【課題】検出・測定対象の化学物質によるＩＤＴ電極等の腐食や劣化を抑制して検出・測定精度を確保しかつ高信頼性を有し、小型化や高周波化も可能な弾性表面波センサを提供する。
【解決手段】弾性表面波センサ１０では、検出または測定の対象となる化学物質に接触させる必要がある感応膜７が、水晶基板１の上側主面に設けられた励振および受信用ＩＤＴ電極４，５と水晶基板１を介して隔離された水晶基板１の下側主面に設けられている。これにより、励振用および受信用ＩＤＴ電極４，５に化学物質を触れさせることなく検出または測定を行うことが可能となるので、励振用および受信用ＩＤＴ電極４，５の化学物質による腐蝕や劣化を防止することができる。従って、励振および受信用ＩＤＴ電極４，５の腐蝕や劣化を起こさず信頼性の高い弾性表面波センサ１０を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】シングル型ＩＤＴ電極を備え、発振周波数としてストップバンドの上限モードを利用する弾性表面波装置において、周波数温度特性が優れ、また高周波化が容易な弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】水晶基板表面にＲａｙｌｅｉｇｈ型弾性表面波を励振させるためのシングル型ＩＤＴ電極を少なくとも備え、弾性表面波のストップバンドの上限モードを励振させる弾性表面波装置であって、水晶基板の切り出し角度及び弾性表面波伝搬方向をオイラー角表示で（φ，θ，ψ）とするとき、φ＝０°、１１０°≦θ≦１４０°、３８°≦｜ψ｜≦４４°に設定し、かつ、ＩＤＴ電極の厚みをＨ、ＩＤＴ電極における電極指の幅をｄ、ＩＤＴ電極における電極指間のピッチをＰ、弾性表面波の波長をλ、η＝ｄ／Ｐとしたとき、Ｈ／λ≧０．１７９６η³−０．４３０３η²＋０．２０７１η＋０．０６８２とする。 （もっと読む）

【課題】弾性波素子の特性を向上させ、また、弾性波素子の歩留まりを向上させる。
【解決手段】基板１０上に圧電膜１３を形成し、この圧電膜１３上に導電性膜１７を形成し、さらに、圧電膜１３上に弾性波発生用の櫛歯型電極１９ａを形成するとともに、導電性膜１７上に位置し、櫛歯型電極１９ａと電気的に接続される導電性膜１９ｂを形成した後、櫛歯型電極１９ａを覆い、導電性膜１９ｂ上に開口部ＯＡ２を有する保護膜２１を形成する。その結果、開口部ＯＡ２の形成、即ち、保護膜２１のエッチングの際、開口部ＯＡ２底部にエッチング残渣が生じていてもワイヤボンディング時に貫通することが可能なため、接続不良を低減できる。 （もっと読む）

【課題】ｃ軸方向が圧電基板表面にほぼ平行な方向に配向されている圧電薄膜を有する圧電装置を提供する。
【解決手段】（０１０）面ＬｉＮｂＯ_３基板、（０バー１０）面ＬｉＮｂＯ_３基板、（０１０）面ＬｉＴａＯ_３基板及び（０バー１０）面ＬｉＴａＯ_３基板からなる群から選択された１種の圧電基板２と、前記圧電基板２上に形成されており、ｃ軸方向が基板表面に実質的に平行な方向に配向されているＺｎＯまたはＡｌＮからなる圧電薄膜４と、前記圧電薄膜４に接するように形成された第１，第２の電極３，５とを備える。 （もっと読む）

【課題】櫛型電極や弾性表面波の伝搬領域が確実に保護された弾性表面波素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】圧電基板１０上に形成された櫛形電極及び弾性表面波の伝搬領域１２を有する弾性表面波素子において、櫛形電極及び弾性表面波の伝搬領域１２が収容される空間を形成して、櫛形電極及び弾性表面波の伝搬領域１２を覆う蓋体を圧電基板１０上に設けた。蓋体は、櫛形電極及び弾性表面波の伝搬領域１２が収容される空間を形成して、櫛形電極及び弾性表面波の伝搬領域１２を覆うように跨ぐブリッジ状の第一の蓋体部１４と、第一の蓋体部１４を覆い、櫛形電極及び弾性表面波の伝搬領域１２が収容される空間を密封するフィルム１６と、フィルム１６によって覆われた第一の蓋体部１４を覆う第二の蓋体部１８と、からなる三重構造となっている。 （もっと読む）

【課題】通過帯域外減衰量を向上し、通過帯域幅の広いフィルタ特性を有し、かつ、小型化が可能な弾性表面波素子を提供すること。
【解決手段】ＩＤＴ電極を有する弾性表面波共振子１０，２０と、信号を入力する入力端子３１，３２と、信号を出力する出力端子３３，３４とを備えている。弾性表面波共振子１０では、ＩＤＴ電極１１が有する一対のバスバーのうち、２つに分割されたバスバー１３ａ，１３ｂはそれぞれ、出力端子３３，３４に接続されており、バスバー１２は、入力端子３１に接続されている。弾性表面波共振子２０では、ＩＤＴ電極２１が有する一対のバスバーのうち、２つに分割されたバスバー２３ａ，２３ｂはそれぞれ、出力端子３３，３４に接続されており、バスバー２２は、入力端子３２に接続されている。 （もっと読む）

【課題】周波数温度特性を改善し得るだけでなく、製造工程の簡略化を果たすことができ、かつコストを低減することが可能な弾性表面波フィルタ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電基板２上にＩＤＴ電極７ｂ及び第１の配線パターン１１を形成し、ＩＤＴ電極７ｂ及び第１の配線パターン１１を覆うように絶縁膜１０を形成し、ＩＤＴ電極７ｂが形成されている部分上及び第１の配線パターン１１の一部上に絶縁膜が残るように絶縁膜１０をエッチングし、さらに第１の配線パターン１１上に絶縁膜１０が残存している部分において、第１の配線パターン１１と接触しないように、第１の配線パターン１１と異なる電位に接続される第２の配線パターン１２を形成する各工程を備える弾性表面波装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】モジュール化の際の圧力で変形しない中空構造を有する弾性波デバイスおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、圧電基板（１０）または圧電膜の表面に設けられた弾性波素子（１２）と、圧電基板（１０）または圧電膜上に設けられ、弾性波素子（１２）上に空洞（１８）を有する第１樹脂部（２０）と、第１樹脂部（２０）上に設けられた第２樹脂部（４０）と、を有し、第２樹脂部（４０）は、第１樹脂部（２０）の上面に空洞（１８）を投影した領域を含むように設けられていることを特徴とする弾性波デバイスである。また、その製造方法である。 （もっと読む）

【課題】バルク波の放射損を低減し、通過帯域内における挿入損失を小さくし、通過帯域幅が広く、平衡信号出力に対応可能な弾性表面波フィルタとそれを備えた通信装置とを提供すること。
【解決手段】弾性表面波素子部Ａ，Ｂを有する弾性表面波フィルタ１であって、弾性表面波素子部Ａは、櫛歯状の電極指を有したＩＤＴ電極３，２，４と、反射器電極７，８とが配設されている。弾性表面波素子部Ｂは、櫛歯状の電極指を有するＩＤＴ電極１６と、ＩＤＴ電極１６の外側のＩＤＴ電極１３，１５と、反射器電極１７，１８とが配設されている。ＩＤＴ電極１６は、電極指の片方が２分割され、それぞれに出力端子１１，１２が接続されている。電極指ピッチＬ₁は、ＩＤＴ電極１６の電極指間隔の平均値よりも大きな値となるように規定されている。 （もっと読む）

機械的に敏感な電子構成素子のための中空室を備えたハウジング、およびこのハウジングを製造するための方法
中空室ハウジング内に構成素子を気密に、かつ少ない応力で組み込むために、形状結合式に結合可能な２つのハウジング部分を設けることが提案されており、この場合、少なくとも１つのハウジング部分が、構成素子を受容する切欠を有している。構成素子自体は、導電性のホルダによって、切欠の領域内で自由に浮遊した状態で懸架されている。
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【課題】
封止樹脂部に中空構造を有し信頼性を向上させることが可能な弾性表面波デバイスおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】
本発明は、圧電基板（１０）と、圧電基板（１０）上に設けられた電極と圧電基板からなる弾性表面波素子（１２）と、圧電基板（１０）上に設けられ、弾性表面波素子（１２）上に空洞（１８）を有する第１封止樹脂部（２０）と、弾性表面波素子（１２）を囲むように圧電基板（１０）の表面に接し設けられた無機絶縁膜（２２）と、を有することを特徴とする弾性表面波デバイスおよびその製造方法である。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波共振子あるいはフィルタなどの弾性表面波デバイスにおいて、損失を最小化し、急峻性を向上させることを目的とするものである。
【解決手段】漏洩表面弾性波を励起することが可能なカット角で切り出された圧電基板１上に櫛型電極や反射器を設け、従来ＬＳＡＷとして利用されていたＳＡＷの音速を低減させ、前記圧電基板を伝播する遅い横波の速度よりも遅くしたＳＡＷを利用することにより、従来ＬＳＡＷとして利用されていたＳＡＷを伝播損失の発生しないＲＳＡＷとして利用し、従来のＬＳＡＷを利用したＳＡＷフィルタやＳＡＷ共振子と比較し、挿入損失が少なく、かつ急峻特性が向上したＳＡＷフィルタやＳＡＷ共振子を得る。 （もっと読む）

【課題】 絶縁性に優れた複合酸化物積層体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 基板２０と、前記基板２０の上方に形成され、一般式ＡＢＯ_３で表される第１複合酸化物層２４と、前記第１複合酸化物層２４の上方に形成され、一般式ＡＢ_１−ｘＣ_ｘＯ_３で表される第２複合酸化物層２６と、を含み、Ａ元素は、少なくともＰｂからなり、Ｂ元素は、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｖ、ＷおよびＨｆの少なくとも一つからなり、Ｃ元素は、ＮｂおよびＴａの少なくとも一つからなる。 （もっと読む）

【課題】歩留まりの向上を図りつつ、所望の周波数特性を有する弾性表面波素子を得ることができる弾性表面波素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】圧電材料を主材料として構成された圧電体層４上に、電気信号の入力用および出力用の１対のＩＤＴ５、６と、１対のＩＤＴ５、６を保護する保護膜７とを順次積層する弾性表面波素子１の製造方法であって、圧電体層４上に１対のＩＤＴ５、６を形成して、基体１ａを得る工程と、基体１ａに弾性表面波を励振させ、その伝播速度を測定する工程と、測定された伝播速度に基づいて、得られる弾性表面波素子１の弾性表面波の伝播速度が目的とする設定伝播速度となるように、保護膜７の設定膜厚を決定する工程と、決定された設定膜厚となるように保護膜７を形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 複数の励振電極を有する薄膜弾性表面波デバイスであっても、従来の単数の励振電極を有する薄膜弾性表面波デバイスと比べ体積を小さくすることが可能な薄膜弾性表面波デバイスを提供する。
【解決手段】 本発明の薄膜弾性表面波デバイス１０は、基板１１，２０の一面に形成された圧電体薄膜１２，２１と、圧電体薄膜１２，２１上に形成された弾性表面波を励振させる励振電極１９，２２とを有する複数の薄膜弾性表面波素子５，６と、薄膜弾性表面波素子６の、圧電体薄膜１２が形成された一面と異なる面の基板１１の他面に形成された外部接続電極２６と、を有し、薄膜弾性表面波素子５，６は、互いの励振電極１９，２２が空隙を有して対向し、密閉されるように形成された接合部２５によって接合されている。 （もっと読む）

【課題】 発振回路が発生するノイズが、半導体基板の外周端面に反射し再度発振回路に侵入すること、且つ、外周端面から弾性表面波素子の表面層に回りこむことを抑制する。
【解決手段】 弾性表面波素子１０は、半導体基板２０の表面層に少なくとも発振回路３０と、ＩＤＴ領域４０と、を混在してなる弾性表面波素子１０であって、発振回路３０とＩＤＴ領域４０とを含む周囲、またはそのどちらか一方の周囲をリング形状に取り囲む導電体層としての金属層５０を備え、金属層５０がＧＮＤに接続されている。このようにすることで、発振回路３０が発生するノイズが、半導体基板２０の外周端面に反射し、再度発振回路に侵入すること、且つ、外周端面から弾性表面波素子の表面層に回りこむことを抑制できる。 （もっと読む）

【課題】 従来のＦＳＫ変調器は、伸張コイルと切り換え電圧発生回路と可変容量ダイオード等の素子を使用することが必要でコストアップであった。
【解決手段】 ２つの振動状態を有するＳＡＷ共振子と、増幅器からなるＦＳＫ変調器において、前記２個の振動状態を有するＳＡＷ共振子は、1個のＩＤＴとその両側に1対の反射器を配置した第１と第２の１ポート型のＳＡＷ共振子を２個並列にして配置して、２つの振動状態が取ることが可能であり、かつ第１のＳＡＷ共振子を駆動用手段に、第２のＳＡＷ共振子を制御用手段とし、前記第２のＳＡＷ共振子の出力端子に直列にＳＷおよび電流制限素子を接続した上に接地し、前記の第１のＳＡＷ共振子の出力端子を前記増幅器の入力端子に接続し、前記増幅器の出力は各々移相器を通した上で、前記第１および第２のＳＡＷ共振子の入力端子に接続したＦＳＫ変調器。 （もっと読む）

【課題】 小型化が可能、または、設計の自由度を向上させることが可能な共振器、フィルタおよびアンテナ分波器を提供すること。
【解決手段】 本発明は、共振子（Ｓ３１）と、共振子（Ｓ３１）と並列に接続されたインダクタ（Ｌ３１）と、共振子（Ｓ３１）と並列に接続されたキャパシタ（Ｃ３１）と、を備える共振器である。また、この共振器を有するフィルタおよびアンテナ分波器である。本発明によれば、減衰特性を改善するため共振子に付加するインダクタンスを小さくでき、実装面積を削減できる。または、２つの反共振点を任意に設定できる。 （もっと読む）

【課題】 バンプ接合により高密度実装が可能であり、かつ水分の侵入等による特性の変動が生じ難い、信頼性に優れた弾性境界波装置を得る。
【解決手段】 圧電基板１Ａ上にＩＤＴ９が形成されており、ＩＤＴ９を覆うように絶縁膜７が積層されており、絶縁膜７上に吸音膜８が積層されており、アンダーバンプメタルを電解メッキにより形成するためのＵＢＭ下地層１３が、絶縁膜７の開口部に至っており、絶縁膜７の開口部においてＩＤＴ９とＵＢＭ下地層１３と電気的に接続している配線１２に接続されており、吸音膜８にＵＢＭ下地層１３の一部を露出している吸音膜開口部８ａが形成されており、ＵＢＭ下地層１３が、絶縁膜７と吸音膜８との境界において給電ライン１４に接続されており、該給電ラインから電流を通電することによりＵＢＭ下地層１３上にＵＢＭが電解メッキにより形成されている、弾性境界波装置６。 （もっと読む）

【課題】 湿気の浸入を防止して、性能の良好なものが得られると共に、薄型の表面弾性波ディバイスを提供すること。
【解決手段】 本発明の表面弾性波ディバイスにおいて、櫛歯部２ａを囲んだ状態で振動空間部５を形成するための空間形成部材４の外周面には、振動空間部５への湿気浸入防止用の封止膜６が設けられため、振動空間部５内（櫛歯部２ａ側）への水分や気体の浸入防止を確実にできて、性能の良好なものが得られると共に、封止膜６によって、振動空間部５の密封度を向上することができ、また、圧電基板１からの封止膜６の高さは、導体バンプ３の先端よりも小さいため、厚みが薄く、薄型化が図れる。 （もっと読む）