【課題】流量制御弁の制御装置に関し、簡素な構成で、流量制御弁の中立位置を正確に学習する。
【解決手段】アクチュエータ１２と、作動流体供給源１１と、ストロークセンサ１４と、弁体１９を有するとともに作動流体供給源１１に連絡する供給部１７ａと作動流体を排出する排出部１８ａとアクチュエータ１２に連通する連通部１６ａとを備えた流量制御弁１５と、ストロークセンサ１４の検出値に応じて弁体１９を制御する制御部２０とを備え、制御部２０は、ストロークセンサ１４の検出値により弁体１９が排出部１８ａ側から移動して連通部１６ａを遮断する中立位置と判断されたときの弁体１９の移動量と、弁体１９が供給部１７ａ側から移動して連通部１６ａを遮断する中立位置と判断されたときの弁体１９の移動量とから、弁体１９の中立位置としての移動量を学習する中立位置学習部２２を有するようにした。 （もっと読む）

【課題】流量制御弁の制御装置に関し、簡素な構成で、流量制御弁の中立位置を学習するとともに、学習値を補正する。
【解決手段】作動流体によって作動するアクチュエータ１２と、作動流体を供給する作動流体供給源１１と、アクチュエータ１２のストローク量を検出するストロークセンサ１４と、弁体１９を有するとともに、弁体１９の移動によってアクチュエータ１２と連通もしくは遮断される流量制御弁１５と、ストロークセンサ１４の検出値に応じて弁体１９を制御する制御部２０とを備え、制御部２０は、中立位置を学習する学習部２２と、中立位置におけるストロークセンサ１４の検出値と中立位置における目標ストローク量とのずれ量に応じて予め作成したマップに基づいて、学習部２２による学習値を補正する学習値補正部２３とを有するようにした。 （もっと読む）

【課題】可変絞り装置において、外部駆動装置を要せずに、流れの方向あるいは流量等を可変とすることである。
【解決手段】可変絞り装置１０は、筐体２０と、スリーブ４０と、揺動スプール５０とを備え、筐体２０には、第１気体圧Ｐ_Aを有する気体が供給または排出される第１接続口２８と、第２気体圧Ｐ_Bを有する気体が供給または排出される第２接続口３０とが設けられる。揺動スプール５０の左右両端に第１気体圧Ｐ_Aと第２気体圧Ｐ_Bとが与えられて、その気体圧の差である軸方向差圧によって揺動スプール５０が揺動駆動力を受け、これによって、スリーブ４０との相対位置が変化し、連通状態から遮断状態に気体の流れが変更される。この他に、スリーブ４０に対する相対的振動の変位によって左側復元バネ６０と右側復元バネ６２から揺動駆動力を受けるものとすることもできる。 （もっと読む）

少なくとも１つのポンプと、質量流量センサと、周囲温度センサと、周囲圧力センサと、前記質量流量センサの温度を測定する温度補償センサと、制御システムとを備える安定した空気流量を維持するための流量調整システムが開示され、前記流量調整システムを用いて流量を測定するための方法、サンプリング装置と、濃縮トラップ１と、較正およびチューニングモジュールと、ブランクモジュールと、前記流量調整システムと、クロマトグラフィーユニットと、検出ユニットとを備える気相と粒子相との両方における空気中に存在する空気により運ばれる化合物を監視するための装置、ならびに前記監視装置を用いて空気流中の空気により運ばれる化合物を検出するための方法も開示される。 （もっと読む）

パイロット流体供給源（２０９）とプロセス流体供給源（２２２）とを有する多段式弁システム（２００）が提供される。多段式弁システムは、パイロット流体供給源と連通する第一のポート（２０６）と、この第一のポートと選択的に連通する第二のポート（２０７）と有する第一のパイロット弁（２０１）を備えている。また、多段式弁システムは、第二のパイロット弁（２０２）をさらに備えている。第二のパイロット弁は、プロセス流体供給源と連通する第一のポート（２１３）と、この第一のポートと選択的に連通する第二のポート（２１４）と有しうる。第二のパイロット弁は、プロセス流体供給源と連通する第一の圧力駆動付勢部材（２１７）と、第一のパイロット弁の第二のポートと連通する第二の圧力駆動付勢部材（２１８）とをさらに有している。また、多段式弁システムは主制御弁（２０３）をさらに備えている。主制御弁は、プロセス流体供給源と連通する第一のポート（２２０）と、この第一のポートと選択的に連通する第二のポート（２２１）とを有しうる。また、主制御弁は、プロセス流体供給源と連通する第一の圧力駆動付勢部材（２２５）と、第二のパイロット弁の第二のポートと連通する第二の圧力駆動付勢（２２６）部材とを有しうる。
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【課題】レベリングバルブの流量特性の設定の自由度を拡大する。
【解決手段】レベリングバルブ１は、負荷の昇降に応じてスプール孔８内を軸方向に変位する中空のスプール３と、スプール３の外周に形成した大径部３Ｃと、スプール３に相対してスプール孔８の開口部を閉鎖する弁体１１と、空気圧供給源及びドレーンの一方をスプール３の中空部３Ａに接続する第１の通路５と、負荷を支持する空気ばねに連通し、スプール３の外周に臨む空気ばね通路４とを備える。スプール孔８を大径に形成する一方、大径部３Ｃとの間に環状隙間を形成する縮径部８Ａをスプール孔８に形成し、大径部３Ｃと縮径部８Ａの軸方向長さを互いに異なる値ａ，ｂに設定する。 （もっと読む）

【課題】搬送流路に取り外し可能な流量調整装置を仮設し、該流量調整装置により搬送流路を流れる流体の流量を目標流量に自動的に調整することができる流体搬送設備を提供する。
【解決手段】流体送出装置から主ダクトに送出された流体の流量を調整すべく分岐ダクトとの分岐部と流体送出装置との間に第１流量調整部材が設置され、主ダクトから分岐された分岐ダクトには第２流量調整部材が取り付けられ、これら流量調整部材を通過する流量が流量調整装置により目標流量に調整され、この流量調整装置が、流量調整部材ごとに設置される流量調整ユニットと、これら各流量調整ユニットを操作する１つの情報処理装置とを備る。流量調整ユニットのそれぞれは、流量検知装置と、流量調整部材の操作部を作動させる作動装置と、操作部の操作力を検知する操作力検知装置と、作動装置に開閉部の開閉量変更値を出力する制御装置とを備えている。 （もっと読む）

呼吸測定システムに用いられる電子空気式アセンブリ１００が、中に規定される複数のチャネル２１２、２１４、２１６、２１８と、空腔２２０を形成する複数の壁２２４とを持つ筐体２１０を含む。筐体は、上部面２１５、下部面２２５及びこの筐体の下部面に規定される複数の開口を含む。カバー２５０は、空腔を囲みこれによりチャンバが形成されるよう、及びチャネルを囲みこれにより複数の導管が形成されるよう、筐体の上部面に固定される。制御要素３２０は、複数の開口における少なくとも１つの開口に動作可能に結合され、測定要素３５２、３５４は、複数の開口における少なくとも１つの開口に動作可能に結合される。このアセンブリは、呼吸測定システムの空気圧を管理するための、単純で堅牢な要素を提供する。
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【課題】ステッピングモータ２をアクチュエータとする流量制御弁１において、筒状部１２の軸心と弁部材７の軸心との軸ズレ度を改善し弁漏れの虞を低減することにある。
【解決手段】流量制御弁１は、ステッピングモータ２から付与される回転力を軸力に変換し、軸力に応じて軸方向に変位する軸部材５と、スプリング６により軸部材５に当接するように付勢され、スプリング６による付勢力および軸部材５から伝達される軸力に応じて軸方向に変位する弁部材７とを備え、軸部材５を軸方向に変位させることで、弁部材７を変位させてバイパス流路３の開度を操作する。これにより、弁部材７は、軸部材５とロータとの螺合構造により軸心を拘束されることなく、変位することができる。このため、弁部材７は、ロータの軸心とは無関係に、自身の軸心を筒状部１２の軸心に略一致させて変位することができるので、弁漏れの虞を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】検出手段の取付精度による弁開度の個体差を減少させて、高精度な流量制御を可能にした流量制御弁の制御方法を提供すること。
【解決手段】この流量制御弁１の制御方法では、ピストン２２が、弁閉に到達したことをオンからオフになること又はオフからオンになることで検出する検出手段２５を設け、検出手段２５がオンからオフになった又はオフからオンになったときの操作信号値と基準原点に対応する操作信号値との差を個体差値とし、基準曲線を、個体差値によって補整する。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】マイクロ流体デバイス用の膜弁およびラッチ弁構造体を開示する。デマルチプレクサーをラッチ弁構造体に適用可能である。膜弁およびラッチ弁構造体を利用して、処理装置等の空圧論理回路を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】目標流量に自動的に調整することができる流量制御システムを提供すること。また、流量が目標流量から外れたときに目標流量に自動的に復帰させることができる流量制御システムを提供すること。
【解決手段】流量制御システム１０は、流量センサ１０１と、流量センサ１０１で測定される測定値が目標値になるように、流量センサ１０１の出力に基づいて流量制御弁５０の開度を可変制御する制御回路１０２とを備える流量コントローラ１００と、流量コントローラ１００への流体供給をＯＮ／ＯＦＦ制御する開閉弁１２と、開閉弁１２および流量コントローラ１００を制御するコントローラ１４とを有し、コントローラ１４から制御回路１０２に対して弁開度保持信号が入力されている間、制御回路１０２は、流量センサ１０１の出力に基づく流量制御弁５０の開度可変制御を停止し、弁開度保持信号が入力された時点における流量制御弁５０の開度を保持する。 （もっと読む）

流体化された材料のフロー制御バルブ（１０）は、バルブシート（３０）付きのバルブ室（１８）を有するバルブハウジング（１２）と、フロー通路（２２，２４）を有するバルブプラグ（２０）とを備え、バルブプラグ（２０）は、フロー制御バルブ（１０）を通るフローを制御するため回転軸（Ａ）の周りで回転できるようにバルブシート（３０）の前方でバルブ室（１８）の内側に配置されている。フロー制御バルブはバルブプラグ（２０）を回転軸（Ａ）と垂直にバルブシート（３０）に対して付勢し、バルブシート（３０）とバルブプラグ（２０）との間に密封接触を実現するばね手段をさらに備える。本発明の重要な態様によれば、ばね手段は、バルブプラグ（２０）をバルブシート（３０）に対して付勢するように、バルブシート（３０）と対向する逃げ空間（４２）に配置された少なくとも１個の片持ちばね（４０）を備える。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、流量を幅広い流量範囲で微細に制御することができ、半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、脈動した流体が流れても問題なく流量制御することができる流体制御装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明に係る流体制御装置は、制御用流体の圧力操作により流体の圧力を制御する流体制御弁５と、流体の流量を計測し該流量の計測値を電気信号に変換し出力する流量計測器４と、流量計測器４からの前記電気信号と設定流量との偏差に基づいて、前記流体制御弁５の開口面積を制御するための指令信号を、前記流体制御弁５または該流体制御弁を操作する機器１０３へ出力する制御部８と、開口面積が調節可能な絞り弁６と、を具備し、前記流体制御弁５と前記流量計測器４と前記制御部８と前記絞り弁６とが全て一つのケーシング２内へ収納配設されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 精度の高いエアの流量調整を容易にする。
【解決手段】 弁箱２１には、負荷側に接続される第１のエア通路２４と、大気側に接続される第２のエア通路２５と、これらエア通路２４，２５が合流しブロアーに接続される第３のエア通路２６とが設けられている。第１のエア通路２４と第３のエア通路２６との間は、第１の接続部２７によって接続され、第２のエア通路２５と第３のエア通路２６との間は、第２の接続部２８によって接続されている。これら第１および第２の接続部２７，２８は、矢印Ｂ−Ｃ方向に移動するエア流量調整プレート２２の第１および第２の連通窓３１，３２によって連動して開口される。第１の連通窓３１による第１の接続部２７の開口面積と、第２の連通窓３２による第２の接続部２８の開口面積との総和を常に一定したものである。 （もっと読む）

【課題】流体搬送設備の設置（施工）時に、搬送流路に設置された複数の流量調整部材を通過する流量を所定流量に調整する方法を提供する。
【解決手段】流量調整方法が、初期設定ステップと、調整ステップとを含み、初期設定ステップが、各流量調整部材４Ａ〜４Ｆに配置した流量調整ユニット２１で各流量調整部材の風量調整ダンパー１１ａ，１１ｂを操作する操作部１３の操作動力を検知した後、各流量調整部材のダンパーを半開にし、次いで各流量調整部材のダンパーを順次に動かしてその開度に対する流量調整量の特性値を検出し、各流量調整部材の有効制御範囲を順次に認識することを含み、調整ステップが、各流量調整部材のダンパーを同じ開度にして、その後、各流量調整部材のダンパーを順次に動かして開度調整を有効制御範囲で行って所定流量値およびその許容範囲である目標流量に調整する。 （もっと読む）

【課題】流体搬送設備の設置（施工）時に、搬送流路途中の複数の流量調整部材を通過する流量を所定流量に調整し、その後は該流体搬送設備から取り外し、施工後、他の設備の調整に再使用可能な汎用性の流量調整装置を提供すること。
【解決手段】流量調整部材４Ａ〜４Ｆのそれぞれに流量調整ユニット２１を設置する。該ユニット２１は、流量調整部材の操作部１３に着脱自在な作動装置２４、及び操作部の作動力を検知する作動力検知手段２５を有している。制御装置２７は、作動力検知手段で検知された操作部の作動力や流量調整部材の下流又は上流のダクト内に仮設した流量検知装置２３からのデータを記憶部に入力し、かつ作動装置に風量調整羽根１１ａ，１１ｂの開閉量変更値を出力し、流体搬送設備設置後、流量を変更又は調整する際に各流量調整部材を流れる流量を所定流量値およびその許容範囲である目標流量に調整する。 （もっと読む）

【課題】第１及び第２ポートを通じて弁ボディを流通する流体の流量を高精度に制御する。
【解決手段】処理室３７に接続される第１ポート１２と真空ポンプ３９に接続される第２ポート１４とを有する弁ボディ１６には、前記第１ポート１２に臨む内壁面に第１弁体３０が着座する第１弁座部３２が形成され、前記第１弁座部３２より半径外方向に第２弁体３４が着座する第２弁座部３６が形成されている。そして、ガイドボディ２２の内部に設けられたピストン２０を圧力流体によって変位させることにより、第２弁体３４が第２弁座部３６より離間して第１弁体３０と第１弁座部３２との間を通じて流体が流通し、駆動部２４による駆動作用下に第１弁体３０と第１弁座部３２との間の離間距離を変化させることにより、前記第１ポート１２から第２ポート１４へと流通する流体の流量を制御している。 （もっと読む）

非対称性ボリュームブースタ組立体は、第一の方向および第二の方向に移動可能な差動アクチュエータ（24）と、アクチュエータと連通している第一のブースタ（44）と、アクチュエータと連通している第二のブースタ（48）とを備えている。第一のブースタは、第一の供給流路（60）と、第一の排出流路とを備えており。第一の供給流路は、第一の流体流抵抗を生じるように構成されている。第二のブースタは、第二の供給流路（58）と、第二の排出流路とを備えている。第二の供給流路は、流体をアクチュエータに供給し、第二の排出流路はアクチュエータからの流体を排出する。第二の排出流路は、第二の流体流抵抗を生じるように構成されている。第一の流体流抵抗は、第二の流体流抵抗よりも大きくなっているので、アクチュエータは、第一の方向および第二の方向に対して略対称に移動するようになっている。 （もっと読む）