【課題】精密測定装置に振動等が発生した場合に位置決め制御装置の制御ゲインを調整する際、その調整時間の短縮化、及び、ゲイン調整に掛かる労力の軽減化を図ること。
【解決手段】位置決め制御装置１００は、位置補償部１０、速度補償部２０、電流補償部３０、設定テーブル４０及びゲイン選択手段５０を有する。位置補償部１０は目標位置及び検出位置の位置偏差を得て、これに基づき目標速度を制御する。速度補償部２０は、目標速度及び検出速度の速度偏差を得て、これに比例ゲインＫｐを掛けた値及び速度偏差の積分に積分ゲインＫｉを掛けた値の加算値をモータの目標電流として出力する。電流補償部３０は、目標電流及びモータの検出電流の電流偏差を得て、これに基づいて駆動電流を制御する。ゲインＫｐ、Ｋｉの設定値の組合せが複数通り設定テーブル４０に記憶されており、選択手段５０で選択された組合せに各ゲインが書き換えられるようになっている。 （もっと読む）

【課題】観察サンプルを載置する可動テーブルをウォーキング形ピエゾモータにより駆動するピエゾステージと、前記ピエゾステージの移動を制御するステージ制御装置を有するステージ装置において、ピエゾステージの周期的な速度変動を抑制して、観察者がサンプルの移動を行う際の操作性と位置決め精度を向上する。
【解決手段】ピエゾステージ１のウォーキング形ピエゾモータ１０２を駆動する指令電圧標準データ３０４と、前記ウォーキング形ピエゾモータ１０２の出力に一定速度を与える様に予め測定した指令電圧出力タイミング補正データ３０５と、少なくとも前記指令電圧標準データ３０４および前記指令電圧出力タイミング補正データ３０５から前記ウォーキング形ピエゾモータ１０２を駆動する指令電圧を生成する指令電圧生成部３０２を有するステージ装置３が提供される。 （もっと読む）

【課題】スライディングモード制御により波動歯車装置の非線形特性を補償するアクチュエータの位置決め装置を提案すること。
【解決手段】位置決め装置のスライディングモード制御器は、位置指令θ_ｌ^＊、制御対象を表す状態変数ｘを入力として制御対象への制御入力ｕを生成する。制御対象は次式で規定する。


スライディングモード制御系の切換面は設計変数Ｓで規定する。


制御入力ｕは、σを切換関数、ｋを切換ゲイン、として、線形状態フィードバック制御項ｕ_ｌと非線形制御入力項ｕ_ｎｌの和である。
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【課題】移動体を精度良く駆動する。
【解決手段】 ウエハステージＷＳＴの位置情報は、ウエハＸ干渉計１８Ｘ_１，１８Ｘ_２、ウエハＹ干渉計１８Ｙ等と、該干渉計に比べて計測値の短期安定性が優れるエンコーダ５０Ａ，５０Ｂ等とを用いて計測される。エンコーダ５０Ａ，５０Ｂ等は、計測値の短期安定性が良好であるので、ウエハステージＷＳＴの２位置情報が精度良く計測される。ウエハステージＷＳＴは、エンコーダ５０Ａ，５０Ｂ等の計測範囲内では、それらの計測結果に基づいて精度良く駆動される。 （もっと読む）

【課題】フルクローズド位置制御に於いて、送り軸機構部の剛性が低下した場合でも、低周波の振動が発生することなく、安定に動作させる位置制御装置を提供する。
【解決手段】被駆動体の位置検出値Ｐｌとモータの位置検出値Ｐｍの差分を入力とした１次遅れ回路１７の出力と、モータの位置検出値Ｐｍを加算した位置検出値を位置フィードバック値として使用する位置制御装置において、経年変化補正器３０が被駆動体の振動を検出した場合に、前記１次遅れ回路１７の時定数Ｔｐが大きくなるように可変することで低周波振動の発生を抑制する。 （もっと読む）

【課題】サーボロック時の消費電力を削減することができる送り装置を提供する。
【解決手段】送り装置１は、ボールねじ２１，ナット２３，駆動モータ２４，ブレーキ機構２５及び制御装置５０を備え、移動体１３を上下方向に移動させる。制御装置５０は、移動体１３に関する早送りの移動指令を認識すると、移動体１３を現在位置から上方向に移動させる場合には、早送りの移動指令に係る目標移動位置を越えて移動体１３を移動させた後、移動方向を反転させて目標移動位置に移動体１３を移動，停止させる一方、現在位置から下方向に移動させる場合には、移動体１３を目標移動位置に直接移動，停止させるとともに、移動体１３を目標移動位置に移動，停止させた後、駆動モータ２４によって移動体１３の位置を停止位置に維持し、且つブレーキ機構２５によって移動体１３の移動を制動する。 （もっと読む）

【課題】平面上の任意の位置にスライド操作可能な操作部に対しフォースフィードバック制御を行うことで、汎用性の高い二次元スライド操作タイプのシフト装置を提供する。
【解決手段】シフト装置１は、ＸＹ平面上の任意の位置へスライド操作可能なスライド操作部２０と、スライド操作部の操作状態を検出するＸ軸及びＹ軸リニアエンコーダ１６１，１６２と、スライド操作部に力を付与するＸ軸及びＹ軸ボイスコイルモータ１４，１５とを備える。力覚制御部は、予め定められたシフトチェンジ操作の軌道である操作許容エリアの外縁部に「反力の壁」を生じさせるフォースフィードバック制御を行うことにより、軌道を逸脱するような異常なスライド操作を防止する。 （もっと読む）

【課題】距離に依存せずに高い精度で位置制御が可能な位置制御装置を提供する。
【解決手段】位置制御装置１００は、第１情報を取得し、前記第１情報から特定される基準位置Ｂとステージ１との間の距離と所望の距離との差が、所与の範囲に含まれるか否かを判定し、前記所与の範囲に含まれない場合には、前記差が前記所与の範囲に含まれるようにステージ１の位置を制御する第１位置制御処理を行う第１制御手段３１と、前記差が前記所与の範囲に含まれる場合には、前記第２情報を取得し、前記第２情報から特定される基準位置１とステージＢとの間の距離に基づいて、基準位置Ｂとステージ１との間の距離が前記所望の距離となるようにステージ１の位置を制御する第２位置制御処理を行う第２制御手段３２と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 短時間で容易かつ確実に原点位置の検出ができる産業機械および産業機械の制御方法を提供する。
【解決手段】 三次元測定機１は、所定の軸方向へ制御対象物を移動させるスピンドル２と、スピンドル２を移動させる駆動力を発生する駆動モータ３と、スピンドル２の位置を制御するとともに駆動モータ３の回転速度を制御する制御装置４とを備えるものであって、スピンドル２の位置に基づく信号を検出するインクリメンタル型のリニアエンコーダ１１と、駆動モータ３の絶対角度に基づく信号を検出するアブソリュート型のロータリーエンコーダ１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】エンコーダ・フィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システムを提供する。
【解決手段】リニア・エンコーダ２３は、移動式往復台２５の側面に設置した一対の側面リニア・エンコーダ２３−１、２３−１’と、移動式往復台２５の一側部の下部に設置した一対の下面リニア・エンコーダ２３−２、２３−２’とで構成され、このように構成されたリニア・エンコーダ２３が、基準マーク、垂直位置誤差を補償するためのＬトラック、および水平位置［誤差］を補償するためのＴトラックを有するスケールに沿って移動することで、高い精度レベルで平面度、ピッチ、真直度、ヨー、およびロールに関連した誤差を補償するものであり、したがって、加工することが不可能である部分を最小限にし、加工コストを減少させ、精密なステージを実現する。 （もっと読む）

【課題】設計者が試行錯誤することなく決定した伝達関数に基づく位相進み補償器と位相遅れ補償器により、共振の位相を安定化させることが可能な外乱オブザーバ、フィードバック補償器、位置決め装置、露光装置、及び外乱オブザーバ設計方法を提供する。
【解決手段】
制御対象２８に加わる外乱ｄを推定する外乱オブザーバ２１において、外乱オブザーバ２１は、制御対象２８の共振成分を外乱ｄの一部として含んだ外乱モデルに基づいて相補感度関数のパラメータが設計されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来の位置決めでは、位置決めする際の整定範囲をゼロとして目標値に位置決めさせた場合、被駆動体がモータにより目標値に位置決めされた後もモータが常に小刻みに振動したり、外乱により被駆動体が整定範囲外に移動してしまう問題が発生する可能性があった。
【解決手段】位置センサが検出した位置決めステージが位置する現在値が第１の整定範囲内の場合は、位置決めステージの整定範囲を第２の整定範囲内に変更し、位置センサが検出した位置決めステージが位置する現在値が第１の整定範囲外の場合は、再度位置決めステージを第１の整定範囲内に位置するように移動させる。 （もっと読む）

【課題】移動体を高精度に位置決め制御することができる制御装置などを提供する。
【解決手段】制御装置１は、与えられた目標移動位置及び移動速度を基に指令移動位置を生成し、生成した指令移動位置を基に送り装置５０の駆動モータ７３を制御する制御信号生成部１２と、学習制御部１６と、移動体５２を往復動させたときに生じる送り装置５０の転動体に起因した摩擦力又はこれと等価な力で定義される外力と移動体５２の移動位置との相対データを基に、移動体５２を目標移動位置に移動させた際に生じると推定される外力と移動体５２の移動位置との相対データを推定するデータ推定部２２、推定された相対データを基に推定外力を算出して各指令移動位置における移動誤差量を推定する誤差推定部２３、及び推定された移動誤差量を基に補正量を算出して学習制御の初期値として設定する補正量設定部２４から構成される初期値設定部２１とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ポインティング・デバイスを用いて、顕微鏡システムにおけるステージなどの操作対象を位置制御する情報処理装置、位置制御方法、プログラムおよび記録媒体を提供すること。
【解決手段】 本発明の情報処理装置１１０は、ポインティング・デバイス１１４により指し示される操作画面上の座標値を取得する手段１７２と、この座標値から操作対象の位置の目標値を算出する手段１７４と、操作対象の位置の目標値と現在値との差分を算出する手段１７６と、座標値の取得時間間隔内に操作対象を差分だけ移動させるために必要な速度から、予め設定された平滑化係数に応じて減速した値として、操作対象を駆動する同期モータのパルススピードの目標値を算出する手段１８０と、差分が有り、かつ、順方向の駆動信号が出力されている場合に、算出されたパルススピードの目標値を設定し、このパルススピードの目標値に向けた加減速制御を指令する手段１８４とを含む。 （もっと読む）

【課題】送り機構のボールスクリューが経年変化や温度変化で伸縮してボールスクリューの軸方向に沿う剛性が変化しても、このような剛性変化を補償して、テーブルの位置を正確にサーボ制御する
【解決手段】制御部１００は、サーボモータ４０をフィードバック制御して、負荷であるテーブル０２をサーボ制御する。逆特性モデル３００は、機械系の動的誤差を補償する速度補償信号Ｖ₃₀₀を求めて、フィードフォワード補償制御をする。剛性変化補償部４００は、ボールスクリュー３０のネジ部３１の軸方向に沿う剛性が変化したら、この剛性変化に応じて、逆特性モデル３００の補償制御用伝達関数に含まれているネジ部の軸方向に沿う剛性値を変化させる。 （もっと読む）

【課題】スライダをプラテンから降ろして吊り上げることなくスライダのエアベアリング面を直接メンテナンスできる平面モータを提供する。
【解決手段】
エアベアリング１９によりスライダ１２をプラテン１１の上面に浮上させ、２次元方向に移動させる平面モータにおいて、
プラテン１１に上面高さを揃えて外付けされ、スライダ１２の底面よりも小さな開口部５１ａと、この開口部５１ａを密封状態にふさぐ蓋部５１１と、この蓋部５１１を開閉する駆動機構５１２と、蓋部５１１を開いた状態において開口部５１ａからスライダ１２のエアベアリング面１２ａを清掃するメンテナンス部１８とを有する脱着式プラテン５１を備えたことを特徴とする平面モータ。 （もっと読む）

【課題】ステージの位置決め後にモータのサーボ制御を停止してもステージの位置ずれを発生させないように、ブレーキ機構を最適に制御できるステージ装置及び同装置のステージ位置決め制御方法を提供する。
【解決手段】ピエゾ素子６３２で駆動されるブレーキ機構を備える。それぞれの位置決めすべき点に初めて位置決めする際、ステージを移動、停止した後に、ブレーキ制御最適化手段６４０によりリニアモータ６２２に対する推力指令を０に近づけるようにブレーキ駆動指令を調整し、リニアモータ６２２のサーボ制御をオフにしてもステージの位置ずれを発生させないような最適なブレーキ駆動指令を求め、これをブレーキ制御パラメータ記憶手段６４１に記憶する。さらに、同じそれぞれの位置決めすべき点に再度ステージを位置決めする際、ステージを移動、停止した後に、記憶した最適なブレーキ駆動指令をブレーキ機構に対して出力し、高精度な位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】単純なシステムで位置制御を可能とし、設備費用を低減できる位置検出システム及びケーブルユニットを提供する。
【解決手段】位置検出システムは、所定の移動経路１０に沿って移動可能な移動機２０と、位置情報を記憶するとともに前記移動経路１０に沿って並列配置された複数のＩＣタグ３４と、移動機２０側に設けられ、対応する読取範囲Ａ１に配された前記ＩＣタグ３４の位置情報を読み取る第１アンテナ２６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】位置制御の精度向上を実現すること。
【解決手段】モータの回転運動を直線運動に変換するねじ送り部と、ねじ送り部によって直線移動させられる被駆動部と、ねじ送り部及び被駆動部が支持される支持体とを備える数値制御機器に適用され、被駆動部の位置を位置指令に一致させるようにモータを制御するサーボ制御装置であって、支持体の振動反力による被駆動部の振動を補償する支持体反力補償部３１１を備え、支持体反力補償部３１１が備える伝達関数には、被駆動部の剛性項が含まれているサーボ制御装置を提供する。 （もっと読む）