【課題】複数の蓄熱タンクおよび循環ポンプを備えた温調ユニットの並設と、タンク内の液体を循環させる循環路を形成した、より安定した温度制御が可能な温度制御システムを提供する。
【解決手段】第１温度の液体を貯蔵する低温温調ユニット７４、第１温度より高い第２温度の液体を貯蔵する高温温調ユニット７５、低温温調ユニットからの流体を流す低温流路７６、高温温調ユニットからの流体を流す高温流路７７、流体を循環させるバイパス流路７３、合流部ＰＡにて低温流路、高温流路及びバイパス流路の３流路から合流した流体を流す結合流路７１、結合流路から流体を流し、半導体製造装置１００に用いられる部材を冷却又は加熱する調温部７０、合流部の上流側にて前記３流路に取り付けられた可変バルブ７９の弁開度を制御し、前記３流路の流量分配比率を調整する制御装置９０を有する温度制御システム１が提供される。 （もっと読む）

【課題】主動力源のエンジン冷却回路に使用される冷却液を熱源として、新たな熱源を必要とせずに低温時の暖め機能を付加させてなる、車両及び建設機械に搭載される電気機器或いは電子部品装置の温度制御装置及び温度制御方法を得る。
【解決手段】エンジンを搭載した車両及び建設機械に搭載される電気機器或いは電子部品装置を適正な温度範囲に制御するために、前記電気機器或いは電子部品装置が第一の温度より低温の場合はエンジン冷却液の余熱を利用して前記電気機器或いは電子部品装置を暖め、前記電気機器或いは電子部品装置が第二の温度より高温の場合は、前記電気機器或いは電子部品装置を第一の温度と第二の温度の範囲に制御するために専用の冷却装置により冷却した冷却液で前記電気機器或いは電子部品装置を冷却するために、温度センサの検出した温度に応じて切換弁を切り替えることで、いかなる環境温度下においても適正な温度範囲に制御する。 （もっと読む）

【課題】光学素子の中心部分の温度を精度よく制御できる温度制御装置を提供する。
【解決手段】第１の主面及び第１の主面と対向する第２の主面を有する光学素子の温度制御装置であって、第１の主面に一定の接触熱抵抗で接する第１の筐体と、第１の筐体と第１の主面とが接する面積と等しい面積で、第２の主面に一定の接触熱抵抗で接する第２の筐体と、第１の筐体の温度を調整する温度調整素子と、第１の筐体の温度を測定する第１の温度測定素子と、第２の筐体の温度を測定する第２の温度測定素子と、第１の温度測定素子により測定された第１の筐体の測定温度と第２の温度測定素子により測定された第２の筐体の測定温度との平均値を光学素子の温度として、平均値が予め設定された設定値であるように温度調整素子を制御して第１の筐体の温度を調整させる制御装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】冷却手段又は加熱手段に大きな冷却能力又は加熱能力を必要とせず、被制御装置の温度を変更するときに高速かつ高精度に温度制御することができる温度制御装置を提供する。
【解決手段】被制御装置１２と、第１及び第２の供給部３０、４０を含む供給装置２０との間に設けられ、流体の温度を制御する温度制御装置５０であって、流体を貯蔵する貯蔵部５１と、被制御装置１２を第１及び第２の供給部３０、４０の一方と接続するとともに貯蔵部５１を第１及び第２の供給部３０、４０の他方と接続するか、又は、被制御装置１２と貯蔵部５１と接続するように、接続を切り替える接続切替部５５とを有する。 （もっと読む）

【課題】運転の安定を正確かつ迅速に判断し、ブース内の空気温度を短い時間で且つハンチングを防止しつつ空気用目標設定温度に収束させ、省エネを実現する温調装置の提供。
【解決手段】空気温度Ｐ１の温度制御範囲の異なるレベルが相互にオーバーラップして設定され、レベル間を移動可能なステップサーモ方式で温調手段の温調出力をＰＩＤ制御する温調装置で、制御手段が、流体温度Ｑ１を流体用目標設定温度Ｑ２にＰＩＤ制御する構成で、各レベルに異なる流体用目標設定温度Ｑ２を設定し各レベルに制御の基準点を夫々設定し各基準点に該各基準点に所定温度を加算又は減算した基準点変更用閾温度Ｃを夫々設定し、現在の基準点を制御基準とした制御状態にて、空気温度Ｐ１が現在の基準点での現在のレベルから新たなレベルに移動後、現在の基準点の基準点変更用閾温度Ｃに初めて到達した場合に、現在の基準点を新たなレベルの新たな基準点に変更しＰＩＤ制御する。 （もっと読む）

【課題】電気システムまたはデバイス（例えば、変圧器、サーキットブレーカなど）内の温度変更流体（例えば、油）の温度を効果的調節する。
【解決手段】システム２は、電気デバイス２０内の絶縁流体に熱的に結合するように構成された熱伝達体８と、周囲温度センサ４と、熱伝達体８および周囲温度センサ４に結合された制御システム６とを含み、制御システム６は、熱伝達体８に周囲温度センサ４からの温度指標に基づいて絶縁流体の温度を調節するように指令する。 （もっと読む）

【課題】熱媒流体を用いて対象物の温度を調節する場合、対象物の時定数や熱媒流体配管の無駄時間が大きくても、対象物温度を良好に目標温度に制御する。
【解決手段】 対象物温度（Ｔｓ）が目標温度（ＳＶ）に整定した時（ステップＳ１４、Ｙｅｓ）、対象物温度と熱媒体温度（Ｔ１）の温度差（Ｄ）を測定し、その時の温度差（Ｄ）と目標温度（ＳＶ）の加算値を、熱媒体温度用の目標温度（ＳＳＶ）として固定する（Ｓ２０−Ｓ２１）以後、目標温度（ＳＳＶｆｉｘ）を変更すべき事象（例えば継続的な外乱）が発生する（Ｓ２７、Ｙｅｓ）まで、その固定の目標温度（ＳＳＶｆｉｘ）を用いて熱媒体温度を制御し続ける（Ｓ２１）。 （もっと読む）

【課題】使用するエネルギーの種別が異なる機器が混在する熱源システムにおいて、省エネを図りつつ、エネルギーを使用する場合に適用される各種の規制を回避する。
【解決手段】例えば、所定の判断基準を「現在の時刻がピーク時間帯に入っているか否か」とし、現在の時刻がピーク時間帯に入っていない場合には（ステップＳ１０４のＮＯ）、ガス式の冷凍機（低ＣＯＰ機）を緩和優先機、電気式の冷凍機（高ＣＯＰ機）を緩和後回し機とし（ステップＳ１０５）、現在の時刻がピーク時間帯に入っている場合には（ステップＳ１０４のＹＥＳ）、電気式の冷凍機（高ＣＯＰ機）を緩和優先機、ガス式の冷凍機（低ＣＯＰ機）を緩和後回し機とする。 （もっと読む）

【課題】単位生成熱量あたりのエネルギーコストが大きい機器と単位生成熱量あたりのエネルギーコストが小さい機器が混在する熱源システムにおいて、合計のエネルギーコストを低減させ、さらなる省エネを図る。
【解決手段】設定送水温度ＴＳｓｐの緩和に際して、単位生成熱量あたりのエネルギーコストが小さい機器よりも単位生成熱量あたりのエネルギーコストが大きい機器を優先させて、その機器の冷温水の出口温度の設定値を緩和する。例えば、冷凍機１−１を低ＣＯＰ機（単位生成熱量あたりのエネルギーコスト大）、冷凍機１−２を高ＣＯＰ機（単位生成熱量あたりのエネルギーコスト小）とした場合、冷凍機１−２（高ＣＯＰ機）の冷水の出口温度の設定値ＴＳ２ｓｐよりも、冷凍機１−１（低ＣＯＰ機）の冷水の出口温度の設定値ＴＳ１ｓｐを優先させて、緩和する。 （もっと読む）

【課題】 装置全体をコンパクトにでき、かつ製造コストを低減できる温度制御装置、流体循環装置を提供すること。また、その温度制御装置を用いて、省エネルギーな温度制御ができる温度制御方法を提供すること。
【解決手段】 温度制御装置１は、流体冷却部を有した閉鎖型の第１循環回路２と、流体加熱部としてのハロゲンランプヒータ３１を有するとともに、ハロゲンランプヒータ３１で加熱された温度流体を被温度制御対象物としての真空チャンバＣに供給する閉鎖型の第２循環回路３と、第１循環回路２側からの温度流体を第２循環回路３側に送る送り流路４と、第２循環回路３側からの温度流体を第１循環回路２側流出させて戻すし流出流路５とを備え、送り流路４には、第１循環回路２側からの温度流体の送り流量を調整制御する流量制御バルブ４０が設けられ、流出流路５には、温度流体の圧力を所定圧以下に補償する圧力制御バルブ５０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】制御対象の付近に配置される調温部１１に流体を循環させることで制御対象の温度を所望に制御するに際し、その制御対象の温度を所望の温度に迅速に追従させることが困難なこと。
【解決手段】制御対象を支持する調温プレート１０内部には、流体が循環する調温部１１が収納されている。調温部１１には、流体を冷却して循環させるための冷却通路２０、調温部１１下流側の流体を再度調温部１１にそのまま循環させるためのバイパス通路３０、及び流体を加熱して循環させるための加熱通路４０が接続されている。 （もっと読む）

ディスクドライブ試験用スロット熱制御システムは、筐体（５０８、５５０）であって、外部表面（５３０、５５９）と、この筐体によって画定されかつ試験のためにディスクドライブ（６００）を運ぶディスクドライブ運搬装置（４００）を受けて支持するための試験区画（５２６、５６０）を具える内部空洞（５１７、５５６）と、この筐体の外部表面から内部空洞へと延在する注入口開口部（５２８、５５１）とを有する筐体（５０８、５５０）を具える試験用スロット（５００、５００ａ、５００ｂ、５４０）を具える。このディスクドライブ試験用スロット熱制御システムはまた、冷却導管（７１０）と、この冷却導管に取り付けられた熱電素子（７４２）とを具える。この熱電素子は、注入口開口部を通って内部空洞に入る空気の流れを冷却または加熱するように構成されている。
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【課題】煩雑な設定作業を必要とされることなく良好に槽内温度を制御できる温度制御方法、温度制御装置および温度制御プログラムを提供する。
【解決手段】処理槽４０内の流動物Ｌの温度が、設定値ＳＶ（ｔ）を超え、さらに、閾値温度「ＳＶ（ｔ）＋α」を超えた場合には、ＰＩＤ演算で得られた制御出力変化量に対して一定の値が差し引かれた値に基づいて、処理槽４０内の流動物Ｌに加えられる熱量が制御される。なお、閾値温度は、流動物Ｌの温度についての許容範囲の上限よりも低い温度とされる。一方、処理槽４０内の流動物Ｌの温度が、閾値温度「ＳＶ（ｔ）＋α」以下の場合には、ＰＩＤ演算の値に基づいて、処理槽４０内の流動物Ｌに加えられる熱量が制御される。 （もっと読む）

【課題】流体温度を迅速に変化させることを可能とし、特に温度制御対象に対して温度調整済みの流体を循環供給する温度制御システムに好適に用いることができる温度調整用バルブユニットを提供する。
【解決手段】温調バルブユニット３０は、流体を循環させることで温度制御対象の温度を制御する温度制御システムに適用され、加熱流体を循環させる加熱経路と、冷却流体を循環させる冷却経路と、バイパス流体を循環させるバイパス経路とからそれぞれ流入する流体を混合して流体の温度調整を行う。温調バルブユニット３０は、３連のバルブブロックＢ１１〜Ｂ１３と混合通路ブロックＢ１４とを備えており、バルブブロックＢ１１〜Ｂ１３には、加熱流体、冷却流体、及びバイパス流体をそれぞれ取り込む３つの流体通路と弁部材５４とが設けられている。混合通路ブロックＢ１４には、前記３つの流体通路からそれぞれ流出する流体を混合する混合通路が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 複雑な温度プロファイルであっても、温度可変装置の温度制御を精度良く行う温度制御システムと温度制御装置を提供する。
【解決手段】 時系列上の複数の時点と該時点のそれぞれにおける目標設定温度とを含む目標設定温度情報の入力操作部１３と、前記時点のそれぞれにおける温度制御用のＰＩＤ制御情報の入力操作部１４と、これらの情報表示を行う情報表示部１９と、目標設定温度を定めた時点間隔を複数に分割した時間毎のペルチェモジュール１の制御操作量を前記ＰＩＤ制御情報に基づいて求める温度可変装置操作量算出部３１と、温度可変装置操作量算出部３１により求めた温度可変装置の制御操作量の算出値に基づき、被温度可変対象物９の温度（温度検出素子１０の検出温度）が前記目標設定温度情報と一致するようにペルチェモジュール１の制御操作量を調節制御する温度可変装置操作量制御手段３２とを設ける。 （もっと読む）

【課題】 試料プレート８の温度を急激に低下させることができる温度制御装置１を提供することである。
【解決手段】 冷凍機３から供給される冷媒７を通す冷媒通路６ａと加熱器６ｂとを備えたヒートプレート６に、試料載置部８を設け、試料載置部８の温度制御を行う温度制御装置１において、前記ヒートプレート６よりも低温のコールドプレート９を設け、前記コールドプレート９を前記ヒートプレート６に接近させて当接させることができ、且つ、ヒートプレート６から離間させることができる駆動手段１０を設けた。 （もっと読む）

【課題】 試料プレート８の温度を急激に低下させることができる温度制御装置１を提供することである。
【解決手段】 加熱器１６を備えたヒートプレート６に試料載置部８を設け、前記試料載置部８を加熱することができる温度制御装置１において、前記試料載置部８を冷却するコールドプレート９を備え、前記コールドプレート９と、前記ヒートプレート６との間の熱交換のレベルを切換えることができる切換手段３０を備えた。 （もっと読む）

【課題】 低温の循環流体をランプヒータで加熱して流体の温度制御を行う場合、制御の応答性と精度を高める。
【解決手段】 流体循環供給系３１を循環する流体は、チラー３２で冷却され、熱交換器３３内のランプヒータで加熱される。ランプ制御部４１は、ランプ出力を制御することで、流体の温度を設定温度に制御する。バルブ制御部４３は、ヒータ出力が、制御に適した出力設定範囲内に入るように、チラー通路３７の流量制御弁３４とバイパス通路３５の流量制御弁３６の混合比を調節する。更に、バルブ制御部４３は、開度と流量との関係が、開度の分解能が高温域で細かく低温域で粗くなるような重み付けを線形関係に加味した関係となるように、且つ、２つの流量制御弁３４、３６の流量を合計した循環流量が常に一定になるように、開度と２つの弁３４、３６の操作量（パルス数）との対応関係を定める。 （もっと読む）

【課題】 かなりの真空度に減圧されている条件下にあっても、被温度調整物を所定の温度に効率よく迅速かつ的確にしかも実際の分析作業等とリアルタイムで温度調整することが出来ると共に、温度調整中に被温度調整物が揮発分散するような恐れがない分析機器等における温度調整機構を提供すること。
【解決手段】 被温度調整物を流通させる１本又は複数本の被温調用チューブ１と温度調整用物を流通させる１本又は複数本の温調用チューブ２とを一緒に束ねて接触させることにより、前記被温度調整物を上記被温調用チューブ内を流通している間に所定の温度に調整するようにした。 （もっと読む）