【課題】 薄膜干渉を起こした場合でも、レジスト膜の膜厚やマスク基板とガラス基板との間隔等の種々の部材の間隔を測定する。
【解決手段】 相互に異なる発振波長を有する第１のレーザー光源１０Ａから射出する第１のレーザー光ＬＡと第２のレーザー光源１０Ｂから射出する第２のレーザー光ＬＢとをダイクロイックミラー３により合流して、レジスト膜５に斜方から入射させる。レジスト膜５の表面で反射したレジスト膜表面反射光Ｌ１と裏面で反射したレジスト膜裏面反射光Ｌ３とに含まれる２つの波長成分のうち、１つの波長成分が薄膜干渉を起こしたとしても、他方の波長成分の光は光検出器２２によって検出される。光検出器２２で検出された受光位置Ｐ１とＰ３との間隔ＤＲに基づいてレジスト膜５の膜厚を測定する。 （もっと読む）

【課題】コンパクトであり、簡単な構成で出射するレーザ光のパルス幅を変更することができるレーザ装置を提供すること。
【解決手段】レーザ光源１１は、レーザ共振器２１内に波長選択素子３５（複屈折フィルタ）を備えている。波長選択素子３５の回転位置を操作することにより、レーザ媒質３１におけるゲイン（損失）を制御する。これにより、ゲインを低くすることで、レーザ媒質３１から出射される光がレーザ共振器２１のミラー３２，３３間を往復する回数、即ち実質的な共振器長が長くなるとともにその共振器長が変更される。この結果、レーザ共振器２１から出射されるレーザ光Ｌ１のパルス幅が長くなり、そのパルス幅は波長選択素子３５により選択される波長に対応しているため、選択する波長を変更することによりパルス幅が変更される。 （もっと読む）

【課題】 中赤外領域の２．７μｍ帯におけるガス吸収線波長において、高効率にコヒーレント光を発生することができるレーザ光源を提供する。
【解決手段】 波長λ_１のレーザ光を発生する第１のレーザ３１と、波長λ_２のレーザ光を発生する第２のレーザ３２と、波長λ_１のレーザ光と波長λ_２のレーザ光とを入力し、１／λ_１−１／λ_２＝１／λ_３の関係にある差周波の波長λ_３を有するコヒーレント光を出力する非線形光学結晶３６とを含むレーザ光源において、波長λ_１は９８０±１０ｎｍであり、波長λ_２は１５３０〜１６３０ｎｍであり、差周波の波長λ_３は波長２．４〜２．８μｍである。 （もっと読む）

【課題】レーザビーム送光装置を飛行体に搭載する場合に、レーザビーム送光装置への電力供給を人手を要さずに行なうことができ、これにより電力供給における労力の低減を図り、飛行体の総電力使用量を減少させることが可能なレーザ電源制御装置を提供する。
【解決手段】電力制御部１６において、ＧＰＳ／慣性航法装置から得られる航空機の高度情報を利用して、航空機が地上から上空へ上昇する際にその高度がデータベース１６１中の第１しきい値に達した時点、つまり目標Ｔの射程距離外に達した時点で人手を要することなく自動的に送光部１１に対する電力供給をオフし、また航空機が上空から地上へ下降する際にその高度がデータベース１６１中の第２しきい値以下になった時点、つまり目標の射程距離内に入った時点で人手を要することなく自動的に送光部１１に対する電力供給をオンするようにしている。 （もっと読む）

【課題】 SiC単結晶等の基板に励起光を照射することで得られるラマン散乱光のスペクトルから極性半導体であるSiC単結晶等の面極性の判定を行う方法を用い、煩雑な手順を必要とせず、追加工又は修正加工の必要性がなく、さらに判定に要する時間を大幅に短縮し、半導体を破壊することなく半導体の面極性を判定する効果的な方法を得る。
【解決手段】極性半導体の面極性を判定する方法において、極性半導体に励起光を照射して得られるラマン散乱光を測定し、測定したラマン散乱光スペクトルから面極性を判定することを特徴とする極性半導体の面極性判定方法。 （もっと読む）

【課題】レーザ装置の安全性。
【解決手段】レーザの一部を受光すると信号を発生する２つ以上のディテクターを備えており、偏向器がレーザ光でスクリーンを走査する間に、ディテクターが一定時間内に信号を発生しない場合、レーザ光源からのレーザ光の発生を停止するレーザ装置。 （もっと読む）

【課題】動作の安定した自己相似レーザパルスを生成できる線形共振器を有するファイバレーザを生成すること。
【解決手段】本発明は線形共振器を有するファイバレーザに関する。本発明はファイバレーザを提供するが、このファイバレーザは詳細には自己相似パルスを生成するファイバレーザであり、励起光源（６）と線形共振器を含み、前記線形共振器は、２つの反射器（１）と、増幅媒体でドープした偏光維持ファイバ（３）であって、前記増幅媒体により規定される周波数範囲においてゼロより大きい正常分散β_２を有する前記偏光維持ファイバ（３）と、ゼロより小さい異常分散β_２を有する分散補償素子（２）と、ゼロより大きい変調度を有する非線形モード結合素子（１ｃ）と、ファイバ（３）と、分散補償素子（２）と、放射分離素子（８）と、前記共振器（１）によって画定される共通のビームパスにおいて前記２つの反射器（１）の間に配置した非線形モード結合素子（１ｂ、１ｃ）と、を含み、前記共振器の前記ビームパスに配置した構成要素の全体の分散が正常分散であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 マスクの有無に依存せず、被エッチング層の層厚が結晶成長時のばらつきなどによって変動しても、エッチング深さを計測することができるエッチング方法を提供する。
【解決手段】 光源ディテクタＡ部１０に含まれる光源から出射された２つの異なる波長の光は、被エッチング基板３０に照射され、被エッチング基板３０で反射される。被エッチング基板３０で反射された２つの反射光は、被エッチング層の表面および被エッチング層間の境界面で反射された反射光によって生じる干渉光を含む。光源ディテクタＡ部１０に含まれるディテクタは、受光した２つの干渉光の強度をそれぞれ電気信号に変換して、制御部に出力する。制御部は、２つの干渉光のうち振幅の大きいほうの干渉光の周波数から、エッチング速度を求め、求めたエッチング速度とエッチングを行った時間とから、エッチング深さを算出する。 （もっと読む）

【課題】検査対象位置の軸方向および周方向に発生する亀裂およびその深さを容易かつ正確に検出できるレーザ照射装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るレーザ照射装置は、検査対象を検査計測する受信レーザ光Ｌ２を検査対象に照射させる第１光学素子１３と、超音波を励起させる送信レーザ光Ｌ１を検査対象に照射させる第２光学素子１４と、前記第１光学素子１３と前記第２光学素子１４を収容する光学系容器１２とを備え、前記第１光学素子１３の反射位置と前記第２光学素子１４の反射位置とを検査対象の周方向に沿って角度をつけて配置する。 （もっと読む）

【課題】 中赤外光と紫外光を一緒に発生させることが可能で、中赤外光の波長と中赤外光と紫外光のタイミングを調整することができるコンパクトで低コストな中赤外光−紫外光発生装置を提供する。特に、マトリックス支援脱離イオン化飛行時間型質量分析法（ＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳ）において中赤外光と紫外光を一緒に照射することにより光質量物質、特に不溶性たんぱく質試料の質量分析を可能にする方法に利用できる簡便な中赤外光−紫外光発生装置を提供する。
【解決手段】 Ｎｄ：ＹＡＧレーザ１とＣｒ：ｆｏｒｓｔｅｒｉｔｅレーザ２の差周波発生により中赤外光を発生させる波長可変赤外光発生装置において、差周波発生用非線形光学結晶３に向かうＮｄ：ＹＡＧレーザのエネルギーの一部を分岐し、この分岐Ｎｄ：ＹＡＧレーザまたはこの高調波紫外光と波長可変な中赤外光を同時に出力することができるようにした。 （もっと読む）

【課題】 レーザーの高出力化や高効率波長変換を行うことが可能な共振器およびこれを用いた光学システムを提供する。
【解決手段】 インプットカプラーＭ１、Ｍ３と高反射ミラーＭ２、Ｍ４とによりボウタイ型リング共振器１０を構成する。シードレーザー１２から放出されるレーザー光１３を周波数が互いに等しいレーザー光１３ａ、１３ｂに分け、これらのレーザー光１３ａ、１３ｂを増幅モジュール１５、１８で増幅した後にそれぞれインプットカプラーＭ１、Ｍ３に入射させてボウタイ型リング共振器１０と結合させる。この光学システムをレーザー光源として用いる。 （もっと読む）

【解決手段】レーザー監視装置を提供する。本発明の別の態様では、装置は、レーザーと、パルス整形器と、検出装置とを含む。本発明の別の態様は、フェムト秒レーザーと二位相パルス整形（ＢＰＳ）とを採用する。本発明のさらに別の態様は、レーザービームパルスと、パルス整形器と、ＳＨＧ結晶とを使用する。本発明のさらに別の態様では、多光子パルス内干渉位相走査（ＭＩＩＰＳ）法を、フェムト秒レーザーパルスのスペクトル位相の特性を分析し、補正するために使用する。本発明の装置のさらなる態様は、毒素、爆発物質、病原物質を含む化学・生物物質を監視するために使用する。
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【課題】光ノイズの影響を最小限に抑えつつ、駆動電流を少なくしたり、温度変動に対するマージンを大きくする。
【解決手段】出力Ｐを一定にするように駆動電流Ｉopを制御しながら温度を変えて駆動電流Ｉopと光ノイズＮとを測定し、光ノイズＮが許容値以下となる温度領域を探索し、その温度領域に対応する駆動電流Ｉopが最少となる温度で動作するように固体レーザ結晶１３と光共振器の温度を制御する。その温度で動作させていて光ノイズＮが許容値Ｎthを超えると、温度領域の最低値と最高値の中間の温度で動作するように温度を変更する。
【効果】光ノイズの影響を最小限に抑えつつ、駆動電流を少なく抑えることが出来る。光ノイズＮが許容値Ｎthを超えると、光ノイズＮの影響のない動作ポイントに迅速に移行させることが出来る。 （もっと読む）

【課題】計測基準点を正確に設定して、レーザ素子の自己結合効果を利用した距離計測を信頼性良く高精度に実行することのできるレーザ測長器を提供する。
【解決手段】計測対象物に向けて波長変調したレーザ光を照射すると共に、上記計測対象物にて反射した上記レーザ光が導入される自己結合型のレーザ素子の前面に設けられて、例えば前記レーザ素子を保護する透明カバー、または前記レーザ素子からのレーザ光を計測対象部位まで導く光ファイバ等からなる透明体の片面にだけ無反射防止処理を施し、上記透明体の無反射防止処理を施していない面を計測基準点として用いる。 （もっと読む）

【課題】 ライン光の光量の変動を防止することのできるレーザー墨出器の提供。
【解決手段】 レーザー墨出器１は、レーザー光源２４と、ビームスプリッタ２３０と、広角レンズ２６ａ、２６ｂ、２６ｃと、鉛直機構２２とを備えている。ビームスプリッタ２３０は、レーザー光源２４から出射されたレーザービームを複数の異なる方向へのレーザービームに分割する。広角レンズ２６ａ、２６ｂ、２６ｃは、ビームスプリッタ２３０によって分割されたレーザービームをライン光へ変換する。鉛直機構２２は、分割されたレーザービームが広角レンズ２６ａ、２６ｂ、２６ｃから水平面に対して所定方向に出射されるようにビームスプリッタ２３０を支持する。ビームスプリッタ２３０は、一方の面に無偏光被膜２３３ａが付加されたハーフミラー２３３を有し、レーザービームは、前記一方の面に入射する。 （もっと読む）

【課題】 レーザー光源の数を減じることにより製造コストの低減を図ることができるレーザー墨出器の提供。
【解決手段】 ビームスプリッタによって分岐されたレーザー光源からのレーザービーム１４Ａを２２０°のライン光に広角化するための天井広角レンズ部１７は、最入射側１７Ａと最出射側１７Ｂとを結ぶ方向に積層配置された第１シリンドリカルレンズ１７１と、第１サブシリンドリカルレンズ１７２と、第２サブシリンドリカルレンズ１７３とにより構成されている。第１シリンドリカルレンズ１７１は入射側に凹レンズ面１７１Ｂ、出射側に凸レンズ面１７１Ａを有する。第１サブシリンドリカルレンズ１７２は入射側、出射側にそれぞれ凹レンズ面１７１Ｂ、１７１Ａを有する。第２サブシリンドリカルレンズ１７３は第１サブシリンドリカルレンズ１７２と同一形状である。 （もっと読む）

【課題】 酸化アルミニウムの形成を低減する炉内アルミニウム処理方法を提供する。
【解決手段】 少なくとも１つのバーナーに供給される酸化剤が酸素を１０体積％以上、好ましくは２１体積％以上を含有し、前記酸化剤の流量が実質的に一定になる間にアルミニウム溶湯の酸化が減少する最終段階で、少なくとも１つのバーナーに噴射される燃料の流量が前記雰囲気中または煙道ガス中の金属酸化物一酸化炭素ＣＯ_moおよび／または金属酸化物水素Ｈ_2moの濃度に従って選択されるか又はその逆に前記濃度が前記燃料流量に従って選択され、この金属酸化物一酸化炭素ＣＯ_moおよび／または金属酸化物水素Ｈ_2moの濃度は、前記炉内にチャージがないことを除いては、前記測定された種濃度と固有ＣＯとの間の差分として、または前記少なくとも１つのバーナーを持つ炉内の燃料と酸化剤との燃焼によって生じるＨ₂種濃度として算出される。
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【課題】 極短パルスレーザ光を出射するパルスレーザ光源の個体差、パルスレーザ光源から発せられる極短パルスレーザ光の波長が変化しても、試料の同一深さ位置にビームウエストを配置する。
【解決手段】 極短パルスレーザ光Ｌを出射するパルスレーザ光源４と、該パルスレーザ光源４から発せられた極短パルスレーザ光Ｌを試料Ａに照射し、試料Ａにおいて発せられた蛍光Ｆを観察する観察装置本体３と、パルスレーザ光源４と観察装置本体３との間に配置され、パルスレーザ光源４から発せられる極短パルスレーザ光Ｌの光束径およびビームダイバージェンスを調節する入射調節装置２６とを備える多光子励起型観察装置１を提供する。 （もっと読む）

波面センサは、切除した試験面の１つまたは複数の特徴を測定することによって、レーザ眼科手術システムのようなレーザ切除システムの較正を向上させる。通常、光は切除した試験面を通過し、光を分析して試験面の特徴を求める。幾つかの実施形態では、切除した試験面を治療平面に沿って位置決めする。幾つかの実施形態では、光はハルトマン・シャック・センサのような波面センサを通過して、光を電気信号に変換する。次に、プロセッサは電気信号を、試験面の高次収差および／またはアーティファクト、屈折力測定値、形状測定値などを示す表面マップのようなデータへと変換する。次に、生成されたデータを使用して、レーザ外科システムを較正する。
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【課題】この発明は、簡単な装置構成により仕様の異なる複数種類の光回折媒体を検査できる光検出装置を提供することを課題とする。
【解決手段】光検出装置１０は、開閉可能なスクリーンＳを有する暗箱２内にレーザ光源４および光吸収部材６を有する。光源４からのレーザ光が透明な底面２ａを介してホログラムＦに照射されて回折される。このとき、回折されずに反射された反射光が光吸収部材６にて吸収され、オペレータの目に直接入射することが防止される。 （もっと読む）