【課題】厚物のレーザ加工において重要となる加工深さの特性を改善するレーザ加工装置を提供することを目的とする。
【解決手段】波長の異なる複数のレーザL１、L2、L3から出射したレーザ光を同一光軸上にビーム合成してなるレーザ光を集光レンズ６にて、屈折率の波長分散に基づく該集光レンズ６の焦点距離の波長依存性を利用することにより集光し、同一光軸上別々の位置にフォーカスして被加工物Ｗに照射して、かつ、レーザ光を波長の短い順に繰り返して点灯させることにより、厚物材料に対しても高性能の加工を可能にする。被加工材Wの表面から浅い順に加工の中心を移動することにより、加工の効率性を高めることができる。レーザ光のパルス時間幅は、被加工材Wの溶融のタイミングを考慮すると、１ns以上１０s以下がより効果的である。 （もっと読む）

【課題】発振器の破壊を防止することができるとともに、高次モードを含まないシングルモードでレーザ光の増幅を効率的に行うことが可能な極端紫外光源装置用ドライバーレーザを提供する。
【解決手段】このドライバーレーザ１は、レーザ光を発振して出力する発振器４１と、発振器４１から出力されたレーザ光を空間フィルタ処理して出力する空間フィルタ４２と、空間フィルタ４２ら出力されたレーザ光を増幅して出力する増幅器４３と、発振器４１及び増幅器４３を駆動する駆動部４６と、空間フィルタ４２におけるブレークダウンの発生を検出するためのブレークダウンセンサ４４と、ブレークダウンセンサ４４がブレークダウンの発生を検出した場合に、増幅器４３の駆動の停止を駆動部４６に行わせる制御部４５とを具備する。 （もっと読む）

【課題】光の形状や伝搬特性の再現性を維持しつつ転写後の大きさや拡がり角を独立に制御することができる伝送光学系を提供する。
【解決手段】本発明の伝送光学系１０は、像転写光学系と、光形状等加工手段１６を備える。像転写光学系は、光路上の所定の焦点位置を基準点として、基準点の光の像を基準点から所定距離を隔てた投影点に転写する。光形状等加工手段１６は、基準点に配置されており、入射する光の形状又は大きさを限定すること及び当該光の拡がり角を変化させることのうち、少なくともいずれかを行なう。光形状等加工手段は、アパーチャ、レンズまたはこれらの組み合わせからなる。 （もっと読む）

【課題】短辺方向の光強度分布がトップフラット形状である線状の光ビームを簡単な構成で容易に実現できるレーザ光学系およびレーザアニール装置を提供する。
【解決手段】対象物６に向けて、光軸に対して垂直なＹ方向に長く、光軸およびＹ方向に対して垂直なＸ方向に狭い断面形状を有する線状ビームを照射するためのレーザ光学系であって、レーザ発振器１からの光ビーム２を、Ｙ方向に複数の光ビームに分岐し、かつ、Ｘ方向に各光ビームを相対変位させるためのビームシフト光学系３と、分岐された各光ビームに対してＹ方向に関する光強度分布を均一化するためのホモジナイズ光学系４と、均一化された光ビームを対象物６に集光するための集光光学系５などで構成される。 （もっと読む）

ビームの選択された軸方向の強度の対称性を向上させるためのビーム・ミキサー（ビームは軸に沿って第１の端から第２の端まで広がる）が開示され、これは空間的な反転経路を設定する複数のミラーを含むことができる。ビーム・ミキサーに関して、反転経路は始点及び終点を有することができ、経路の始点における第１のビーム端近くのビームの一部分が経路の終点における第２のビーム端に移動することで特徴付けることができる。この態様では、ビーム・ミキサーは、ビームを第１及び第２のビーム部分に分割し、第１の部分を反転経路上に配置し、第１の部分が反転経路に沿って進んだ後、第１及び第２の部分を共通経路上で再結合させてビームを混合する、光学部品をさらに含むことができる。
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【課題】レーザ発振器の熱変形に伴なうミラー支持部材の変形を抑制したレーザ発振装置を提案する。
【解決手段】筐体を有し、この筐体の内部でレーザ光を発生するレーザ発振器、このレーザ発振器で発生したレーザ光を導く第１ミラー、および第１ミラーと平行に配置され第１ミラーからのレーザ光をさらに導く第２ミラーを備え、第１ミラーと第２ミラーがともに共通のミラー支持部材に取り付けられ、このミラー支持部材が、レーザ発振器の筐体に対して、三角形の各頂点に位置する単に３つの固着部材により、機械的に結合された。 （もっと読む）

【課題】 レ−ザダイオ−ドを用いて、発熱量が高く、高輝度な点光源が期待されず、小型化も期待できず、自由な光の取り回しも効率的ではなかったため、高輝度な点光源を必要とし、小型化を可能とする光学ユニットを開発し、無線でも発光部の蛍光体に導通出来るようにしたものである。
【解決手段】 レ−ザダイオ−ドを装着したレセプタクルモジュ−ルに非球面レンズを内蔵させ、レ−ザ光をレ−ザ発振部に集光させ、光ファイバコ−ドによる取り回しの自由度を向上させ、レ−ザダイオ−ドのレ−ザ光を光ファイバコ−ドを介し、または無線で蛍光体の発光部の蛍光体に送光している。 （もっと読む）

【課題】入射光の高出力化に起因する熱効果の影響を効率的に低減することが可能な偏光制御素子を提供すること。
【解決手段】この偏光制御素子１は、ポッケルス効果を有する電気光学材料からなる媒質５と、媒質５を挟むように媒質５の表面に接合された１対の平板状電極６とを有し、入射光Ｏ_ｉｎの入射方向に沿って直列に配置された２つのポッケルスセル３ａ，３ｂと、２つのポッケルスセル３ａ，３ｂの間に設けられ、２つのポッケルスセル３ａ，３ｂ間を伝搬する入射光Ｏ_ｉｎの偏光面を９０度回転させる９０度クオーツローテータ４とを備える。 （もっと読む）

【課題】コストと拡張性に大きな利点を持つ、１つの主発振器に連結した複数の同期増幅器を有するレーザー装置を提供すること。
【解決手段】複数の増幅出力を伴うレーザー装置及び方法を開示する。レーザー装置は、主発振器と、主発振器に結合したビームスプリッタと、ビームスプリッタに光学的に結合した２つ以上の出力ヘッドとを有する。ビームスプリッタは主発振器からの信号を２つ以上のサブ信号に分割する。出力ヘッドはそれぞれ２つ以上のサブ信号のうちの１つを受信する。出力ヘッドはそれぞれ、ビームスプリッタに光学的に結合した結合光学素子を有する。ビームスプリッタと結合光学素子の間に光出力増幅器を光学的に結合する。２つ以上の出力ヘッドからの光出力は目標において空間的には重ならない。主発振器信号はパルス化されるので、出力ヘッドの光出力もパルス化され、実質上互いに同期する。 （もっと読む）

共振器空洞と、共振器空洞の対向する端部に配置される少なくとも第１反射器及び第２反射器と、共振器空洞の外部のポンプ源からのポンプビームによってポンピングされた際に共振器空洞内において共振する連続波基本ビームを生成する共振器空洞内に配置されるレーザー利得媒質と、連続波基本ビームをラマンシフトさせて共振器空洞内において共振する連続波ラマンビームを生成する共振器空洞内に配置される固体ラマン活性媒質と、連続波ラマンビームを変換済み波長に周波数変換して連続波変換済みビームを生成する共振器空洞内に配置される非線形媒質とを有するような可視レーザー出力を生成する連続波ラマンレーザーが提供される。
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【課題】レーザ光の干渉パターンによる強度分布の不均一性を緩和させる。
【解決手段】パルスレーザ発振器１と、レーザ光束を制限するスリット４０と、このスリットを均一に照明する照明光学系３０と位相シフト部２０と、スリット４０を通過した光を被加工対象物６に縮小投影する結像レンズ５と、を有する構成とする。位相シフト部２０で光束を分割して位相をシフトさせ、スリット４０上で重ね合わせて均一化した光束の干渉を抑えて干渉パターンのない均一な加工を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】外部共振器型の波長可変レーザ装置において、小型化とともに、高速かつ安定した波長掃引を可能にする。
【解決手段】レーザ装置１０は、半導体レーザ媒質１１と、半導体レーザ媒質１１から射出した光を波長分散する分散素子である回折光学素子１３と、波長分散された光が入射される空間変調素子１５とを備える。空間変調素子１５は、制御信号に応じて光を変調する複数の画素１５ａを有し、波長分散された光の一部を選択的に反射して帰還させて戻り光とする。半導体レーザ媒質１１と空間変調素子１５が外部共振器の両端部を構成し、半導体レーザ媒質１１の射出端面１１ａから、戻り光の波長のレーザ光Ｌ０が射出される。 （もっと読む）

【課題】第一の目的として、加工幅が10μm以下の微細加工を行う場合でも、熱影響幅を抑制して精密な導電膜のレーザーパターニングを行うことが可能な透明電極付フィルムの製造方法を提供する。
また、第二の目的として、前記透明電極付フィルムを用いることで、良好な視認性を発揮することが可能なタッチパネルを提供する。
【解決手段】焦点距離f₁₂を調整し、加工幅半径wが焦点ビーム半径w_oより小さくなる条件範囲において、加工幅半径wを決定する（加工幅調節ステップ）。そして次に、レーザー強度を低減させ、レーザー強度のガウス分布において、ピーク値を低下させ、加工幅半径wの範囲におけるアブレーション加工に必要十分なレーザー強度を設定する（レーザー強度調節ステップ）。 （もっと読む）

【課題】 室温で動作することが可能な深紫外光を効率良く発生できるレーザ光源を提供することであり、また、この深紫外光レーザ光源により、高い欠陥検出感度を有する小型で安定したマスク検査装置及び露光装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 波長０．９０μｍ以上０．９２μｍ以下のレーザ光を出射する固体レーザと、前記固体レーザから取り出された波長０．９０μｍ以上０．９２μｍ以下のレーザ光の第４高調波を発生させる第４高調波発生部と、前記第４高調波発生部で発生した第４高調波と、波長１．３μｍ帯のレーザ光との和周波の光を発生させる和周波発生部とを備える深紫外光源。 （もっと読む）

【課題】多分岐・ファイバ伝送方式においてレーザ光の集光性、およびビームモード、パワー分割比、開口数等の安定性を向上させ、加工品質を改善する。
【解決手段】このレーザ加工装置は、ファイバレーザ発振器１０、レーザ分岐部１２、レーザ入射部１４、ファイバ伝送系１６、レーザ出射部１８および加工テーブル２０等から構成される。ファイバレーザ発振器１０より発振出力されるファイバレーザ光ＦＢを基に、レーザ分岐部１２でファイバレーザ光ＦＢから複数の分岐レーザＨＡ，ＨＢ，ＨＣへの同時多分岐が行われ、レーザ入射部１４で各分岐レーザ光ＨＡ，ＨＢ，ＨＣの各伝送用光ファイバ４６Ａ，４６Ｂ，４６Ｃへの入射が行われ、レーザ出射部４８６Ａ，４８Ｂ，４８Ｃで各伝送用光ファイバ４６Ａ，４６Ｂ，４６Ｃから各加工点Ｗ_A，Ｗ_B，Ｗ_Cへの各分岐レーザ光ＨＡ，ＨＢ，ＨＣの集光照射が行われる。 （もっと読む）

【課題】小型化、且つ、高出力化可能なレーザ装置を提供すること。
【解決手段】励起光を生成する発光素子１１２を半導体基板１１１上に形成してなる面発光レーザ１１０と、励起光を受けて、励起光とは異なるピーク波長の光を出力する固体レーザ媒質層１２１を、ピーク波長の共振器を構成する第２の反射層１２２，１２３間に配置してなる発光ユニット１２０と、入力光をコリメート乃至集光するマイクロレンズ１３２を含むレンズ部材１３０とを備え、マイクロレンズ１３２として平板型のマイクロレンズを採用し、レンズ部材１３０が面発光レーザ１１０の出力面と発光ユニット１２０の励起光入力面との間に配置されるように、面発光レーザ１１０、発光ユニット１２０、及びレンズ部材１３０を一体的に積層してレーザ装置１００を構成した。 （もっと読む）

【課題】励起光の強度を高めた場合であってもダブルクラッドファイバの入力端面での熱損傷を防止すること。
【解決手段】励起光を発するレーザダイオード２０と、コア４１と、コア４１の外周に形成された第１クラッド４２と、第１クラッド４２の外周に形成された第２クラッド４３とを有するダブルクラッドファイバ４０と、レーザダイオード２０とダブルクラッドファイバ４０の入力端との間に配置され、ダブルクラッドファイバ４０の入力端において、コア４１よりも第１クラッド４２において励起光のパワー密度が高くなるように光学プロファイルを整形して入射させる集光レンズ系３０とを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】半導体レーザ素子の自己結合効果を利用した状態検知を信頼性良く実行することのできるレーザ状態検知機器を提供する。
【解決手段】計測対象物に向けて波長変調したレーザ光を照射すると共に、上記計測対象物にて反射した上記レーザ光が導入される半導体レーザ素子を用い、このレーザ素子における自己結合効果により生じた干渉信号が重畳した照射光を解析して前記計測対象物までの状態を検知するものであって、特に前記レーザ素子から射出される照射光だけを受光可能に設けた状態検知用受光器と、前記対象物による反射光だけを受光可能に設けた対象物検出用受光器とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、使用現場での液体の侵入防止やコネクターに加わる衝撃を吸収して光軸ずれの防止など使用環境に対して安全で安定な装置を提供する。
【解決手段】レーザ発振器１には集光レンズ２を組み込んだレンズブロック３、レンズブロック３には光ファイバ４が組み込まれたプローブ５を接続するソケット部６を有するソケットブロック７が取り付けられている。光ファイバ４の入射位置は数十μｍの精度で調整する必要があり、ソケットブロック７の位置をレンズブロック１３に対して微動させ、集光レンズ２の焦点位置とソケット部６の中心が一致するように調整する。そして、装置の外装カバー８を取り付け、ソケット部６と外装カバー８の隙間に弾性体のキャップ９を取り付ける。その時、キャップ９の側面の凹部ａに外装カバー８の縁をはめ込んで取り付ける。 （もっと読む）

【課題】 中赤外領域の２．７μｍ帯におけるガス吸収線波長において、高効率にコヒーレント光を発生することができるレーザ光源を提供する。
【解決手段】 波長λ_１のレーザ光を発生する第１のレーザ３１と、波長λ_２のレーザ光を発生する第２のレーザ３２と、波長λ_１のレーザ光と波長λ_２のレーザ光とを入力し、１／λ_１−１／λ_２＝１／λ_３の関係にある差周波の波長λ_３を有するコヒーレント光を出力する非線形光学結晶３６とを含むレーザ光源において、波長λ_１は９８０±１０ｎｍであり、波長λ_２は１５３０〜１６３０ｎｍであり、差周波の波長λ_３は波長２．４〜２．８μｍである。 （もっと読む）