の元素のフッ化物を１０〜２５モル％含有するハロゲン化物ガラスに、発光中心となる２価希土類イオンとしてイッテルビウムイオンを含有する白色光発光材料を増幅用媒体として用いる。 （もっと読む）

【課題】波長変換効率を変化させずに、発生させる縦モードの本数を変えられることができるレーザー装置を提供する。
【解決手段】第１の共振器で共振したレーザー光を発振するレーザー発振器１０と、レーザー発振器１０から取り出されたレーザー光の波長を変換するために用いられ、第２の共振器２４で共振したレーザー光を出射する外部共振器型波長変換器２０とを有するレーザー装置１であって、第１の共振器の共振器長が、第２の共振器２４の共振器長の１／１５以下であることを特徴とするレーザー装置。 （もっと読む）

【課題】低価型マルチモード半導体レーザーをポンピング光として用い、希土類添加光ファイバと高非線形光ファイバをリング共振器構造に適用することにより連続波形超広帯域光源を実現することができる連続波形超広帯域レーザー光源共振器及びそれを備える医療用診断機器を提供する。
【解決手段】ポンピング光を共振器内に入射するポンピング光結合器と、上記ポンピング光を入射され所定の波長帯域のシード光に変換する希土類添加光ファイバと、上記希土類添加光ファイバにより変換され共振器内においてオシレイトする光を連続波形超広帯域のレーザー光源に変換させる高非線形光ファイバ、及び上記高非線形光ファイバから発生する超広帯域のレーザー光源を出射するカプラーとを含んでなる連続波形超広帯域レーザー光源共振器を備える。したがって、簡単で低価型の連続波形超広帯域レーザー光源を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】縦マルチモードレーザ光の高調波を出射可能であり、さらに、必要最小限の部材を組み合わせることによって、高効率及び高性能を簡便かつ安価に実現することができるレーザ装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 光源として、縦マルチモードの基本波を出射する半導体レーザと、波長変換素子として、分極反転周期領域を２以上備え、各周期領域がそれぞれ基本波を構成する縦モードに対応する周期Δを有する分極反転素子とを有し前記分極反転素子によって得られる高調波が、縦マルチモードであることを特徴とするレーザ装置。 （もっと読む）

【課題】 レーザ・ビームのスペックルを低減する装置（２００）および方法を開示する。
【解決手段】 装置（２００）は、ライト・ガイド（４５）と、ライト・ガイドの入力面の高反射鏡（４３）と、ライト・ガイドの出射面の部分反射鏡（４６）と、を含む。コヒーレント・レーザ・ビーム（４０）は、高反射鏡内の開孔（４１）を通してライト・ガイドに導入される。ライト・ガイド（４５）の中で、レーザ・ビーム（４０）は、異なる位相シフトと、異なる偏光状態と、およびレーザ・ビームのコヒーレンス長に等しいか、またはレーザ・ビームのコヒーレンス長よりも大きい経路長差と、あるいは、異なる位相シフト、異なる偏光状態、またはレーザ・ビームのコヒーレンス長に等しいか、またはレーザ・ビームのコヒーレンス長よりも大きい経路長差、を有する複数の連続したビームレットに分離される。ビームレットは、部分反射鏡（４６）を通ってライト・ガイド（４５）から出射して、低減されたスペックルを有する出力レーザ光線を提供する。ライト・ガイド（４５）は、透過材料の中空でないライト・パイプ、または反射内部側壁を有する中空のトンネルでありうる。 （もっと読む）

【課題】
安定してレーザ光を発振させることができ、かつ、小型化を実現することができるレーザ光発生装置及びこれを光源として搭載した画像生成装置を提供すること。
【解決手段】
レーザ光発生装置１０では、光共振器１５内で複数の光軸のレーザ光が独立して発振する。したがって、レーザ光発生装置１０に外乱が発生したり、光共振器１５のミラー５〜７の経時変化等があっても、安定してレーザ光を発生させることができる。また、例えば光共振器１５が、複数の光軸でなるレーザ光を反射させるミラー５、６、７等を共有しているので、小型化を実現することができる。すなわち、レーザ光発生装置１０は、１つの光共振器１５で、複数の光軸でなるレーザ光が発生する構成とされているので小型化が図られる。 （もっと読む）

スペックル雑音の減少を伴う可視放射線を放射するレーザ共振器に関し、光共振器は、可視放射線発光レイジング材料の両端に少なくとも２つの鏡によって形成され、その光共振器はマルチモード動作を強化するので、可視放射線発光レイジング材料はスペクトル的に広げられた可視放射線を放射し、スペクトル的に広げられた可視放射線の包絡関数は、１ｎｍ〜１５ｎｍ内の半値全幅（ＦＷＨＷ）を有する。
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【課題】 レーザ加工機のレーザ共振装置において、レーザビームの外径寸法を規制してビームモードを自動的に選択する装置を提供する。
【解決手段】 レーザ発振装置１００は、筐体１１０内でレーザビームＬＢを発振させて、出力レンズ１３０を介して加工トーチ１０へ供給する。レーザビームＬＢの軸心に直交する方向に設けられるビームモード自動選択装置２００は、リニアガイドで案内される絞り部材２２０を有する。ハウジング２１０の外部に設けるシリンダ２４０により駆動されるピストンロッド２４４は一方の極性を有する永久磁石２５０を駆動する。絞り部材２２０にとりつけた他方の極性を有する永久磁石２３０は、非接触で駆動され、絞り部材２２０の開口部２２２，２２４を自動的に選択する。 （もっと読む）