【課題】弾性表面波素子における挿入損失及び耐電力を向上させ、フィルタ特性に優れた高性能かつ高品質の弾性表面波素子、電子デバイス及び電子機器を提供する。
【解決手段】本発明の弾性表面波素子は、圧電材料及び対をなす櫛歯型電極１０ａ，１０ｂ及び櫛歯型電極１１ａ，１１ｂからなるＩＤＴ１０，１１を有する単位フィルタ１−Ａ，１−Ｂを、同一の圧電基板２６上に形成して、複数並列接続した弾性表面波素子１であって、櫛歯型電極１０ａ，１０ｂ，１１ａ，１１ｂの電極指２ａ，２ｂの長さは全て等しく、単位フィルタ１−Ａ，１−Ｂの弾性表面波の波長をλ（但し、λ＝Ｖ／ｆ Ｖ：弾性表面波速度（ｍ/ｓ）、ｆ：動作周波数（ＧＨｚ））としたとき、ＩＤＴ１０，１１の電極膜厚が１０〜４００ｎｍの範囲内、かつ電極指２ａ，２ｂの交差長が５〜５０λの範囲内で構成されている。 （もっと読む）

【課題】高いＱ値を有するとともに、広い周波数範囲に対応することが可能な弾性境界波装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る弾性境界波装置は、ニオブ酸カリウムからなる圧電体層１０１と、圧電体層１０１上にすだれ状に形成される金電極１０３と、圧電体層１０１および金電極１０３上に形成される、二酸化ケイ素を含む誘電体層１０５と、を備え、金電極１０３の厚みをＨｍとし、金電極１０３によって圧電体層１０１と誘電体層１０５の界面に励振される弾性境界波２０の波長をＬとした場合に、Ｈｍ／Ｌを、０．０１５以上とする。 （もっと読む）

【課題】圧電基板の端部で反射した弾性表面波を減衰量を特性を考慮して所定の膜厚である吸収部を有する弾性表面波素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】弾性表面波素子１０は、弾性表面波を励振させるための入力電極１２、出力電極１４と、不要な弾性表面波を吸収する吸収部１６ａ、１６ｂとが圧電基板１８上に形成され、吸収部１６ａ、１６ｂは、フォトレジストで形成され、前記弾性表面波の波長をλとして吸収部１６ａ、１６ｂの膜厚ｈが０．７λ以上２０λ以下である。また、吸収部１６ａ、１６ｂの膜厚ｈは、好ましくは１λ以上１０λ以下であり、さらに好ましくは略１λである。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波共振子の素子基板の切断位置、端面形状によって共振周波数が左右されず、小型化された弾性表面波共振子を提供する。
【解決手段】水晶基板１０上に弾性表面波のＳＨ波が励振される弾性表面波共振子１において、水晶基板１０にＳＨ波の位相伝搬方向Ｘ’に略直交して極性の異なる電極指１２ａ，１２ｂが交互に配置されたＩＤＴ１２が形成されたＩＤＴ形成領域１３と、水晶基板１０に、ＳＨ波の位相伝搬方向Ｘ’におけるＩＤＴ形成領域１３の両側に電極指１２ａ，１２ｂの交差幅以上の幅寸法で、ＳＨ波の位相伝搬方向Ｘ’に長さ寸法を有する付加膜１４が形成された付加膜形成領域１５とを備え、付加膜形成領域１５の全体が有する反射係数が０．８７５以上１．０００以下である。 （もっと読む）

【課題】基板内部に弾性波のエネルギーを閉じ込めることにより、小型の素子を得る。
【解決手段】圧電基板１上にすだれ状電極３、誘電体薄膜４、更に誘電体薄膜５を付着さた基板であり、基板内部に弾性波のエネルギーを閉じ込めた基板を得ることができる。特に、薄膜４として、ＳｉＯ_２薄膜、薄膜５として、ＡｌＮ薄膜を用いることにより、大きな電気機械結合係数（ｋ^２）と周波数温度特性に優れた基板を電極３の膜厚、薄膜４、薄膜５の膜厚を最適の値とすることにより得ることが出来る。 （もっと読む）

【課題】耐電力特性を向上させつつ、動作周波数の高周波数化を図ることができる弾性表面波素子、および、この弾性表面波素子を備える信頼性に優れた電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の弾性表面波素子１は、ダイヤモンドで構成された硬質層３上に、ＺｎＯで構成された圧電体層４と、Ａｌで構成された櫛歯状電極５、６を備える電極層１０と、ＳｉＯ_２で構成された保護層９とがこの順に積層され、電極層１０の平均層厚をＴ_１、圧電体層４の平均層厚をＴ_２、保護層９の平均層厚をＴ_３、圧電体層４の３次モードの弾性表面波の波長をλ、（２π／λ）をｋとしたときに、下記（１）〜（３）のそれぞれの関係式を満たすことを特徴とする弾性表面波素子。
０．００１≦ｋＴ_１≦０．０２・・・・・・・（１）
１．３≦ｋＴ_２≦２．０・・・・・・・・・・（２）
０．５≦ｋＴ_３≦１．２・・・・・・・・・・（３） （もっと読む）

【課題】小型化が容易で、周波数精度が良好な弾性表面波共振子を提供する。
【解決手段】水晶基板１０上にＳＨ型弾性表面波が励振されるすだれ状電極１１と、すだれ状電極１１の一方の側に配置された１つの反射器１３と、を備え、電極指１１ａ，１１ｂの幅寸法をＬＴとし、電極指の存在しない領域の寸法をＳＴとして、ＩＤＴ配列周期長であるＰＴがＰＴ＝ＬＴ＋ＳＴであり、反射器１３は金属導体１３ａからなり、金属導体１３ａの幅寸法をＬＲとし、金属導体の存在しない領域の寸法をＳＲとして、反射器配列周期長であるＰＲがＰＲ＝ＬＲ＋ＳＲであり、反射器配列周期長ＰＲとＩＤＴ配列周期長ＰＴとの比ＰＲ／ＰＴが１．０１以上１．０２以下の範囲であって、すだれ状電極１１の他方の側にＩＤＴ配列周期長ＰＴに満たない寸法ＰＳＴの電極が存在しない領域を有して水晶基板１０が垂直に切断された切断面を有する。 （もっと読む）

【課題】反射係数│κ₁₂│／ｋ₀が適度に小さく、電気機械結合係数Ｋ²が大きく、所望とする帯域幅を有し、かつ通過帯域低域側におけるスプリアスを抑制でき、挿入損失の増大を図り得る弾性境界波装置を提供する。
【解決手段】圧電体２の上面２ａに複数本の溝２ｂが形成されており、該複数本の溝２ｂに金属が充填されてＩＤＴ電極４が形成されており、ＩＤＴ電極４及び圧電体２の上面２ａに誘電体３が形成されており、誘電体２と圧電体３との境界を伝搬するＳＨ型の弾性境界波を利用しており、弾性境界波の波長λとしたときに、ＩＤＴ電極４の厚みＨがＨ＞８２６１．７４４ρ^-1.376であり、かつ密度ρがρ＞３７４５ｋｇ／ｍ³であり、ＩＤＴ電極の厚みＨが溝２ｂの深さと異なっている、弾性境界波装置１。 （もっと読む）

【課題】高域側のダレ特性を改善する。
【解決手段】圧電基板２の主面上に表面波の伝搬方向に沿って３つの正規型ＩＤＴ３、ＩＤＴ４及びＩＤＴ５を０．５λのピッチで近接配置し、これらＩＤＴの両側に反射器６、７を配設したものである。ＩＤＴ３、４、５はそれぞれ互いに間挿し合う複数本の電極指を有する一対のくし形電極により構成され、ＩＤＴ３の一方のくし形電極は入力端子に接続し、他方のくし形電極は接地する。そして、ＩＤＴ４とＩＤＴ５の一方のくし形電極は互いに連結して出力端子に接続し、ＩＤＴ４とＩＤＴ５の他方のくし形電極は互いに接続して接地する。さらにＩＤＴ３とＩＤＴ４との間、及びＩＤＴ３とＩＤＴ５との間にＳＡＷの特性を反転する反射反転型の電極構造を有する反射反転ミドルグレーティング８、９を配置するようにした。 （もっと読む）

【課題】高周波領域において広帯域化を図ることができるＳＡＷフィルタ装置を提供する。
【解決手段】所定の中心周波数とは異なる中心周波数で、帯域幅が所定帯域幅より狭い複数のＳＡＷフィルタ１２ａ、１２ｂと、複数のＳＡＷフィルタ１２ａ、１２ｂの入出力ラインに夫々設けられ、何れかのＳＡＷフィルタを選択するために連動して切り替わる切替スイッチ３、４と、を備え、複数のＳＡＷフィルタ１２ａ、１２ｂは、回転Ｙカット角を結晶Ｚ軸より反時計方向に４０°±２０°の範囲に設定し、且つ、ＳＡＷの伝搬方向を結晶Ｘ軸に対して９０°±３°に設定した水晶基板１１と、この水晶基板１１上に形成され、Ａｌ又はＡｌを主成分とする合金からなりＳＨ波を励振するＩＤＴ１３、１４とを有し、励振するＳＡＷの波長をλとしたとき、ＩＤＴ１３，１４の膜厚が０．０６λ以下となるようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、通信機器等に用いられる弾性表面波フィルタに関し、弾性表面波フィルタの耐電力性の改善に伴うＩＭ特性の劣化を抑制することを目的とするものである。
【解決手段】この目的を達成するために本発明は、特に、弾性表面波フィルタを形成する配線電極３の構成を、櫛型電極２を形成する積層電極７上にさらにチタン層８とアルミニウム層９を配置して形成し、このチタン層８の厚みを櫛型電極２を形成するチタン層６より厚くしたのである。 （もっと読む）

【課題】 高周波化を図った場合であっても、導体抵抗の増大を抑制でき、十分大きな電気機械結合係数Ｋ²を可能とする弾性境界波装置を提供する。
【解決手段】 第１の媒質１１と、第２の媒質１２との間にＩＤＴ１３が配置されており、ＩＤＴ１３を厚み方向に２等分した面を境界面とし、該境界面から第１の媒質１１側の弾性境界波のエネルギーをＥ１、該境界面から第２の媒質１２側のエネルギーをＥ２とし、ＩＤＴ１３を構成したときの弾性境界波の音速と、ＩＤＴ１３を構成する最も密度の大きな導体層のみを用いてＩＤＴ１３を構成したときの弾性境界波の音速とが同一となるように、密度が最も大きい導体層単独でＩＤＴ１３を構成した条件において、前記境界面から第１の媒質１１側の弾性境界波のエネルギーをＥ１′、前記境界面から第２の媒質１２側のエネルギーをＥ２′としたときに、Ｅ１／Ｅ２＞Ｅ１′／Ｅ２′とされている、弾性境界波装置１０。 （もっと読む）

【課題】 弾性表面波の横方向（伝搬方向に直交する方向）の漏洩波を抑制して挿入損失を向上させ、高品質な平衡型弾性表面波フィルタとしても機能する弾性表面波装置及び通信装置を提供すること。
【解決手段】 弾性表面波装置は、圧電基板１上に、圧電基板１上を伝搬する弾性表面波の伝搬方向に沿って、伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えたＩＤＴ電極３〜５と、ＩＤＴ電極３〜５の両側にそれぞれ配置され、伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えた反射器電極６，７とを有する弾性表面波素子２が形成されており、反射器電極６，７は、弾性表面波の波長の半分以下の幅を有するバスバー電極１１，１２が反射器電極６，７の電極指１３，１４の形成領域の内部に伝搬方向に沿って形成されている。 （もっと読む）

【課題】圧電体ＳＡＷ共振子分野において、１個のＳＡＷ共振素子で複数の周波数が提供できる多重モードＳＡＷ共振子を実現する。
【解決手段】アルミで形成された電極指１１６をそれぞれ有するゲイトＩＤＴ１０３と主ＩＤＴ１０２および副ＩＤＴ１０４と、アルミ電極導体１１９を有する反射器１０１，１０５とを備えるＳＡＷ共振素子１２０を有しており、電極指は、膜厚比Ｈ／λが０．０５以上０．０６以下の範囲、電極指１本の有する反射係数ｒが約０．０６であり、主ＩＤＴおよび副ＩＤＴの電極指の対数が４０以上６０以下、ゲイトＩＤＴの電極指の対数が２０±２、反射器のアルミ電極導体の本数が７０以上８０以下であり、且つ主ＩＤＴおよび副ＩＤＴの電極指周期長ＰＴに対して、ゲイトＩＤＴの電極指周期長ＰＧの比をＰＧ／ＰＴ＝１．０１程度に設定し、主ＩＤＴと副ＩＤＴの極性をＳＷ回路にて切り換えて、複数の発振周波数を使用する。 （もっと読む）

【課題】周波数温度特性が良好であり、電気機械結合係数が大きく、かつ伝搬損失が小さい表面波装置を提供する。
【解決手段】２０°〜４８°回転Ｙ板Ｘ伝搬ＬｉＴａＯ_３からなる圧電基板２と、圧電基板２上に形成されており、タングステンからなり、かつ膜厚をＨ、表面波の波長をλとしたときに、規格化膜厚Ｈ／λが０．００２５〜０．０６の範囲にあるＩＤＴ３と、ＩＤＴ３を覆うように圧電基板２上に形成されており、かつ規格化膜厚Ｈｓ／λが０．１０〜０．４０の範囲にあるＳｉＯ_２膜とを備える表面波装置１。 （もっと読む）

【課題】周波数温度特性が良好であり、電気機械結合係数が大きく、かつ伝搬損失が小さい表面波装置を提供する。
【解決手段】オイラー角（０±２°，１０４〜１４１°，０±２°）のＬｉＴａＯ₃からなる圧電基板２と、圧電基板２上に形成されており、密度８７００〜１０３００ｋｇ／ｍ³、ヤング率１．８×１０¹¹〜４×１０¹¹Ｎ／ｍ²あるいは横波音速が３１７０〜３２９０ｍ／秒である、ＮｉやＭｏなどで代表される金属もしくは該金属を主体とする合金または前記金属もしくは合金からなり、かつ膜厚をＨ、表面波の波長をλとしたときに、規格化膜厚Ｈ／λが０．００８〜０．０６の範囲にあるＩＤＴ３と、ＩＤＴ３を覆うように圧電基板２上に形成されており、かつ規格化膜厚Ｈｓ／λが０．１０〜０．４０の範囲にあるＳｉＯ₂膜とを備える表面波装置１。 （もっと読む）

【課題】ほう酸リチウム単結晶基板を用いたＳＡＷ素子の特性劣化を最小に留め、かつ基板の耐湿信頼性を確保し得るように絶縁膜で基板表面を被覆する。
【解決手段】ＳＡＷ素子１０は、四ほう酸リチウム単結晶の圧電基板１１に電極膜１６を形成し、その上に形成したレジストパターン１７を用いて電極膜をエッチングしてＩＤＴ１２を形成し、露出した基板表面をオーバエッチングしかつ残存するレジスト材料を除去した後、ＩＤＴを含む基板上にＳiＯ_２の絶縁膜を形成する。オーバエッチングの深さｄを０．００５〜０．０３５μｍとし、絶縁膜の厚さｔをｔ＞ｄかつ３５０Å＜ｔ＜９００Åに設定する。更に絶縁膜の厚さｔを電極膜の厚さＴに関して０．１８Ｔ＜ｔ＜０．４２Ｔを満足するように設定する。 （もっと読む）

【課題】水晶基板を用いたＳＡＷデバイスにおいて、容量比γを小さくし、周波数制御性
を高めたＳＡＷデバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】圧電基板１は、回転Ｙカット水晶基板のカット角θを結晶Ｚ軸より反時計方
向に−６１．４°＜θ＜−５１．１°の範囲に設定し、且つ、弾性表面波の伝搬方向を結
晶Ｘ軸に対し９０°±５°にした水晶平板であり、励振する弾性表面波はＳＨ波である。
また、ＩＤＴ２及びグレーティング反射器３ａ、３ｂはＡｌ又はＡｌを主成分とする合金
からなり、弾性表面波の波長λで基準化した電極膜厚Ｈ／λを０．０４＜Ｈ／λ＜０．１
２に設定する。そして、前記ＩＤＴを構成する電極指のライン占有率ｍｒを電極指幅／（
電極指幅＋電極指間スペース）とした時に、前記ライン占有率ｍｒを０．５３≦ｍｒ≦０
．６５、又は０．５５≦ｍｒ≦０．６８に設定する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、スプリアスを抑え、かつ、Ｑ値が高く、さらに減衰量も大きい弾性表面波共振器およびこれを用いた弾性表面波フィルタ、アンテナ共用器を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の弾性表面波共振器は、ニオブ酸リチウムからなる基板１と、この基板１の上面に設けられアルミニウムまたはアルミニウム合金で構成された少なくとも１つの櫛型電極２と、この櫛型電極２を覆うとともに表面に凹凸形状を有する保護膜４とを備え、前記基板１の回転Ｙ板のカット角を０〜＋２５度とし、かつ、前記櫛型電極２の膜厚をｈ、波長をλとしたときに、規格化電極膜厚（ｈ／λ）を７．８〜９．８％としたものである。 （もっと読む）

【課題】複数の導体層を積層した電極指を有するＩＤＴ電極において、導体層の破断や剥離等の発生を抑制し、耐久性を高めた弾性表面波素子及びそれを搭載した弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】弾性表面波素子１は、圧電基板１０上に電極指１１ａを有するＩＤＴ電極１１を備えている。電極指１１ａは、中間層１２と、中間層１２に比べて大きな熱膨張係数を有する電極層１３が積層されてなる。電極指１１ａは、圧電基板１０に近づく方向に広がる台形形状となる断面形状を有している。中間層１２の側面１の成す角度α_１は、電極層１３の側面との成す角度β_１よりも大きく形成されている。 （もっと読む）