【課題】Ｃｕを主成分とするインターデジタル電極を用いた弾性表面波装置であって、耐電力性が著しく改善された弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】圧電基板２と、圧電基板２上に形成されたインターデジタル電極３とを備え、インターデジタル電極３が、ＣｕまたはＣｕを主成分とする合金からなる主電極層３ａと、主電極層３ａと圧電基板２との間に配置されており、Ｔｉを主成分とし、膜厚が１８〜６０ｎｍの範囲にある密着層３ｂとを備える、弾性表面波装置１。 （もっと読む）

【課題】ＩＤＴ上にＳｉＯ₂膜を形成することにより周波数温度特性が改善されているだけでなく、ＳｉＯ₂膜表面におけるクラックが生じ難く、所望とする特性を確実に得ることができ、電気機械結合係数が大きく、減衰定数α小さい弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】２０°〜６０°回転Ｙ板のＬｉＴａＯ₃基板上に、Ａｇを主体とする少なくとも１つのＩＤＴが形成されており、該ＩＤＴを覆うように、ＬｉＴａＯ₃基板上にＳｉＯ₂膜が形成されている、弾性表面波装置。 （もっと読む）

【課題】広帯域化を図り得るだけでなく、通過帯域内における挿入損失を小さくし得る縦結合共振子型弾性表面波フィルタを得る。
【解決手段】圧電基板２上に、弾性表面波伝搬方向に沿ってそれぞれ複数本の電極指を有する少なくとも３つのＩＤＴ１３〜１５を備え、少なくとも１つのＩＤＴ１３〜１５が、表面波伝搬方向に隣接している他のＩＤＴ端部から一部分の電極指の周期が、該ＩＤＴの残りの部分の電極指の周期よりも小さい狭ピッチ部分を有し、該狭ピッチ部分を有するＩＤＴ１４と、ＩＤＴ１４に隣接するＩＤＴ１３，１５との隣り合う電極指の極性が異なっている、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ。 （もっと読む）

【課題】 弾性表面波チップとその周辺との電気的接続を効率よく、確実に行うことができる弾性表面波装置と、その製造方法をすること。
【解決手段】 圧電基板の一面にすだれ状電極３３が形成された弾性表面波チップ３１と、この弾性表面波チップを気密に収容するパッケージ４０とを備えた弾性表面波装置３０であって、前記弾性表面波チップが、前記すだれ状電極と一体の引出し電極３５と、前記引出し電極と接続される電極パッド３６とを有しており、前記電極パッド３６が、電極面となる第１の金属層５１と、第１の金属層５１の密着性を向上させるための第２の金属層５２とを備え、前記引出し電極が、前記電極パッドの前記第１の金属層の表面側に回り込むように配置されている構造。 （もっと読む）

【課題】任意の帯域幅の共振器及びフィルタを提供する。
【解決手段】大きな電気機械結合係数を持つ圧電・電歪物質基板の表面或いは圧電薄膜基板上にすだれ状電極を配置した共振器、或いはその両側に反射器を配置した構造の共振器において、数個の共振器を直列に接続する構造、或いは圧電基板上に誘電体薄膜を付着させた基板上にすだれ状電極及び反射器を設けた構造、或いは弾性表面波共振器の表面に誘電体を付着させ、さらにはその上に導体膜を付着させる構造とする。 （もっと読む）

本発明は、フィルタを有する音響素子に関しており、ここでこの素子は、変換器および反射から互いに独立して選択される素子構造を有している。これらの素子構造は、共通の１基板に配置されている。各素子構造は、層構造の組成が統一されており、また層厚が統一されている。ここで２つの素子構造は、組成および／または層厚が互いに異なる。
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【課題】 ＳＨ型弾性表面波デバイスの挿入損失に関し、最適化電極膜厚を得る。
【解決手段】 オイラー角（０°，１１０°〜１５０°，９０°±２°）の水晶基板上にアルミニウムを主成分とする合金のＩＤＴ電極及びグレーティング反射器を複数個備えたＳＨ型弾性表面波デバイスであって、前記ＩＤＴ電極及びグレーティング反射器の実効膜厚Ｈ＝Ｈ_０・２Ｌ／（Ｌ＋Ｓ）（Ｈ_０は規格化膜厚、Ｌはライン幅、Ｓはスペース幅）が３％λから４．５％λ（λは波長）の範囲にあるように設定する。 （もっと読む）

【課題】高周波帯に用いられるＳＡＷデバイスにおいて、電極膜厚を厚くした時の膜厚ばらつきによる特性変動の抑圧を図る。
【解決手段】圧電基板１上にそれぞれ互いに間挿し合う複数本の電極指を有する一対のくし形電極により構成されたＩＤＴ２と、該ＩＤＴ２の両端に反射器３ａ、３ｂを配置し、前記ＩＤＴ２をマグネシウム、又はマグネシウムを３０ｗｔ％以上含有した合金からなる単層膜で形成し、ＩＤＴ２のＳＡＷの波長λで規格化した電極膜厚を４％λ以上とした時に、電極指の幅を０．３７５±０．０２５λに設定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 圧電基板１上にインターディジタルトランスデューサとなる電極２が形成されている弾性表面波素子において、耐電力性の向上を図る。
【解決手段】 本発明に係る弾性表面波素子においては、圧電基板１上の電極２が、下部Ｔｉ層３、Ｍｏ若しくはＷ又はこれらの金属の合金からなる中間金属層４、上部Ｔｉ層５、及びＡｌ若しくはＡｌ合金からなる上部導電層６を順次積層して構成される。ここで、下部Ｔｉ層３の厚さＡは、１０ｎｍ以上、３０ｎｍ以下であり、中間金属層４の厚さＢは、３５ｎｍ以上、６５ｎｍ以下であり、上部Ｔｉ層５の厚さＣは、１０ｎｍ以上、３０ｎｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】 縦２重モード型の共振子型ＳＡＷフィルタにおいて、１／４波長電極を用いながら、電極指のもつ反射係数を相殺低減して、従来より通過帯域幅の広い共振子型ＳＡＷフィルタを提供する。
【解決手段】 共振子型ＳＡＷフィルタにおいて、入力側すだれ状電極および出力側すだれ状電極は、前記弾性表面波の波長をλとして電極幅Ｌがほぼλ／４で構成され、
かつ前記の入力側すだれ状電極および出力側すだれ状電極は、２種類の異なる区間Ａと区間Ｂとを交互に配置してなり、
前記区間Ａは、電極幅寸法Ｌと電極間寸法Ｓの和である電極周期長ＰをＰ＝Ｌ＋Ｓとした場合に、電極周期長ＰがＰＡかつすだれ状電極の対数ＭＡが１対であり、
前記区間Ｂは、前記電極周期長ＰがＰＢかつすだれ状電極の対数ＭＢが１対であり、かつ区間Ａと区間Ｂの電極指はいずれも給電導体に接続し、
さらに、前記制御用すだれ状電極はそれらの電極周期長ＰＣがＰＡと異ならしめて形成しかつすだれ状電極の対数ＭＣが全反射係数が１程度を成す範囲であることを特徴とする共振子型ＳＡＷフィルタ。 （もっと読む）

【課題】 ＧＰＳ受信機のＲＦ用ＳＡＷデバイスの要求規格を満たす手段を得る。
【解決手段】 オイラー角（０°±４°，１４４．１°〜１６０．０°，０°±４°）のタンタル酸リチウム基板の上に少なくとも１つのＩＤＴ電極と該ＩＤＴ電極の両側に配置したグレーティング反射器とを備えたＳＡＷデバイスであって、前記ＩＤＴ電極及びグレーティング反射器をアルミニウムあるいはアルミニウム合金で形成し、その基準化電極膜厚Ｈ／λ（Ｈは電極膜厚、λは波長）を０．１０から０．１４の範囲に設定して構成する。 （もっと読む）

共振周波数や中心周波数の調整が容易であり、周波数温度特性が良好であり、比帯域幅が広くかつ反共振抵抗が高い弾性表面波装置を得る。
電気機械結合係数が１５％以上であるＬｉＴａＯ₃またはＬｉＮｂＯ₃からなる圧電性基板１と、圧電性基板１に形成されており、Ａｌよりも密度の大きい金属もしくは合金からなる金属層を主たる金属層とし、該主たる金属層に他の金属からなる金属層が積層されている積層膜により構成されている少なくとも１つの電極と、前記少なくとも１つの電極が形成されている領域を除いた残りの領域において、前記電極と略等しい膜厚とされている第１のＳｉＯ_２層２とを備え、前記電極の密度が、第１のＳｉＯ_２層２の密度の１．５倍以上であり、前記電極及び第１のＳｉＯ_２層２を被覆するように形成された第２のＳｉＯ_２層６と、前記第２のＳｉＯ_２層６上に形成された窒化ケイ素化合物層２２とをさらに備える弾性表面波装置。 （もっと読む）

電気機械結合係数が大きく、伝搬損失及びパワーフロー角が小さく、周波数温度係数ＴＣＦが適度な範囲にあり、簡略な構造により簡単な工法で製造され得るストンリー波を利用した弾性境界波装置を提供する。
圧電体２の一面に誘電体３が積層されており、圧電体２と誘電体３との間の境界に電極としてＩＤＴ４及び反射器５，６が配置されており、誘電体３を伝搬する遅い横波の音速及び圧電体２を伝搬する遅い横波の音速よりもストンリー波の音速を低くするように、上記電極の厚みが決定されている、弾性境界波装置１。 （もっと読む）

フィルタ帯域の急峻化や、比帯域幅の異なる複数帯域のフィルタ、共振子を単一基板上に得ることで、小型で高性能な弾性境界波を用いた弾性境界波装置を提供する。
単結晶基板４上に固体層５が積層されており、単結晶基板４と固体層５との境界に電極が配置されている弾性境界波装置であって、カット角が同じ単結晶基板４を用いて構成された複数の弾性境界波素子２，３が備えられており、弾性境界波素子２の伝搬方位は、弾性境界波素子３の伝搬方位と異なっている、弾性境界波装置１。
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【課題】 圧電基板上に複数のＳＡＷ共振子を配置して構成するラダー型ＳＡＷフィルタの減衰傾度を急峻にする手段を得る。
【解決手段】 圧電基板上に表面波の伝搬方向に沿ってＩＤＴ電極とその両側にグレーティング反射器を配して形成するＳＡＷ共振子を、複数個配設して構成するラダー型ＳＡＷフィルタにおいて、前記ＩＤＴ電極及び前記グレーティング反射器の電極指幅ＬとスペースＳとの関係を０．５５≦Ｌ／（Ｌ＋Ｓ）≦０．７５としたラダー型ＳＡＷフィルタである。 （もっと読む）