【課題】固定子２及び可動子３が同一の軸心となるように容易に取り付けできるようにする。
【解決手段】板バネ４２（４１）をアウタコア３０に位置決めして取り付けるべく、一対の係合凸部３０３，３０４をアウタコア３０に設けると共に、一対の係合凸部３０３，３０４が係入する一対の係入部４２１ｂ，４２１ｂ（４１１ｂ，４１１ｂ）を板バネ４２（４１）に設け、しかも、係合凸部３０３，３０４及び係入部４２１ｂ，４２１ｂ（４１１ｂ，４１１ｂ）のそれぞれは、磁極部３０１，３０２に対して永久磁石２１，２２の磁力が作用する方向に配置されると共に、係入部４２１ｂ，４２１ｂ（４１１ｂ，４１１ｂ）は、磁極部３０１，３０２に対して永久磁石２１，２２の磁力が作用する方向に向かって切り欠かれる。 （もっと読む）

【課題】バネ部材に、小型化に合わせた適切なオフセット量を与えつつ、直線性に優れた駆動電流−変位特性と適切な変位感度とを有するレンズ駆動装置を提供する。
【解決手段】永久磁石１２が内周側に取付けられたヨーク１１を保持するケース１６と、外周側壁に駆動用コイル１５が装着されたレンズホルダー１４とを、上下のバネ部材１７Ａ，１７Ｂで連結するとともに、駆動用コイル１５に通電されていない状態では、レンズホルダー１４が被写体とは反対側においてケース１６に当接される構成のレンズ駆動装置１０において、駆動用コイル１５のＺ軸方向の位置を、レンズホルダー１４がケース１６に当接しているときに駆動用コイル１５に叉交する駆動用磁界の大きさが、レンズホルダー１４を被写体側に移動させたときに駆動用コイルに叉交する駆動用磁界の最大値の５０％〜９０％の範囲となる位置とした。 （もっと読む）

【課題】コイル室に配置されているコイルの過熱が抑制され、モータ効率を向上させることができる往復移動式モータを提供する。
【解決手段】このモータは、作動室１２をもつハウジング１と、往復移動可能な駆動軸２と、駆動軸２に設けられた可動体３と、給電されるコイル４と、永久磁石６と駆動軸２を往復移動させるための磁路を永久磁石６により形成する透磁ヨーク５とをもつ。透磁ヨーク５は、コイル４を配置するコイル室５０と、コイル室５０の熱をコイル室５０の外に逃がすようにコイル室５０に連通する貫通孔５１とをもつ。 （もっと読む）

【課題】レンズの光軸方向から見たときの形状が略長方形状となるレンズ駆動装置において、光軸方向から見たときのレンズ駆動装置の短辺に略平行な方向で駆動機構を小型化してもレンズを駆動するために必要な駆動力を得ることが可能なレンズ駆動装置を提供すること。
【解決手段】レンズの光軸方向から見たときの形状が略長方形状となるレンズ駆動装置は、レンズを保持し光軸方向に移動可能な可動体２と、可動体２を光軸方向へ駆動する駆動機構とを備えている。駆動機構は、光軸方向から見たときのレンズ駆動装置の長辺に略平行なＸ方向における可動体２の両側に配置される柱状の駆動用磁石部１７と、筒状に巻回されて形成され、その内周面が駆動用磁石部１７の外周面と所定の隙間を介して対向配置される駆動用コイル１８とを備えている。駆動用磁石部１７は、駆動用コイル１８との対向位置で駆動用コイル１８を通過する磁束が発生するように着磁されている。 （もっと読む）

【課題】永久磁石の減磁を防止して、駆動性能の向上を図ることができるボイスコイルモータを提供する。
【解決手段】ボイスコイルモータは、環状に形成されたヨーク２と、通電により発生する磁束がヨーク２を循環するように、ヨーク２の内側に配置されたコイル４と、磁束がコイル４を横切ると共にヨーク２を循環するように、ヨーク２の内側に配置された永久磁石３と、コイル４が巻線され、コイル４への通電により永久磁石３に対して変位するコイルボビン４１と、コイルボビン４１と共に移動する可動部としての架台５とを備える。コイル４の通電方向が変化した場合にも、コイル４と永久磁石３の合成磁束の永久磁石３を貫く磁束方向が永久磁石３の磁束方向と一致する。 （もっと読む）

本発明は、電気機械変換器のための可動部装置（１）に関するものであり、この可動部装置は、少なくとも一本の巻きつけられる導線（３）の巻線の支えマンドレル（２）を少なくとも一つ含み、前記マンドレル（２）が、前記変換器の内部の可動部装置（１）の少なくとも一つのガイド用の第二エレメント（５）に内側で連結している少なくとも一つの第一エレメント（４）を含み、前記第一エレメント（４）が、一方では、コイルが前記マンドレル（２）の内側に位置するように前記巻きつけられる導線（３）の巻線の支えとなり、また他方では、ダイアフラムのような、振動の放射用手段となり、前記振動が、巻きつけられる導線（３）の内部への電流の通過によってもたらされる、巻線の変位によって生まれることを特徴とする。本発明は、また、そのような可動部装置（１）を備えた電気機械変換器にも関するものである。 （もっと読む）

【課題】技術の豊富化を図ることができるリニアモータを提供する。
【解決手段】リニアモータ１は、２つのメインマグネット１３と、２つのコイル９と、内側補助マグネット１５と、固定子フレーム７と、可動子フレーム１１とを有する。内側補助マグネット１５は、環状に形成され、軸方向に磁化され、２つのメインマグネット１３の間において２つのメインマグネット１３に対して同軸状に、２つのメインマグネット１３の２つのコイル９側の磁極に対して、当該磁極と同種の磁極を向けるように配置されている。可動子フレーム１１は、２つのメインマグネット１３及び内側補助マグネット１５を保持する非磁性体である。固定子フレーム７は、２つのコイル９を保持する非磁性体である。 （もっと読む）

【課題】薄型化を図りつつ、マグネットから出た磁束を効率よく回収し大きな推力を発生させるとともに、磁性体ヨークを含む部品点数を少なくし、組立工数とコストの低減を図ることができるリニアアクチュエータを提供すること。
【解決手段】薄型リニアアクチュエータ１００は、有底円筒形状の磁性体ヨーク１１０と、磁性体ヨーク１１０の中央に載置される円柱形マグネット１２０と、円柱形マグネット１２０の外周角部を覆い、かつ円柱形マグネット１２０と磁性体ヨーク１１０の側壁との間に所定エアギャップを保って収容される段付コイル１３０とを備え、段付コイル１３０は、円柱形マグネット１２０の上面中央部を所定広さ開口するとともに、円柱形マグネット１２０の外周角部を覆い、かつ円柱形マグネット１２０外周を磁性体ヨーク１１０底部に向かって延びるような段付構造を有する。 （もっと読む）

【課題】コイルに巻回された導線の巻数を増加させて、磁石体とコイルとの間に発生する力を大きくすることができるとともに、コイルの温度上昇を抑制し、また、容量性センサが検出する駆動対象体の変位量に誤差が生じることを抑制することができるアクチュエータを得る。
【解決手段】磁石体２と、磁石体２に嵌合され、一端部がミラー１に取り付けられる第１のシャフト４と、第１のシャフト４に対向して設けられた第２のシャフト５と、第１のシャフト４に取り付けられた第１のセンサ電極１３と、第２のシャフト５に取り付けられた第２のセンサ電極１４と、磁石体２の軸線方向の外側に配置された円筒形状のコイル３と、コイル３を保持したコイル保持手段６と、コイル保持手段６の熱を外部に排出する排熱手段１０と、スペーサ７を介してコイル保持手段６を支持し、第２のシャフト５を支持したベース８とを備えている。 （もっと読む）

【課題】電動歯ブラシ等の往復回転運動を、駆動源とは別体の駆動伝達機構を用いることなく実現すること。
【解決手段】固定体１１０は、マグネット１５０において極の異なる磁極面にそれぞれ所定間隔を空けて対向する内壁面を有するアウターヨーク１４０を有する。マグネット１５０において極の異なる磁極面と、極の異なる磁極面のそれぞれと対向するアウターヨーク１４０の内壁面との間に、マグネット１５０を周回するコイル１２２が配置され、このコイル１２２は可動体１２０として固定体１１０に取り付けられる弾性部材１３０を介して可動自在に支持される。コイル１２２に、交流供給部１８０から、可動体１２０の共振周波数に略等しい周波数の交流が供給されることによって、可動体１２０は往復回転運動を行う。 （もっと読む）

【課題】トーションバー上のアルミニウム配線の物性変化に起因するアクチュエータの駆動特性の変化を抑制することによりプレーナ型アクチュエータの経時的安定性を向上させる。
【解決手段】トーションバー３に不純物拡散による拡散導通部９を形成し、拡散導通部９上にトーションバー３の軸方向で複数に分断した配線パターンのアルミニウム配線６を配置する。これにより、アルミニウム配線の捩れ剛性がトーションバー全体の捩れ剛性に及ぼす影響を小さくでき、アルミニウム配線の捩れ剛性が変化してもアクチュエータの駆動特性の変化を抑制できるようになる。 （もっと読む）

【課題】オーバーレイエラー及び／又は結像の問題が低減されたリソグラフィ装置を提供する。モータ定数の変動が低減されたローレンツアクチュエータを提供する。
【解決手段】
リソグラフィ装置は、該装置の第１及び第２の部分の間に第１の方向に力を発生させるように構成され、各々が該装置の第１の部分に逆向きに取り付けられた第１の磁石アセンブリと、第２の磁石アセンブリとを含むアクチュエータを含み、第１の磁石アセンブリが、第１の主磁石システムと第１の副磁石システムとを含み、第２の磁石アセンブリが、第２の主磁石システムと第２の副磁石システムとを含み、第１及び第２の主磁石システムが、それらの間に第１の方向に実質的に垂直な第２の方向に空間を画定する。アクチュエータは、第２の部分に取り付けられたコイルを含む。第１の副磁石システムの少なくとも一部と第２の副磁石システムの少なくとも一部との間の距離は、第１の主磁石システムと第２の主磁石システムとの間の最小距離より小さい。 （もっと読む）

【課題】捩れ運動が繰返されるトーションバー部分に設けた引出し配線の金属疲労を低減する。
【解決手段】固定部に可動部を揺動可能に軸支するトーションバー３に、可動部側の駆動コイルと固定部側の電極端子を接続する引出し配線６を設ける構成のプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、シリコン基板で形成しその上面に引出し配線６を設けたトーションバー下層部３Ａ上に、ガラス材で形成したトーションバー上層部３Ｂを陽極接合することにより、捩り応力の小さいトーションバー中心位置に引出し配線６を設ける構成とした。 （もっと読む）

【課題】狭額縁化されたアクチュエータを提供する。
【解決手段】本発明に係るアクチュエータ２０は、ホルダ７とコイル５およびマグネット３と柱状の支持体６と、支持体６が配置された四角形形状を有するベース９とを備え、支持体６は、ベース９の角を含む角部に備えられており、コイル５およびマグネット３のうち、一方がホルダ７に保持されており、他方が支持体６に保持されており、マグネット３は、支持体６に対向するように設置されている。 （もっと読む）

【課題】磁気駆動機構の駆動性能および耐衝撃性能の双方を高めることができるレンズ駆動装置を提供すること。
【解決手段】レンズ駆動装置１では、駆動マグネット１７は、角筒部１８５の角部１８４および凹部１８２ｂ内の双方に配置されているため、駆動コイル３０に対して、効率よく駆動マグネット１７の磁気力を作用させることができる。従って、磁気駆動機構５ａは大きな推力を発揮するので、第１バネ部材１４ｘおよび第２バネ部材１４ｙのバネ力を高めることができる。それ故、第１バネ部材１４ｘおよび第２バネ部材１４ｙによって移動体３をより強く保持することができるので、第１バネ部材１４ｘおよび第２バネ部材１４ｙによって、レンズ駆動装置１の耐衝撃性能を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】低コスト化及び部品実装スペースの省スペース化を図る。
【解決手段】ｎ（ｎは２以上の整数）個のコイルが巻かれたアーマチュアと、前記ｎ個のコイルの各々に対応して設けられ、各コイルへの電力の供給／遮断を切り替えるためのｎ個のスイッチと、前記ｎ個のスイッチの各々に対応して設けられ、各スイッチを介して各コイルに同一の電力を供給するｎ個の電源と、必要なトルクに応じて各スイッチのオン／オフを制御する制御部とを具備する。 （もっと読む）

【課題】駆動効率の向上及びデバイスの小型化が可能な、電磁駆動型の光スキャナ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】弾性連結部１３を捩り変形させながら可動板１１を回動させることにより、可動板１１で反射した光を対象物に走査する光スキャナ装置の製造方法であって、デバイス基板２０に、可動板１１、弾性連結部１３、及びコイル１５を形成する第１の工程と、デバイス基板２０上の、支持枠１２の境界にミシン目Ｆを形成する第２の工程と、支持枠１２をデバイス基板２０を支持するための支持基板３０に固定することにより、デバイス基板２０と支持基板３０を接合する第３の工程と、デバイス基板２０の一部をミシン目Ｆに沿って切り離し、除去する第４の工程と、支持基板３０上の、第４の工程でデバイス基板２０の一部を除去した領域に、コイル１５に磁界を与えるための永久磁石１４ａ，１４ｂを配置する第５の工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 その小型化を効果的に図ることが可能なボイスコイルモータとアクチュエータを提供すること。
【解決手段】 センターヨークを案内部材として用いたボイスコイルモータであり、それによって、小型化を図ることが可能になる。又、滑りガイドを内蔵するようにしたボイスコイルモータであり、それによって、動作を円滑なものとすることができるとともに小型化を図ることができる。又、そのようなボイスコイルモータを使用したアクチュエータである。 （もっと読む）

【課題】 面移動する駆動部分を備え、正確な入力も行える機能も備えたアクチュエータを提供する。
【解決手段】 本発明は、所定位置を中心に平面上で異なる磁極が交互となるように複数の磁石を配置した磁界発生部１と、磁界発生部１に対向すると共に前記異なる磁極に各々跨るように配置した複数のコイル２を保持するコイル保持部２０と、を相対移動させ、入力デバイスに組み込んで使用されるアクチュエータＡ−７であって、コイル保持部２０が外方へ延在する腕部４０を有し、磁電変換素子３１及び位置検出用磁石３０のいずれか一方が腕部４０の端部４１に設けられ、他方が端部４１と対向する位置に設けられ、腕部４０は相対移動の方向に対して平行及び垂直のいずれかの方向へ延在しており、端部４１は磁界発生部１及びコイル保持部２０による周辺磁界の影響を受けない位置に設けられ、相対移動は面移動であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】装置の構成の複雑化を抑制するとともに、可動部の振動状態の検出期間を拡大することが可能な振動素子を提供する。
【解決手段】この電磁駆動式ミラー（振動素子）１００は、所定の共振周波数およびその近傍で振動する可動部１１と、パルス電流Ｉｐを周期的に供給することにより可動部１１を振動させるパルス電流供給部３２と、可動部１１の振動状態を検出する逆起電力検出部３３とを備え、パルス電流供給部３２は、少なくとも起動時には、可動部１１の共振周波数と略同じ第１周波数ｆ１でパルス電流Ｉｐを供給するとともに、可動部１１の振動状態の検出時には、第１周波数ｆ１よりも小さい第２周波数ｆ２でパルス電流Ｉｐを周期的に供給するように構成されている。 （もっと読む）