【課題】単列構成で、パルスレーザ光の１パルス当り又は単位時間当りのエネルギーを抑えながら大きな出力を達成できる極端紫外光源用ドライバレーザを提供する。
【解決手段】このドライバレーザは、レーザ光をターゲットに照射することによりターゲットをプラズマ化して極端紫外光を発生させる極端紫外光源装置において用いられるドライバレーザであって、レーザ媒質としてＣＯ_２を用いて、時間と共に強度が増加するパルスレーザ光を生成する発振段レーザ装置と、発振段レーザ装置から出力されるパルスレーザ光を、時間と共に減少する増幅率で増幅することにより、レーザ光のパルス幅を伸長する少なくとも１つの増幅器を含む増幅段装置とを具備する。 （もっと読む）

【課題】モジュールの設置及びメンテナンスをしやすくする。
【解決手段】レーザ光を発振する発振器と、発振器を支持する支持部とを含む第１のモジュールと、レーザ光を伝送するビーム伝送器と、ビーム伝送器を支持する支持部とを含む第２のモジュールと、レーザ光を増幅する増幅器と、増幅器を支持する支持部とを含む第３のモジュールと、のうちの少なくとも２つのモジュールと、少なくとも２つのモジュールが載置されるフレームであって、少なくとも２つのモジュールの各々につき、支持部が載置されるマウントを含むフレームと、を含んでいてもよい。 （もっと読む）

【課題】安定したレーザ光を出力する。
【解決手段】レーザ装置は、それぞれシード光を出力する複数のマスタオシレータと、前記複数のマスタオシレータから出力された複数のシード光を再生増幅し得る再生増幅器と、前記複数のシード光を前記再生増幅器に入射し、且つ、前記複数のシード光のうち少なくとも１つを他のシード光と異なる入射角度で前記再生増幅器に入射する光学系と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】パルスレーザ光のパルスエネルギーを制御する。
【解決手段】レーザシステムは、それぞれ異なる波長のパルスレーザ光を出力するように構成された複数のマスタオシレータと、前記パルスレーザ光を増幅するように構成された少なくとも1つの増幅器と、前記複数のマスタオシレータから出力されるパルスレーザ光の光路上の少なくともいずれかに設置され、供給される電圧によって入力されるパルスレーザ光の透過率を調節するように構成された光シャッタと、前記光シャッタに電圧を供給するように構成された電源と、前記光シャッタと前記増幅器との間のパルスレーザ光路上に設置され、前記複数のマスタオシレータから出力されるパルスレーザ光の光路を一致させるように構成された光路調整器と、前記電源が前記光シャッタに供給する電圧を、前記パルスレーザ光の少なくとも１パルス毎に調整するように構成されたコントローラと、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】小型で、レーザ光の増幅を効率良く行うことができ、増幅されたレーザ光の集光性に優るドライバレーザを提供する。
【解決手段】このドライバレーザは、発振によりレーザ光を生成するレーザ発振器と、レーザ発振器によって生成されるレーザ光を入力し、該レーザ光を増幅して出力する少なくとも１つのスラブ型レーザ増幅器とを具備し、少なくとも１つのスラブ型レーザ増幅器が、第１のウィンドウ及び第２のウィンドウを有し、炭酸ガス（ＣＯ_２）を含む気体で充たされたチャンバと、チャンバ内に配置され、高周波電圧が印加されることにより形成される放電領域において気体を励起してレーザ光を増幅する一対の電極と、チャンバ内に配置され、第１のウィンドウから入射するレーザ光を多重反射することにより放電領域内を伝播させて第２のウィンドウから出射させる複数のミラーを有する光学系とを含む。 （もっと読む）

【課題】エネルギー変換効率を向上する。
【解決手段】レーザ装置は、一方の主面側に入射した第１レーザ光の一部を第１反射光として反射するとともに残りの一部を第１透過光として透過し、且つ、他方の主面に入射した第２レーザ光の一部を第２透過光として透過するとともに残りの一部を第２反射光として反射するミラーと、前記第１透過光と前記第２反射光との光軸、もしくは、前記第１反射光と前記第２透過光との光軸が略一致するように、前記ミラーへ前記第１および第２レーザ光を入射させる光学系と、前記第１透過光または前記第１反射光のビームパラメータを計測する第１計測部と、前記第２反射光または前記第２透過光のビームパラメータを計測する第２計測部と、前記第１計測部の計測結果に基づいて前記第１レーザ光を調整する第１調整部と、前記第２計測部の計測結果に基づいて前記第２レーザ光を調整する第２調整部と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】光共振器のフィネスを高くしても、共振を安定させることができると共に、光共振機内にレーザー光を蓄積させることにより従来装置と比較してより強いレーザー光を発生可能なレーザー発振装置を提供する。
【解決手段】励起用のレーザー光を発生する励起用レーザー光源と、励起用レーザー光源で生成されたレーザー光が供給されたとき、所望波長のレーザー光を生成するファイバ増幅器と、光共振器と、光共振器とファイバ増幅器との間に介挿され、ファイバ増幅器からのレーザー光を光共振器の一方に導き、逆方向のレーザー光を遮断する光アイソレータと、光共振器の他方から出射されるレーザー光を取り込み、ファイバ増幅器、光アイソレータを介し、光共振器に戻し、共振を促進させる光周回路と、光周回路内のレーザー光を振幅変調する変調器とを備える。 （もっと読む）

【課題】単色性の高いレーザーコンプトン光を得る。
【解決手段】偏向空洞１３を通過した電子パルス１２は、線形加速器１４を通過する。線形加速器１４中において、この電子パルス１２は高周波加速を受け、高エネルギー電子パルス１５となる。レーザー光源１６は、可視光あるいは近赤外光でありパルス状のレーザー光１７を発する。レーザー光１７は、反射鏡１８で反射されて、高エネルギー電子パルス１５と衝突点１９で衝突する設定とされる。衝突点１９から、高エネルギー光（Ｘ線、ガンマ線等）とされたレーザーコンプトン光２０が発せられる。偏向空洞１３によって電子パルス１２はその進行方向に対して傾斜角をもち、衝突点１９においては、この傾斜角が大きくなった状態となるような設定とされる。 （もっと読む）

極紫外光システムは、増幅光ビームを生成する駆動レーザシステムと、ターゲット位置でターゲット材料を生成するように構成されたターゲット材料送出システムと、駆動レーザシステムから出射された増幅光ビームを受け取り、かつ増幅光ビームをターゲット位置に向けて誘導するように構成されたビーム送出システムと、計測システムとを含む。ビーム送出システムは、ターゲット位置に増幅光ビームを集束させるように構成かつ配置された収束レンズを含む。計測システムは、収束レンズから反射した増幅光ビームの一部分と収束レンズから反射した案内レーザビームの一部分とを集光するように構成された集光システムを含む。集光システムは、これらの部分を光学的に分離するように構成された二色性光デバイスを含む。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ放射放出プラズマの変換効率を高めることができる放射システムおよびリソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】放射システムは、軌跡に沿ってターゲット材料の小滴を供給するターゲット材料源と、増幅器および光学系を含むレーザシステムとを含む。光学系は、増幅器を通過および軌跡上の第１地点を通過する第１ビームパスを確立し、かつ増幅器を通過および軌跡上の第２地点を通過する第２ビームパスを確立する。レーザシステムは、増幅器から放出された光子が軌跡上の第１地点におけるターゲット材料の小滴によって第１ビームパスに沿って反射された場合にレーザ放射の第１パルスを生成する。レーザシステムは、増幅器から放出された光子が軌跡上の第２地点におけるターゲット材料の小滴によって第２ビームパスに沿って反射された場合にレーザ放射の第２パルスを生成する。 （もっと読む）

【課題】高効率で安定してＥＵＶ光を発生させることができるＥＵＶ光源装置用ドライバレーザシステムを安価に提供する。
【解決手段】このドライバレーザシステムは、ＭＯＰＡ（master oscillator power amplifier）方式に従って構成されたレーザシステム３であって、単一のレーザ発振器３０１においてレーザ光を発生し、該レーザ光のパルス幅が所定の値まで短くなるようにレーザ光のパルス幅を制御して、並列して配置された複数の放電励起式ガスレーザ増幅系３０４（１）及び３０４（２）並びに３０５（１）及び３０５（２）において該レーザ光を増幅するレーザシステム３と、複数のレーザ増幅系からレーザ光が順次出射するようにレーザシステム３の動作タイミングを制御するレーザシステム制御装置４とを含む。 （もっと読む）

【課題】省エネルギー化を促進するとともに、装置の小型化を促進することができるガスレーザ装置用温度調節装置を提供すること。
【解決手段】精度の高い温度調節を必要とする放電部１１ａ〜１４ａと放電部１１ａ〜１４ａに比して低い精度の温度調節を必要とし放電部１１ａ〜１４ａに比して高い温度の温度調節を許容する電源部１１ｂ〜１４ｂとを有した複数のレーザ装置を温度調節するガスレーザ装置用温度調節装置であって、各放電部１１ａ〜１４ａを温度調節する冷却水を生成するチラー３２と、各電源部１１ｂ〜１４ｂを温度調節する冷却水を生成するチラー３１と、チラー３２と各放電部１１ａ〜１４ａとを並列接続する配管Ｌ２と、チラー３１と各電源部１１ｂ〜１４ｂとを並列接続する配管Ｌ１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】エネルギービームの照射により発生させたプラズマを、高い密度を維持した状態で、プラズマの発生地点よりも離れた領域に供給できるようにすること。
【解決手段】タ一ゲットチャンバー１１内のターゲット１３にレーザビームを集光照射しターゲット１３からプラズマを発生させる。発生したプラズマはレーザビームが照射される方向に広がり、加速空洞２１に供給されて加速される。ターゲット１３の表面は、レーザビームの集光点よりも入射側にずらして配置されており、プラズマは指向性がよくかつ高い密度を保ちながら、プラズマの発生地点よりも離れた領域まで輸送される。また、本発明を、放電領域外に配置された極端紫外光放射種にレーザビームを照射し、発生したプラズマを放電領域に供給して、極端紫外光（ＥＵＶ）を発生させるＥＵＶ光源装置にも適用でき、プラズマを高い密度を維持した状態で放電領域に供給することができる。 （もっと読む）

【課題】テープ状のターゲット上にパルスレーザー励起光を線状に集光する構成を用いて、安定してＸ線レーザーを発生させる。
【解決手段】テープターゲット１１の巻き取り方向における一端は第１のリール１２に固定され、かつ初期状態では第１のリール１２に巻き付いた状態とされる。このＸ線レーザー発生装置１０においては、テープターゲット１１へのパルスレーザー励起光の照射時に、第１のモータ１５及び／又は第２のモータ１７に回転トルクを発生させることによって、テープターゲット１１に張力が働く構成とされる。特に、パルスレーザー励起光が照射される、２つのターゲット支持用ローラ２４間の領域においてこの張力が働く構成とされる。 （もっと読む）

【課題】安定度がすぐれ、高品質で、従来のものにくらべ格段に強度の高い強光電磁場を発生することができる強光電磁場発生器を提供する。
【解決手段】チャープパルス増幅を利用した光発振器内に設けた強光電磁場発生器は、光発振器が、広帯域あるいは複数の帯域に対する光エネルギー変換能を有し、光共振器から発振する発振光への光エネルギー変換を行う光増幅媒体１と、前記発振光であるパルス光に対して負の分散を与える負の分散素子２と、前記パルス光に対してモード同期作用を与えるモードロック部３と、前記パルス光に対して正の分散を与える正の分散素子４と、光学系と、少なくとも負の分散素子２、モードロック部３、および正の分散素子４を内部に収容する真空チャンバー１１とを備え、負の分散素子２または正の分散素子４からのパルス光を取り込み、強光電磁場発生点（マイクロフォーカスポイント）２８を真空チャンバー１１内に形成させる。 （もっと読む）

【課題】本発明のＥＵＶ光源装置は、高い熱負荷状態において、可飽和吸収体を安定して連続的に使用することができる。
【解決手段】可飽和吸収体（ＳＡ）装置３３は、自励発振光や寄生発振光あるいは戻り光のような微弱な光を吸収するために、レーザビームライン中に設けられる。ＳＡガスボンベ３３４（１）からのＳＡガスとバッファガスボンベ３３４（２）からのバッファガスとは混合されて、混合ガスとなる。混合ガスは、供給管路３３３（１）を介して、ＳＡガスセル３３０に供給され、レーザ光Ｌ１に含まれる微弱光を吸収する。混合ガスは、排出管路３３３（２）を介して排出され、熱交換器３３２に送られる。熱交換器３３２で冷却された混合ガスは、循環ポンプ３３１（１）により、再びＳＡガスセル３３０に送られる。 （もっと読む）

本発明は、単色Ｘ線を生成するための高速ピコ秒パルス化レーザと共に使用し得る、ファブリーペロ型の増幅光共振器に関する。本発明は、平均出力Ｐ_ＭＯＹで高い安定性を有する強力集束されるポンプ化レーザビームを得るために使用し得るファブリーペロ型の増幅光共振器に関する。本発明は、より具体的には、高速ピコ秒ポンプ化レーザビーム（１２）と同期電子ビームとの間のＣＯＭＰＴＯＮ反応によって単色Ｘ線を生成するためのファブリーペロ型の増幅光共振器（４０）に関し、共振器は真空下に配置し得る閉塞囲壁（４２）を含み、閉塞囲壁を通じて電子ビーム管（４６）が延び、囲壁（４２）は、レーザビーム入力手段と、２つの平面光反射器（Ｍ１，Ｍ２）を維持し且つ位置決めするための手段と、相互作用地点で電子ビームと集束し得る２つの球面光反射器（Ｍ３，Ｍ４）を維持し且つ位置決めするための手段とを含む。光反射器（Ｍ１乃至Ｍ４）を維持し且つ位置決めするための手段は、光反射器（Ｍ１乃至Ｍ４）が四面体の頂点を実質的に定めるよう配置される。

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【課題】電子ビームとレーザ光の正面衝突が実現でき、かつ衝突点におけるレーザ光のプロファイルを運転中に計測することができ、これにより、衝突確率が高くＸ線の発生出力を高めることができ、かつ衝突点で発生したＸ線をレーザ光の導入方向から効率よく取出すことができるＸ線発生装置用のレーザ導入兼Ｘ線取出機構を提供する。
【解決手段】レーザ光３を電子ビーム１との衝突点２ａに向けて反射するレーザ導入ミラー３２と、レーザ導入ミラーを気密に囲みかつ電子ビームの通過するビームチャンバ１ａと連通するレーザチャンバ３４と、ビームチャンバとレーザチャンバとの間を気密に開閉可能な真空バルブ３６と、衝突点で発生しレーザ導入ミラーを透過したＸ線をレーザチャンバから取出すＸ線取出し窓３８と、レーザ導入ミラーを透過したレーザ光３ａのプロファイルを運転中に計測するプロファイル検出装置４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】電子または電子ビームの発生タイミングが揺らぐ場合でも、電子ビームとレーザ光の実衝突点を予定衝突点またはその近傍に精度よく位置決めすることができ、これにより、Ｘ線の発生出力を高め、かつＸ線の仮想焦点の変動を防止して、これを用いて撮像した像の解像度を高めることができる電子ビームとレーザ光の衝突タイミング調整装置および方法を提供する。
【解決手段】電子ビーム１の通過時からそれが予定衝突点９ａに到達するまでのビーム遅延時間ｔ_Ｂが、レーザ光３の発生指令からそれが予定衝突点９ａに到達するまでのレーザ遅延時間ｔ_Ｌよりも、所定の遅延時間Δｔ以上に長くなるように、電子ビームの通過経路上に電子ビーム検出装置３４を設ける。この装置３４により、電子ビームに影響を与えることなくその通過を検出し、その検出後、所定の遅延時間Δｔ（＝ｔ_Ｂ―ｔ_Ｌ）の経過後に、レーザ光指令遅延回路３６からレーザ光の発生指令を出力する。 （もっと読む）

【課題】電子ビームとレーザ光の正面衝突ができ、これにより、衝突確率が高くＸ線の発生出力を高めることができ、高周波の調整や電子ビーム軌道の変化が少なく、かつレーザ本体およびレーザ光路を追加することなく発生するＸ線のエネルギーおよびその波長を変化させることができるＸ線発生装置の波長変更装置および方法を提供する。
【解決手段】電子ビーム１とレーザ光３の所定の衝突点２ａにおける衝突角θを調整する衝突角調整装置３０，４０を備える。衝突角調整装置３０は、レーザ導入ミラー３２、レーザ導出ミラー３４、導入ミラー制御装置３６および導出ミラー制御装置３８を備える。衝突角調整装置４０は、入射偏向磁石４２、出射偏向磁石４４、入射偏向磁石制御装置４６および出射偏向磁石制御装置４８を備える。 （もっと読む）