【課題】流量制御バルブに生じている異常を高い信頼性とともに診断することができ、例えば、流量制御バルブに異常が生じた場合には早急に適切なメンテナンス等を行うことができる流量制御装置及びそれに用いられる診断装置又は診断用プログラムを提供する。
【解決手段】第２測定流量値又は測定圧力値に基づいて第１測定流量値の異常を診断する第１測定流量診断部５と、前記第１測定流量診断部５が、前記第１測定流量値に異常が無いと診断している場合に、流量制御バルブ２の異常を診断するバルブ診断部６と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】流量測定装置１０や流量制御装置１００においてコンパクト性を損なうことなく、流量測定精度を向上させる。
【解決手段】
測定対象流体が流れる流体抵抗部材３と、対象流体が導かれる感圧面に貼り付けられた抵抗素子２Ｂの電気抵抗値の変化から流体抵抗部材３の上流側圧力を測定することが可能であるとともに抵抗素子２Ｂの温度による電気抵抗値の変化から前記感圧面の温度を測定することが可能な上流側圧力センサ２１と、流体抵抗部材３を流れる対象流体の温度を測定可能な位置に配置された温度検知手段８と、上流側圧力センサ２１で測定された上流側流路の圧力及び前記流体抵抗部材の圧力−流量特性に加えて、上流側圧力センサ２１で測定された圧力センサ温度及び温度検知手段８で測定された流体抵抗部材３における対象流体温度に少なくとも基づいて、当該対象流体の流量を算出する流量算出部９とを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】一次圧や二次圧に圧力損失を生じさせることなく、減圧装置を装備した流体導管の流量を計測可能にした。
【解決手段】流体導管１に装備され、上流側流体導管１ｕにおける一次圧を減圧して下流側流体導管１ｄにおける二次圧を得る減圧装置１０であって、二次圧を検出する二次圧検出部１３と、二次圧検出部１３で検出された二次圧に基づいて流量抵抗を可変調整する可変抵抗部１１と、可変抵抗部１１の下流側に設けられ、一定の流量抵抗を有する固定抵抗部１２とを備え、可変抵抗部１１と固定抵抗部１２との合成流量抵抗によって、一次圧を二次圧に減圧する。固定抵抗部１２による発生差圧を検出することで、流体導管１の流量を計測できる。 （もっと読む）

【課題】高い制御性を有し、小型で耐食性、耐久性に優れる排気圧力コントローラを提供する。
【解決手段】排気圧力コントローラの駆動部分にゴム膨張バルブを用いることにより、ダンパー制御を精度良く行うことができる。即ち、貫通流路を有する硬質なボディと、前記貫通流路内に配置される膨張部材と、前記膨張部材を含んで形成される気密空洞と、を有するバルブと、
前記貫通流路の圧力及び／又は流量を測定する圧力／流量計測手段と
前記気密空洞に制御用気体を給気又は排気することにより、前記膨張部材を膨張又は収縮させて前記貫通流路の流路断面積を変化させる給排気制御手段と
を用いて排気圧力コントローラを構成する。 （もっと読む）

少なくとも１つのポンプと、質量流量センサと、周囲温度センサと、周囲圧力センサと、前記質量流量センサの温度を測定する温度補償センサと、制御システムとを備える安定した空気流量を維持するための流量調整システムが開示され、前記流量調整システムを用いて流量を測定するための方法、サンプリング装置と、濃縮トラップ１と、較正およびチューニングモジュールと、ブランクモジュールと、前記流量調整システムと、クロマトグラフィーユニットと、検出ユニットとを備える気相と粒子相との両方における空気中に存在する空気により運ばれる化合物を監視するための装置、ならびに前記監視装置を用いて空気流中の空気により運ばれる化合物を検出するための方法も開示される。 （もっと読む）

【課題】制限フロー構成要素によって生成される圧力低下に基づいて、フロー速度を測定するための流体フロー測定および制御デバイスを提供する。
【解決手段】本発明のデバイスは、流体入り口および流体出口を有する比例フローバルブ１０、ならびにこの比例バルブ１０を調節するためのアクチュエータ１７を備える。この制限フロー要素１５は、この比例フローバルブ１０と連絡状態にある流体入り口および流体出口を備え、制限フロー構成要素の流体入り口と出口との間での圧力低下を生成する。このデバイスはまた、圧力低下を測定するための手段２４，２５、圧力低下に基づいてフロー速度を計算するための手段１６、ならびに測定された圧力低下に応じて比例フローバルブ１０を通じて流体のフローを制御するために圧力低下測定手段２４，２５、およびアクチュエータ１７と連絡する制御手段（示さず）を備える。 （もっと読む）

【課題】定流量制御装置を提供すること。
【解決手段】第１ハウジング３とダイアフラム４と該ダイアフラム４に一体的に取付けられた可動弁体５により形成される第１室６と、第２ハウジング９とダイアフラム４と可動弁体５により形成される第２室１０と、流体が通過することで第１室と第２室との間に圧力差を生じさせる絞り部１１と、第２室と下流側流体通路とを連通する通路に臨んで設けられ、可動弁体５に備えられたニードル弁１３に対応して設けられる弁座１４と、可動弁体をニードル弁と弁座が開弁する方向に所定の弾性力で付勢する主弾性部材１５と、を備えた流体の流量を所定流量に制御する定流量制御装置において、絞り部１１のオリフィスにはクリーニングピン２７が遊挿され、このクリーニングピンの軸方向の端部は、第１ハウジング３及び又は第２ハウジング９により、クリーニングピン２７はその軸方向の位置が規制されている。 （もっと読む）

【課題】凝固物等がオリフィスに付着した詰まりの状態を自動的に検出し、流量測定に誤差を生じる状態で流量制御が継続されることを防止した流量コントローラを提供する。
【解決手段】流量コントローラ１０は、流体主流路の直管部１に設けた一対の圧力センサ２１，２２間にオリフィス２３が配設され、圧力センサ２１，２２で検出した二つの圧力値により得られる差圧を流量に換算して流量測定を行う差圧式流量計２０と、流体主流路に設けられ、差圧式流量計２０の流量測定値と予め定めた設定流量値との差が所定の範囲内に入るよう開度制御される流量調整弁３０と、圧力センサ２１，２２で検出した圧力値の入力を受けて流量調整弁３０の開度制御を行う制御部４０とを備え、制御部４０は、設定流量値と差圧式流量計２０の流量測定値とを比較し、所定値以上の流量差が所定時間継続した場合にオリフィス２３の詰まり異常と判断する。 （もっと読む）

【課題】一方の圧力センサの環境温度と、他方の圧力センサの環境温度との差を低減させる（なくす）ことができ、正確で安定した圧力測定を行うことができる差圧式流量計を提供するとともに、この差圧式流量計を用いた流量コントローラを提供すること。
【解決手段】圧力測定を行う流体が流れる流体主流路１２が形成されたボディ２４と、前記流体主流路１２に対して直列に配置されるとともに、前記ボディ２４に保持される２つの圧力センサ２１Ａ，２１Ｂとを備え、前記２つの圧力センサ２１Ａ，２１Ｂの下方に位置する前記ボディ２４に形成された凹所内に、熱伝導性に優れた材料からなる温度バランサー２７が収容されている。 （もっと読む）

【課題】配管内に生ずる圧力等の状態変化に対応可能な比例制御動作を行うに際して、比例ゲインを自動的に更新し、良好な制御を行う。
【解決手段】オフラインにおいて、予め制御弁２の開度と流量の勾配の逆数と、勾配を制御弁２の最大開度における最大流量により除して得られる正規化比例定数Ｋｚと、最大開度での制御弁２の固有抵抗Ｒ０を初期値として設定し、
オンラインにおいて、制御弁２の入口４と出口５間の第１の圧力損失△Ｐと、流量計３による流量Ｆとから成る複数のデータを逐時に測定して、第１の圧力損失ΔＰと流量Ｆとから、制御弁２と流量計３の間に生ずる第２の圧力損失ΔＥと制御弁２の最大開度での全抵抗ｒとを演算により求め、予め設定してあった正規化比例定数Ｋｚとから新たな比例勾配Ｋｅを求め、その逆数から適切な比例ゲイン（１／Ｋｅ）を求めて比例制御動作に使用する。 （もっと読む）

【課題】ガス供給量を安定させることができるガス供給ユニットを提供すること。
【解決手段】マスフローコントローラ１４と、前記マスフローコントローラ１４に接続する第１流体制御弁１５と、前記第１流体制御弁と並列に接続された第２流体制御弁１７と、前記第２流体制御弁の二次側に配置された第３流体制御弁と、を有し、前記第３流体制御弁は、前記第１流体制御弁の二次側圧力と前記第２流体制御弁の二次側圧力との差圧に基づいて弁開度を調整されるものであるガス供給ユニット１である。 （もっと読む）

【課題】ガス供給源からガス流路を介してガスを安定供給するガスの供給制御装置において、ガス供給系内にバッファータンク等の緩衝装置を設置することなく、ガス供給系に悪影響を及ぼす急激な圧力上昇を防止することができるガスの供給制御装置を提供する。
【解決手段】ガス流路にステッピング・モータ４駆動方式の自動開閉弁５と、この自動開閉弁５の下流側に圧力計８を設け、この圧力計８の検出圧力値Ｐと時間の経過とともに増加する任意の目標圧力値との差分に基づいて自動開閉弁５を間欠的に開閉制御することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 限られた占有スペース内で必要なコンダクタンスを精度よく求めて、所定のガス流量を安定よく、かつ、再現性よく設定することができるガス流量制御方法を提供する。
【解決手段】 ガス配管２の途中に設けられる流量制限部材８に、予め設定された径及び長さで、かつ、角部のない切り溝１５を機械加工することによってコンダクタンスを所定の公式に基いて算出可能な単一の制限流路１６を形成し、その単一制限流路１６によるコンダクタンスＣと圧力差（Ｐ１−Ｐ２）とにより、プロセスチャンバー１へ供給されるガス流量Ｑを設定する。
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【課題】流量を精度良く制御しつつ微小流量の液体を供給する。
【解決手段】液体供給装置１は、流路１１に液体を送出するポンプ機構１３、流路１１を流れる液体の単位時間当たりの流量を測定する流量計１４、および、これらの機構を制御する制御部１５を備える。ポンプ機構１３は、変形可能な樹脂製の可変容器１３１、可変容器１３１を内部に収容する耐圧容器１３２、および、耐圧容器１３２と可変容器１３１との間の圧力を調整する電空レギュレータ１３３を備える。可変容器１３１は、ベローズ１３１１を備える。液体供給装置１では、ポンプ機構１３の可変容器１３１に圧力が加えられて可変容器１３１内の液体が流路１１に送出されている間、流量計１４により測定される液体の流量に基づいて、可変容器１３１に加えられる圧力が制御部１５により制御されることにより、流量を精度良く制御しつつ微小流量の液体を供給することができる。 （もっと読む）

総合的な流体流量制御を提供するプロセス装置（１０、１００）が提供される。装置（１０、１００）は、流導管（１６、１０４）中に設けられた閉止機構（１２、１０６）を含む。好ましくはアイリス型ダイヤフラムである閉止機構（１２、１０６）は可変性の内径を提供する。装置（１０、１００）は、ダイヤフラムの両側での差圧を感知するための差圧センサ（２０、２２、１２０、１２２）を含む。制御装置（１１２）が差圧の指示を受信し、制御信号をアクチュエータに発すると、そのアクチュエータが閉止機構（１２、１０６）を作動させる。閉止機構（１２、１０６）、差圧センサ（２０、２２、１２０、１２２）及び制御装置（１１２）が一つのプロセス装置（１０、１００）の中で閉ループ流量制御装置を形成する。
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流路に差圧を発生させ、半導体デバイスに用いられるガスの流量を制御する差圧式流量制御器が提供される。差圧発生要素は半導体デバイスの製造に用いられるガスの流路に差圧を発生させ、流路上のバイパスに設置される圧力センサは差圧を検出し、中央処理装置（ＣＰＵ）はガスの流量を測定および制御する。その結果、本発明は、ガスの流量を精密かつ迅速に制御することができるとともに、差圧発生要素自体のフィルタリング機能によってガスの純度を高めることができる。

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