【課題】 交換性、拡張性、及び調整容易性に優れたレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】 レーザビームを出射する光源と、光源を出射したレーザビームのビーム径を変化させるエキスパンダ光学系と、エキスパンダ光学系を出射したレーザビームの断面形状を整形するマスク光学系と、マスク光学系で整形されたレーザビームの断面形状を加工点に転写倍率可変に転写する転写倍率変化光学系と、転写倍率変化光学系を出射したレーザビームを、集光して加工点に入射させる集光光学系と、光源と加工点との間のレーザビームの光路上に配置され、入射するレーザビームの通過と遮蔽とを切り替えることができるシャッタ光学系とを有し、エキスパンダ光学系、マスク光学系、転写倍率変化光学系、集光光学系、シャッタ光学系の少なくとも一つは、一体化されたモジュールとして構成されているレーザ加工装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】スペックルノイズを確実に抑制することが可能な照明装置及びプロジェクターを提供する。
【解決手段】第１の光を射出する第１光源と、第２の光を射出する第２光源と、第１光源により射出された第１の光を少なくとも反射させる反射ミラーを有するとともに、第２光源により射出された第２の光を反射ミラーによって反射された第１の光と合成する光合成光学系８０と、反射ミラーの反射面の形状が波打つように反射ミラーの反射面の形状を時間的に変動させる駆動装置と、を備え、少なくとも第１光源は第１の光としてレーザー光を射出するレーザー光源である。 （もっと読む）

【課題】 良質な加工を行う。
【解決手段】 レーザビームを加工対象物上に、複数の光強度分布のピークをもつビームプロファイルを形成させて入射させる。光強度分布のピークの値をＰ、光強度分布のピーク間の極小値をＡ、加工対象物の加工が可能な光強度の閾値をＳとするとき、
Ｓ＜Ａ≦（Ｐ＋Ｓ）／２
の関係を満たすように、レーザビームを前記加工対象物に入射させる。 （もっと読む）

【課題】自励発振光を抑制し、レーザ光の増幅を効率的に行うことができる極端紫外光源装置用ドライバーレーザを提供する。
【解決手段】このドライバーレーザは、発振によりレーザ光を生成して出力する発振器と、発振器から出力されるレーザ光を増幅する少なくとも１つの増幅器とを有する。増幅器は、レーザ光を入力するための第１のウィンドウ及びレーザ光を出力するための第２のウィンドウを有し、放電により励起された媒体のエネルギーを用いて、第１のウィンドウに入力されるレーザ光を増幅して第２のウィンドウから出力する放電部と、発振器から出力されるレーザ光を放電部の第１のウィンドウに出力し、その後に放電部の第２のウィンドウから出力されるレーザ光を放電部の第１のウィンドウにもう１度出力し、その後に放電部の第２のウィンドウから出力されるレーザ光を所定の方向に出力する光学系とを含む。 （もっと読む）

【課題】ウィンドウのレーザ光による熱負荷による特性の悪化を改善させる。
【解決手段】ウィンドウユニットは、レーザ光を透過するウィンドウと、前記ウィンドウの外縁を保持し、内部に前記ウィンドウの外側または内側の周辺に液体を流す流路が設けられたホルダとが設けられたウィンドウホルダと、を備えていてもよい。流路には、たとえば冷却装置から供給された冷却媒体が流れてもよい。 （もっと読む）

【課題】波長変換素子を精度よく組み付けて、波長変換素子の角度の調整を簡略化することができるようにする。
【解決手段】波長変換素子ホルダ５８に、略直方体状をなす波長変換素子３５の出射面３５ｂが当接してその波長変換素子を位置決めする取付基準面８４を設け、波長変換素子を、取付基準面に当接した状態で接着剤１０６により波長変換素子ホルダに対して固定するようにし、接着剤は、出射面に隣接する頂面３５ｅおよび底面３５ｆと、波長変換素子ホルダにおいて取付基準面に隣接してこれに略平行に形成された凹部８９の底面１０７とに付着するようにする。 （もっと読む）

【課題】組み付け後の波長変換素子の角度調整を不要にして、構造の簡素化により製造コストの削減を図ることができるようにする。
【解決手段】波長変換素子３５を支持する基台３８に設けられた素子保持部５５に、波長変換素子を位置決めする取付基準面６２を、光軸に対して平行に形成する。そして、波長変換素子を、略平行六面体に形成し、その入射面３５ａおよび出射面３５ｂに隣接する４つの面の１つである底面３５ｆを取付基準面に当接させて、分極反転領域の深さ方向が光軸と略直交し、且つ入射面および出射面が光軸方向に直交する平面に対して所定の傾斜角度θで傾斜するように配置する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の光軸に対する波長変換素子の位置および角度を調整してレーザ光の出力を高めることができるようにする。
【解決手段】波長変換素子３５を保持する波長変換素子ホルダ５７を、ホルダ支持部５９に対して、分極反転領域の深さ方向に移動可能に、且つ任意の方向に傾動可能に設ける。特に波長変換素子ホルダ５７に球面状の凸部９１を設け、ホルダ支持部５９に円柱面状の凹部９２を分極反転領域の深さ方向に延在するように溝状に設ける。 （もっと読む）

【課題】自然放出増幅光を発生させる光源装置及び高速成膜が可能な光ＣＶＤを提供すること。
【解決手段】本発明にかかる光源装置は、ガスチャンバ１０２及びウインド１０７を有する。筒状のガスチャンバ１０２は、シランガスが充填され、内部でシランガスを放電させる。ウインド１０７は、ガスチャンバ１０２の一端に設けられる。ウインド１０７は、放電によりガスチャンバ１０２の長手方向に発生する自然放出増幅光（ＡＳＥ）を、ガスチャンバ１０２の外部に透過させる。 （もっと読む）

【課題】ＭＯＰＡ方式ファイバレーザ加工装置に用いるシード用レーザダイオード電源装置において高ピークパワーでパルス幅の短いシード光を安定に発振出力すること。
【解決手段】このシード用ＬＤ電源回路３２は、シードＬＤ３０に供給する電力を蓄積するコンデンサ５０と、このコンデンサ５０を所定電圧に充電する充電部５２とを有している。そして、充電部５２とコンデンサ５０との間に充電用スイッチン素子５４を接続し、コンデンサ５０に対してシードＬＤ３０と直列に放電用スイッチング素子５６を接続している。さらに、放電用スイッチング素子５６を介さずに、シードＬＤ３０と直列に順方向の向きで１個または複数個（Ｎ個）の整流用ダイオード５８を接続するとともに、シードＬＤ３０およびダイオード５８の直列回路と並列に放電バイパス用の抵抗６０を接続している。 （もっと読む）

【課題】冷却効率が高く、アクティブファイバを取付ける作業が容易であり、アクティブファイバに付与される外的要因の振動を吸収することができ、ひいては高出力のレーザ光を発振することのできるアクティブファイバ冷却装置およびそれを備えたファイバレーザ発振器を提供すること。
【解決手段】
長手方向の両端面３、４の間において前記端面から入射された励起光を用いてレーザ光を発振するアクティブファイバ２を冷却するアクティブファイバ冷却装置３１であって、外部から内部に給排される冷媒によって冷却されるヒートシンク３２の表面に対して、アクティブファイバ２の全体を覆う粘着性を有する薄膜状の金属製放熱部材３５によってアクティブファイバ２を密着させるようにして貼り付けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体膜のパルスレーザ光を照射してアニールする際に、適正なパルスエネルギー密度を高くすることなく該パルスエネルギー密度のマージンを大きくすることを可能にする。
【解決手段】パルスレーザ光を出力するレーザ光源と、パルスレーザ光を整形して処理対象の半導体膜に導く光学系と、パルスレーザ光が照射される前記半導体膜を設置するステージとを有し、前記半導体膜に照射される前記パルスレーザ光が、パルスエネルギー密度で最大高さの１０％から最大高さに至るまでの立ち上がり時間が３５ｎ秒以下、最大高さから最大高さの１０％に至るまでの立ち下がり時間が８０ｎ秒以上であるものとすることで、結晶化などに適したパルスエネルギー密度を格別に大きくすることなく、そのマージン量を大きくして、良質なアニール処理をスループットを低下させることなく行う。 （もっと読む）

【解決手段】ライン結像システムは、レーザ２０、第１空間フィルタＳＦ１を挟む第１及び第２円筒形光学システムＣＬ１、ＣＬ２、ナイフエッジ開口５０、円筒形中継システムおよび円筒形集束レンズＣＦＬを備える。第１空間フィルタＳＦ１は、中心ローブ内でライン焦点ＬＦ１を切り捨てるように構成されており、第１光線を形成する。第２円筒形レンズシステムＣＬ２は、遠隔フィールドに配置されており、第１光線の中心強度ローブを通過させ、範囲外の強度ローブを遮断する空間フィルタ処理を実行するように構成されている。結果的にフィルタ処理が２回実行された光線は、ライン像ＬＩの長手方向に関して比較的先端平坦な強度分布を有する。
【効果】ナイフエッジ開口５０以降の切り捨てにより、従来のライン結像システムよりも多くの光が通過する。 （もっと読む）

【課題】ｋＨｚオーダー以上の波面揺らぎに対しても補償可能な、安定で小型な高出力レーザ装置を得る。
【解決手段】光増幅後の各アレイ間の位相誤差を検出する第１の位相誤差検出手段（１１）と、空間伝播後の波面検波を行うことで波面の角度に応じた位置情報を生成する波面センサ（１２）と、位置情報に基づいて空間伝播後の位相誤差を検出する第２の位相誤差検出手段（１３）と、それぞれの位相誤差を補償する第１および第２のフィードバック信号を算出し、いずれか一方を選択して出力する位相制御手段（１４）と、選択後のフィードバック信号に応答し位相誤差の補償を行う光位相変調手段（４）とを有する。 （もっと読む）

【課題】薄膜太陽電池パネルのエッジデリーションの加工時間の増大を抑制しつつ、加工品質を向上させる。
【解決手段】光スポットを、矢印３１１ａ，矢印３１１ｂ，・・・，矢印３１１ｋの順に、薄膜太陽電池パネル１０２に対して光学部が進む主走査方向に走査した後、１つ隣の行に移動し、主走査方向と逆方向に走査した後、１つ隣の行に移動する処理を繰り返す。そして、光スポットを矢印３１１ｋの方向に走査した後、矢印３１１ｌの方向に走査し、次の加工ブロックも同様にして光スポットを走査する。この走査を、薄膜太陽電池パネル１０２の辺３０１ａに沿った直線状の領域の薄膜の剥離が完了するまで繰り返す。本発明は、例えば、エッジデリーションを行うレーザ加工装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の光量を変化させても同じ光波形で出力することのできるレーザ駆動装置、光走査装置並びに画像形成装置を提供する。
【解決手段】レーザ光を出射する光源１と、光源１から出射するレーザ光の光量を一定として光源１のオンオフ駆動制御を行う光源駆動制御部５ａと、光源１から出射されたレーザ光の光路上に配置され、入射するレーザ光の透過率を電気的に変更可能な光量調整素子３と、光量調整素子３の透過率を制御して、光量調整素子３における透過により出射されるレーザ光のピーク光量を調整するピーク光量制御部５ｂと、を備える。 （もっと読む）

【課題】各サブアレーでの位相差の補正と共に各サブアレーの指向角の補正さらに所望の位置への焦点調整を同一の装置により行うフェーズドアレーレーザ装置を提供する。
【解決手段】基準レーザ光源の出力光をサブアレーに分岐し、サブアレーごとに増幅後、コヒーレント加算を行うフェーズドアレーレーザ装置において、前記各サブアレー毎に、前記サブアレーの１つに基づき生成された参照光とサブアレー出力光の合波光を各象限ごとに電気信号にする４象限光検出器９と、サブアレー出力光をコリメートする光学系のための並進駆動機構１１と、前記４象限光検出器からの信号に基づき、参照光とサブアレー出力光の光位相差を検出しサブアレーのための光位相変調器にフィードバック制御すると共に、サブアレー出力光の指向方向誤差を検出し前記並進駆動機構にフィードバック制御するフィードバック制御手段１０と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】共振器から出射される光を高精度かつ適切に調整することができるレーザ光源の調整システムの提供。
【解決手段】レーザ光源１の調整システム１０は、調整用制御手段１３を備え、調整用制御手段１３は、温度調整部１３１と、共振器調整部１３２とを備える。温度調整部１３１は、エタロン３５を共振器３から取り外した状態で光スペクトラムアナライザ１２１にて検出されるスペクトラムのピーク波長と、強度検出部５５から出力される信号に基づいて検出されるヨウ素の飽和吸収線の波長とを一致させるように、ＫＴＰ結晶３４の温度のパラメータを調整する。共振器調整部１３２は、エタロン３５を共振器３に取り付けた状態で光波長計１２２にて検出される波長と、ヨウ素の飽和吸収線の波長とを一致させるように、エタロン３５の温度と、共振器３における共振器長との各パラメータを調整する。 （もっと読む）

【課題】温度特性、及び長期安定性を向上させることができるレーザ光源の提供。
【解決手段】レーザ光源１は、共振器３から出射される光の強度を検出する強度検出部４６と、レーザ光源１を制御する光源用制御手段６とを備える。光源用制御手段６は、光源制御部と、電流調整部とを備える。光源制御部は、強度検出部４６から出力される信号に基づいて、強度検出部４６に入射する光の強度が一定となるように、半導体レーザ２１を駆動する電流を制御する。電流調整部は、半導体レーザ２１を駆動する電流が最小値となるように、ＫＴＰ結晶３４の温度と、共振器３における共振器長との各パラメータを調整する。 （もっと読む）

【課題】 最も硬い結晶面（１１１）面でＣａＦ₂ 結晶をカットし、この結晶面を表面粗さの小さな高精度研磨を行うことにより、潜傷を少なくし、レーザ照射によるＣａＦ₂ 結晶の表面損傷を防止する。そして、Ｐ偏光のフレネル反射率を小さくし、真性複屈折による偏光純度の悪化を防止するＣａＦ₂ 結晶を用いたガスレーザ用光学素子及びそれを用いたガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】 少なくとも入射平面と射出平面のどちらか一方の平面がＣａＦ₂ 結晶の（１１１）結晶面に平行であり、入射平面から入射したレーザ光が［１１１］軸と［００１］軸を含む面内で、［１１１］軸と［００１］軸との間、［１１１］軸と［０１０］軸を含む面内で、［１１１］軸と［０１０］軸との間、又は、［１１１］軸と［１００］軸を含む面内で、［１１１］軸と［１００］軸との間、を通過し、射出平面から射出されることを特徴とする。 （もっと読む）