【課題】低コストで、高い耐湿性及び放熱性を確保することが可能な弾性波デバイス、及び多層基板を提供すること。
【解決手段】本発明は、圧電基板１０と、圧電基板１０上に設けられた、弾性波を励振するＩＤＴ２２と、金属からなり圧電基板１０上にＩＤＴ２２を囲むように設けられたシールリング１２及び周縁部１５と、ＩＤＴ２２、シールリング１２及び周縁部１５の上に設けられ、ＩＤＴ２２上に空隙２４が形成されるようにＩＤＴ２２を封止する板部１３と、圧電基板１０上であってシールリング１２及び周縁部１５の外側に設けられ、ＩＤＴ２２と電気的に接続された端子１６と、を具備する弾性波デバイス、及び弾性波デバイスを内蔵する多層基板である。 （もっと読む）

【課題】 弾性波フィルタを含むチップが積層体に搭載され、樹脂により封止された弾性波デバイスにおいて、放熱性の改善を図ること。
【解決手段】 複数の層４０ａ〜４０ｃの主面が提供する配線形成のための複数の面１０１〜１０４を有する積層体と、積層体の表面である１０１面に実装されたチップ３０と、チップ３０を封止する樹脂部６０と、１０２面に形成され、弾性波フィルタを構成する共振器の少なくとも１つと電気的に接続されたインダクタの配線パターンＬ２と、１０２面に配線パターンＬ２の少なくとも一部（領域７０）に沿って形成されたグランドパターンＧＮＤと、１０１面及び１０２面と異なる１０４面に形成され、配線パターンＬ２及びグランドパターンＧＮＤと電気的に接続された外部端子４２と、を備えることを特徴とする弾性波デバイス。 （もっと読む）

【課題】コストを増大させることなく、高耐電力と低通過損失の両立が可能なアンテナ分波器を備える通信モジュールを提供すること。
【解決手段】本発明は、複数の分波器を備え、複数の分波器のうち、互いに送信帯域が異なる少なくとも２つの分波器それぞれに含まれる送信フィルタ、即ち第１分波器４０の第１送信フィルタ４２と第２分波器５０の第２送信フィルタ５２とのＩＤＴ電極３４および互いに受信帯域が異なる少なくとも２つの分波器それぞれに含まれる受信フィルタ、即ち第１分波器４０の第１受信フィルタ４４と第２分波器５０の第２受信フィルタ５４とのＩＤＴ電極３４の少なくとも一方が、単一の圧電基板３２上に同じ材料且つ同じ膜厚で設けられている通信モジュールである。 （もっと読む）

【課題】優れた信頼性を有する弾性波装置を提供する。
【解決手段】弾性波装置１は、圧電基板１０と、ＩＤＴ電極２０と、パッド部２６ａ、２６ｂと、接続部２７ａ、２７ｂとを備えている。ＩＤＴ電極２０は、圧電基板１０の上に配されている。ＩＤＴ電極２０は、複数の電極指２２ａ、２２ｂ及びバスバー２３ａ、２３ｂを有し、互いに間挿し合う一対のくし歯状電極２１ａ、２１ｂからなる。接続部２７ａ、２７ｂは、ＩＤＴ電極２０とパッド部２６ａ、２６ｂとを接続している。パッド部２６ａ、２６ｂの少なくとも表層はＰｕｒｅＡｌまたはＰｕｒｅＡｕからなる。接続部の表層は、ＰｕｒｅＡｌまたはＰｕｒｅＡｕ以外の構成材料により構成されている。 （もっと読む）

【課題】圧電体材料を効率良く利用して、均質な厚みの極薄圧電膜を形成することができる、複合圧電基板の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電体基板２の表面２ａからイオンを注入して、圧電体基板２内において表面２ａから所定深さの領域に欠陥層４を形成する。圧電体基板２の表面２ａに支持基板１０を接合して基板接合体４０を形成する。基板接合体４０を、圧電体基板２内に形成された欠陥層４で分離して、圧電体基板２の表面２ａと欠陥層４との間の剥離層３が圧電体基板２から剥離されて支持基板１０に接合された複合圧電基板３０を形成し、複合圧電基板３０の剥離層３の表面３ａを平滑化する。イオン注入後に、複合圧電基板３０の剥離層３の分極処理を行う。 （もっと読む）

【課題】電子部品素子を覆うように形成された封止樹脂の帯電を防止する電子部品の製造方法およびその方法により製造された電子部品を提供する。
【解決手段】電子部品の製造方法は、実装基板１０上に弾性表面波素子２０を実装する工程と、実装基板１０上に実装された弾性表面波素子２０を覆うように封止樹脂４０を形成する工程と、封止樹脂４０の表面にプラズマ処理を行なう工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】耐電力性が優れているとともに、通過帯域内の挿入損失が小さい弾性波装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】弾性波装置の製造方法は、成膜装置内に圧電基板１１０を設置する工程と、成膜装置内に設置された圧電基板１１０上にＩＤＴ電極を形成する工程とを備える。ＩＤＴ電極を形成する工程は、Ａｌ層１２４Ａを蒸着法またはスパッタリング法により圧電基板１１０上に形成することと、Ａｌ層１２４Ａの形成を中断した後に再びＡｌ層１２４Ｂの形成を行ない、更にＡｌ層１２４Ｂの形成を中断した後に再びＡｌ層１２４Ｃの形成を行ないＡｌ層を所定の厚さにすることとを含む。 （もっと読む）

【課題】共振特性やフィルタ特性の劣化を招くことなく、サージ耐性を高めることができる弾性波素子を提供する。
【解決手段】圧電基板２上にＩＤＴ電極３が形成されており、ＩＤＴ電極３が、ホット側電位に接続される複数本の第１の電極指８と、複数本の第１の電極指８の先端とギャップＧ１を隔てて対向された複数本の第１のダミー電極指１０と、第２の電極指９と、第２の電極指９の先端とギャップＧ２を隔てて対向された第２のダミー電極指１１とを有し、ギャップのうち最も狭いギャップにおいて、グラウンド電位に接続される電極指９，１１の先端に電極指側縁から弾性波伝搬方向に突出する凸部１３が形成されており、ホット側電位に接続される電極指８，１０に該凸部が形成されていない、弾性波素子１。 （もっと読む）

【課題】耐電力性に優れた弾性表面波フィルタ装置を提供する。
【解決手段】直列腕共振子Ｓ１〜Ｓ４及び並列腕共振子Ｐ１〜Ｐ３を構成している複数の弾性表面波共振子のうち、第１及び第２の信号端子２１，２４間を信号が流れた際の単位時間あたりの発熱量が最も小さい弾性表面波共振子以外の弾性表面波共振子のいずれか一つを構成しているＩＤＴ電極は、配線電極５０ａ，５０ｂと対向していない。 （もっと読む）

【課題】実用的なエッチング速度を維持するために必要な被エッチング層の厚みを従来よりも薄くすることができる圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】まず、圧電基板のイオン注入面からイオンを注入して、圧電基板内部にイオン注入部分を形成する。次に、イオン注入面に少なくとも被エッチング層を介して仮基板を積層した構成の仮積層体を形成する。次に、仮積層体を加熱し、イオン注入部分を分離面として圧電基板から圧電薄膜を分離する。次に、分離面に少なくとも支持基板を積層した構成の積層体を形成する。そして、仮基板または支持基板に、仮基板と支持基板との間隔を広げるような応力が付与された応力付与状態で、被エッチング層をエッチングして被エッチング層と仮基板とを除去する。 （もっと読む）

【課題】弾性波素子１０の電気特性の向上と歩留まり劣化を抑制すること。
【解決手段】本発明の弾性波素子１０は、圧電基板１５と、圧電基板１５の上に設けられた２つの反射器電極と、２つの反射器電極１２、１３の間に設けられたインターディジタルトランスデューサ（ＩＤＴ）電極１１と、ＩＤＴ電極１１と反射器電極１２または１３との間のギャップからＩＤＴ電極１１の電極指の伸延方向の延長線上に反射器電極１２または１３またはＩＤＴ電極１１から所定距離をあけて設けられたダミー電極１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃ、１６Ｄを備える。この構成によって、ドライエッチングを行う際、エッチングガスをダミー電極１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃ、１６Ｄと反射器電極１２または反射器電極１３またはＩＤＴ電極１１との間の隙間からギャップに充分にエッチングガスを供給でき、エッチングを安定的に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】通過周波数帯域における周波数特性の平坦性の劣化を抑えながら、ＥＳＤ耐性に優れた弾性波デバイスを提供すること。
【解決手段】電極指１２、１２の交差領域からバスバー１１側に離れた位置において、互いに隣接するＩＤＴ電極１、１間及び互いに隣接するＩＤＴ電極１とグレーティング反射器２との間に夫々第１のフロートダミー電極１６、１６及び第２のフロートダミー電極１８を設けて、これらフロートダミー電極１６、１８を他の部位から電気的に浮いた状態にすると共に、これらフロートダミー電極１６、１８をＩＤＴ電極１における電極指１２の配列パターンに対応するように形成する。 （もっと読む）

【課題】複数の導体層を積層した電極指を有するＩＤＴ電極において、導体層の破断や剥離等の発生を抑制し、耐久性を高めた弾性表面波素子及びそれを搭載した弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】弾性表面波素子１は、圧電基板１０上に電極指１１ａを有するＩＤＴ電極１１を備えている。電極指１１ａは、中間層１２と、中間層１２に比べて大きな熱膨張係数を有する電極層１３が積層されてなる。電極指１１ａは、圧電基板１０に近づく方向に広がる台形形状となる断面形状を有している。中間層１２の側面１の成す角度α_１は、電極層１３の側面との成す角度β_１と異なっている。 （もっと読む）

【課題】優れたフィルタ特性を有し、かつ相互変調歪みのレベルが低い弾性波分波器を提供する。
【解決手段】受信フィルタ２０は、第１，第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部３０ａ，３０ｂと、弾性表面波共振子４０とを有する。第１，第２の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部３０ａ，３０ｂは、少なくとも３つのＩＤＴ電極３１〜３３を含む。弾性表面波共振子４０は、少なくとも３つのＩＤＴ電極３１〜３３のうちの少なくとも一つに接続されている１つのＩＤＴ電極４１を含む。弾性表面波共振子４０の容量Ｃ１と、ＩＤＴ電極４１に電気的に接続されているＩＤＴ電極３１の容量Ｃ２との比（Ｃ１／Ｃ２）が１．９以上２．５以下となるように、受信フィルタ２０が構成されている。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波装置の耐電力性の向上を図ること。
【解決手段】弾性表面波装置は、圧電性単結晶基板１０と、上記圧電性単結晶基板上に形成された導電性材料からなる下地電極層２１と、この下地電極層上にエピタキシャル成長により形成されたアルミニウムを含有する主電極層２２と、により構成された交差指状の電極２０と、を備える。そして、上記電極２０は、上記主電極層２２上に形成された、当該主電極層及び上記下地電極層とは異なりアルミニウムよりも比重の大きい導電性材料からなる上部層２３を有する。 （もっと読む）

【課題】送信側フィルタチップと受信側フィルタチップとを有する弾性波分波器において、アイソレーション特性の改善を図る。
【解決手段】弾性波分波器１は、送信側フィルタチップ３０及び受信側フィルタチップ２０を備えている。受信側フィルタチップ２０は、受信側圧電基板２１と、受信側圧電基板２１上に形成されている受信側弾性波フィルタ部２３とを有する。送信側フィルタチップ３０は、送信側圧電基板３１と、送信側圧電基板３１上に形成されている送信側弾性波フィルタ部３３とを有する。受信側圧電基板２１の厚みＴ_Ｒｘが、送信側圧電基板３１の厚みＴ_Ｔｘよりも小さい。 （もっと読む）

【課題】漏洩弾性表面波を用いており、音速を高めることができ、高周波化を容易に果たすことができる弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】ＬｉＮｂＯ_３基板２上にＩＤＴ電極３が形成されており、ＬｉＮｂＯ_３基板２上のＩＤＴ電極３を覆うように酸化ケイ素膜６が形成されており、酸化ケイ素膜６上に誘電体層７が形成されており、誘電体層７の横波音速が、ＬｉＮｂＯ_３における遅い横波音速よりも速く、誘電体層７の膜厚Ｈ３としたときに、漏洩弾性表面波の波長λで規格化してなる規格化膜厚Ｈ３／λが０．２５〜０．６の範囲にある弾性表面波装置１。 （もっと読む）

【課題】ラダー型弾性波フィルタのＱ値劣化を抑制する。
【解決手段】本発明のラダー型弾性波フィルタは、直列共振器と並列共振器とを梯子状に接続したラダー型弾性波フィルタであって、信号経路とグランドとの間に接続されると共に、前記ラダー型弾性波フィルタの通過帯域の２倍以上３倍以下の周波数に減衰極を形成する第１並列共振器及びこれに直列接続されたインダクタと、信号経路とグランドとの間に接続されると共に、前記第１並列共振器より容量の小さい第２並列共振器１９とを備え、前記第２並列共振器１９は互いに音響結合される複数の入出力ＩＤＴ電極対２５、２６、２７を有すると共に、前記複数の入出力ＩＤＴ電極対２５、２６、２７は直列接続された構成である。 （もっと読む）