【課題】新たな高価な酸性ガス測定装置を導入する必要のないフィードバック形式において、出口の酸性ガス濃度のピーク発生が少ない安定した酸性ガス処理を行うと共にアルカリ剤の過剰添加を削減するための新たな制御方式による酸性ガス処理方法を提供すること。
【解決手段】本発明の酸性ガスの処理方法は、酸性ガスが含まれる燃焼排ガスにアルカリ剤を添加し、粉塵を集塵した後の酸性ガス濃度を測定する酸性ガス濃度測定機器の測定信号に基づいてアルカリ剤の添加量をフィードバック制御する酸性ガスの処理方法であって、少なくとも平均時間（例えば、後述する１時間等）に応じた平均添加量に１倍以下の係数（例えば、後述する８０％等）を乗じた基礎添加量を算出する工程と、算出した基礎添加量に基づいてアルカリ剤の添加量出力値をフィードバック演算により算出する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】酸性ガス濃度測定信号に基づいてアルカリ剤の添加量を制御するフィードバック形式において、現状のフィードバック制御が抱える計測遅れによる酸性ガスの処理不良並びにアルカリ剤の過剰添加を削減する酸性ガスの処理方法を提供すること。
【解決手段】酸性ガスが含まれる燃焼排ガスにアルカリ剤を添加し、粉塵を集塵した後の酸性ガス濃度を測定するように設置された酸性ガス濃度測定機器の測定信号に基づいてアルカリ剤の添加量をフィードバック制御する酸性ガスの処理方法において、計測遅延時間がそれぞれ異なるＨＣｌ濃度測定機器（低速）１４及びＨＣｌ濃度測定機器（高速）１５により同一種の酸性ガス濃度を測定する工程と、複数の酸性ガス濃度測定機器の測定信号に基づいてアルカリ剤の添加量出力値をフィードバック演算により算出する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】マルチ・チャンバ・ツールとの関係でオゾン濃度を制御する改良されたシステム及び方法を提供する。
【解決手段】オゾン発生器２０と組み合わされた第１及び第２の濃度コントローラ２５、３５を含む。第１の濃度コントローラ２５は、イベントを検出し、それに応答して、予測制御アルゴリズムに従いオゾン発生器２０に電力指示を提供する。第１の濃度コントローラ２５は、高速（すなわち、約１秒）の応答時間を有する。第２の濃度コントローラ３５は、イベントの間はオゾン発生器２０からマスクされているが、それ以外の場合には、イベントの発生からある時間間隔が経過した後で発生器２０を制御する。第２の濃度コントローラ３５は、第１の濃度コントローラ２５よりも低速の応答時間を有するが、システムに長期的な安定性を提供し、予測制御アルゴリズムに更新されたデータを提供するのに用いられる。 （もっと読む）

【課題】半導体、液晶などの製造工程に使用される現像液などの薬剤を高濃度の原液を超純水などで希釈し、所望の濃度に調整するにあたり、不純物の混入を防ぐことができ、かつ設備がコンパクトな希釈装置を提供する。
【解決手段】薬剤及び希釈液が導入される希釈タンク１を備えている薬剤の希釈装置であって、希釈タンク１に、希釈タンク１内の液体を撹拌するための磁気浮上ポンプ２を設けるとともに、薬剤の濃度を測定する濃度計３を備え、薬剤の所望の濃度に基づいて、上記測定値を上記所望の濃度に近づけるように薬剤の量と希釈液の量を制御する。 （もっと読む）

【課題】易損品を安全に固定する。
【解決手段】十分柔軟性が高く、形状の自由度が高い膜で構成され、粘度が変化する粘性流体が封入された嚢状部からなり、易損品１２に当接する作用部３３を備える対象物支持装置１３において、粘性流体の粘度Ｖを検知し、粘性流体の粘度を目的粘度Ｖ₀として設定し、検知された粘性流体の粘度Ｖと目的粘度Ｖ₀との差分Ｖ₀−Ｖを算出し、差分Ｖ₀−Ｖに応じて、粘性流体の粘度を制御する。本発明は、例えば、壷などの易損品を固定する構成に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】粉体洗剤を用いた管路洗浄装置において、洗浄液の調製を容易にし、洗浄液の濃度を自動管理して洗浄液を調製し、そのシステム全体を円滑に機能させる装置及びその使用方法を提供する。
【解決手段】液体の混合、加工等の管路を持つプラントにおいて、管路の洗浄を行うために、粉体洗剤Ａからなる洗浄液を用いて管路内部を洗浄する場合、プラント本体から洗浄液製造過程の装置を分離して設置し、高濃度洗浄液を調整する過程と希釈洗浄液Ｃを調整する過程に分けることで、洗剤の均等拡散、濃度調整を容易にし、かつ、複数の粉体を容易に混合調製し、即時に連続的に使用可能となるよう導電率計５等のセンサーとコンピューター制御装置により、洗浄液の自動濃度管理装置を構成する。 （もっと読む）

２個のガス源（１，４）からの気体を可撓性の物理的障壁（１２）で二分割したチャンバ（１７，１６）にそれぞれ送り、チャンバ（１６，１７）全域で圧力が均一な気体混合装置。各チャンバからそれぞれの気体を同時に混合容器（７）へ開放し、圧力放出による可撓性障壁（１２）の圧力平衡効果によって、望ましい気体混合物の混合特性を適宜管理する。この装置を分配器または希釈器と呼称しても構わない。窒素中、例えば１％の低濃度一酸化炭素をさらに窒素と混合して、０．００１％濃度に希釈するのに使用しても構わない。
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化学溶液浴を所望の濃度で維持するブレンダーシステムを提供する。ブレンダーシステムは、少なくとも２つの化合物（例えば、アンモニアおよび過酸化水素）を受けて、ブレンドし、化合物の混合物を選択された濃度で含む溶液を、化学溶液浴の選択された体積を維持するタンク（２）に送達するように構成されたブレンダーユニット（１００）を含む。さらに、ブレンダーシステムは、化学溶液浴中で少なくとも１つの化合物を選択された濃度範囲内に維持するように構成されたコントローラー（１１０）を含む。コントローラーは、タンクに送達される溶液内で、化合物の濃度を選択された濃度範囲内に維持するようにブレンダーユニットの少なくとも１つの動作、および、化学浴内の化合物の濃度が目標範囲から外れる場合は、タンクに入る溶液およびタンクから出る溶液の流速の変更を制御する。 （もっと読む）

【目的】運転立ち上がり時において、制御量を迅速に任意の目標値に収束させることができるインライン混合装置及びその制御方法を提供すること。また、制御運転中に制御量が変動した際及び目標値を変更した際にも制御量を迅速に目標値に収束させることができるインライン混合装置及びその制御方法を提供すること。
【解決手段】運転開始前において、流量調節器の操作量に対する制御量の特性を表す特性データを基に、設定された目標値に対する運転開始時の流量調節器の操作量を算出し、運転開始から所定時間は、運転開始時の操作量で流量調節器を運転し、所定時間後に流量調節器を自動制御する。自動制御運転中に偏差が大きくなった場合は、偏差の大きさに応じて制御定数を可変させるか、又は当該運転開始時の操作量に操作量を一時的に固定させる。 （もっと読む）

【課題】 濃縮液の濃度管理が容易であると共に製品の製造開始時点から濃度が安定し排出液の発生量を低減することが可能な液体製品製造システムを提供する。
【解決手段】液体の流量調節装置を有する液体混合装置を備え、上記液体混合装置により複数種類の液体を混合して液体製品を製造する液体製品製造システムにおいて、液体製品の濃度を達成するために必要な液体の濃度範囲を画定し、上記濃度範囲内において設定された液体の濃度に基づき、上記複数種類の液体の初期流量値を決定し、上記初期流量値に基づき、上記流量調節装置を制御して上記液体混合装置を駆動する。 （もっと読む）