【課題】大量生産に適し常に安定して良好な弾性表面波伝搬性能を発揮可能な弾性表面波素子、及びこのような弾性表面波素子を用いた環境差異検出装置を提供することである。
【解決手段】この発明の弾性表面波素子は：弾性表面波が伝搬可能な曲面が連続した少なくとも円環状の曲面の一部を含む表面を有する３次元基体１２と；上記表面に弾性表面波を励起し上記表面に沿い弾性表面波を伝搬させるとともに伝搬する弾性表面波を受信可能な電気音響変換素子１４と；を備え、３次元基体が水晶であり、３次元基体の表面において電気音響変換素子は、これらの結晶の結晶面と前記表面との交線に沿い弾性表面波を伝搬させ、前記交線は前記表面の最大外周線である、ことを特徴とし、環境差異検出装置は、弾性表面波素子の複数の伝搬表面帯の電気音響変換素子の弾性表面波受信信号を比較し夫々が接する空間部分の環境の差異を検出する。 （もっと読む）

【課題】温度変化による特性の変化を抑制する温度補償用膜が形成されており、製造工程の煩雑さをさほど招くことなく温度補償用膜を容易に形成でき、かつ小型化を図ることが可能な弾性波素子の製造方法を提供する。
【解決手段】対向し合う第１，第２の主面１ａ，１ｂを有する圧電ウェーハ１を用意すう工程と、圧電ウェーハ１の第１の主面１ａのＩＤＴ電極４を形成する工程と、第２の主面１ｂ上にＳＯＧ法により温度補償用膜を形成する工程と、圧電ウェーハを複数の圧電基板に分割する工程とを備える、弾性波素子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】部品点数を少なくして製造コストを低減した高感度かつ高分解能のＳＡＷセンサを提供する。
【解決手段】ＳＡＷセンサ素子１は長さ方向に薄板部３ａと厚板部３ｂとを有する圧電基板２と、薄板部上に形成された検出用ＳＡＷ共振子５及び第１ＳＡＷフィルタ６と、厚板部上に形成された基準用ＳＡＷ共振子７と第２ＳＡＷフィルタ８とを備える。検出用ＳＡＷ共振子と第１ＳＡＷフィルタ間に第１発振回路２２を接続して検出用の発振周波数を発振させ、基準用ＳＡＷ共振子と第２ＳＡＷフィルタ間に第２発振回路２３を接続して基準用の発振周波数を発振させ、それらを第１及び第２ＳＡＷフィルタを通過させて不要な信号成分を除去した後、周波数混合器２４に入力してそれらの差分又は和分を検出する。 （もっと読む）

【課題】ラム波の伝搬方向に垂直方向の振動漏れを抑圧するラム波型共振子を提供する。
【解決手段】ラム波型共振子１は、複数の電極指片それぞれを接続するバスバー電極の幅をＷｂ、前記電極指片と前記バスバー電極との間の距離をＷｇと表したとき、Ｗｇをｘ軸、幅Ｗｂをｙ軸とする直交座標において、ＷｇとＷｂとが共に、円の方程式（ｘ−１０）²＋（ｙ＋１２．７）²＝１９²で表される円弧とＷｇ≧１λ、Ｗｂ≧１λで囲まれる範囲と、座標（Ｗｇ，Ｗｂ）で表した場合に、Ｊ２１、Ｊ２２、Ｊ２３、Ｊ２４、Ｊ２５、Ｊ２６、Ｊ２７、Ｊ２８、Ｊ２９、Ｊ３０、Ｊ３１、Ｊ３２、Ｊ３３、Ｊ３４、Ｊ３５、Ｊ３６、Ｊ３７、Ｊ３８、Ｊ２１で表される各座標を記載順序に直線で結び、前記直線で囲まれる範囲と、のいずれかにある。このことにより、水晶基板１０の横方向外端部で発生する変位を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷの端面反射防止、耐湿性の双方に良好な特性を示し、且つ生産性が高く安価に提供することのできるＳＡＷデバイスを提供する。
【解決手段】実装基板２０に対して、ＩＤＴ電極１６を形成したＳＡＷ素子片１２をフリップチップ実装し、これを封止樹脂３４で被覆したＳＡＷデバイス１０であって、圧電基板１４におけるＳＡＷの伝搬方向と平行に、ＩＤＴ電極１６を挟み込むように対を成し、封止樹脂３４がＳＡＷと直交する方向からＩＤＴ電極１６側へ浸入することを防ぐ阻止壁１８を設け、封止樹脂３４は、圧電基板１４においてＩＤＴ電極１６と実装基板２０との間に気密空間Ｓを形成しつつＩＤＴ電極１６から励起されたＳＡＷが直接到達する箇所を覆う第１の樹脂３０と、少なくとも第１の樹脂３０の外表面と実装基板１４の上面とを被覆する第２の樹脂３２とから成り、第２の樹脂３２よりも第１の樹脂３０の硬度を低くしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電極指の線幅が変動した場合における周波数変動量の差を少なくし、量産化に適した弾性表面波デバイスを提供する。
【解決手段】少なくともＲａｙｌｅｉｇｈ型弾性表面波を励振させるための電極パターン１４としてのＩＤＴ１６を備え、前記弾性表面波のストップバンドの上限モードを励振させる弾性表面波デバイス１０であって、ＩＤＴ１６を形成するための圧電基板１２として、（φ，θ，ψ）で示すオイラー角表示で（０°，９５°≦θ≦１５５°，３３°≦｜ψ｜≦４６°）のカット角で切り出された水晶基板を採用し、ＩＤＴ１６を構成する櫛歯状電極１８（１８ａ，１８ｂ）の電極指間に電極指間溝（溝２８）を形成することで、溝２８で挟まれた水晶部分を電極指台座３０とし、電極指台座３０の上面に電極指２２が位置する構成としたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】耐電力性（マイグレーション耐性）のさらなる向上を図るとともに温度変化による周波数変動を抑えた信頼性の高い弾性表面波素子を提供する。
【解決手段】酸化亜鉛を主成分とする圧電体層４を有する基板２と、前記基板２上に形成された少なくとも一対の櫛歯型電極５ａ，５ｂからなるＩＤＴ６と、を有し、前記櫛歯型電極５ａ，５ｂは、Ａｌ−Ｔｉ合金からなる第１電極層１６Ａと、Ａｌ−Ｎｄ合金からなる第２電極層１６Ｂとが前記圧電体層４上にこの順で積層されて構成されている。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波の伝播領域に外部からの応力の影響を与えることなくパッケージ容器に強固に接合することが可能な弾性表面波素子片、およびそれを用いた弾性表面波デバイスを提供する。
【解決手段】ＳＡＷ素子チップ１０は、略矩形板状の圧電基板１１上に、ＩＤＴ電極１２と、反射器１３と、ＩＤＴ電極１２に接続された一対のボンディングパッド１９ａ，１９ｂが備えられ、ＩＤＴ電極１２および反射器１３が形成された領域の直下に空隙が形成されるように、一方の主面１４と平行に切り込むことにより形成された凹陥部１７を有している。この凹陥部１７により、ＳＡＷ素子チップ１０は、圧電基板１１の他方の主面１５側の保持基板部１１Ｂと、圧電基板１１の一方の主面１４側に略水平に突設された自由端部を有するＳＡＷ素子基板部１１Ａと、保持基板部１１ＢおよびＳＡＷ素子基板部１１Ａを連結する基端部１１Ｃと、を有している。 （もっと読む）

【課題】発振回路に可変容量ダイオードや、コイルを不要とし、発振回路のＩＣ化を容易にするＳＡＷ発振回路とそれを用いた電圧制御発振器を提供する。
【解決手段】ＳＡＷ共振子２と、ＳＡＷ共振子２の出力側に接続されて帰還増幅器として機能し利得を可変可能な第１の増幅器３と、ＳＡＷ共振子２の出力側に接続されて帰還増幅器として機能し利得を可変可能とすると共に、第１の増幅器３に入力される信号とは位相が１８０°異なるＳＡＷ共振子２の出力信号が入力される第２の増幅器４と、第１の増幅器３の出力信号を移相する移相器５と、移相器５が出力信号と第２の増幅器４の出力信号とを加算演算する演算器として加算器６とを、備え、加算器６の出力信号をＳＡＷ共振子２にフィードバックすると共に発振信号として出力するようにした。 （もっと読む）

【課題】 圧電部品の耐湿信頼性の改善ならびに、その製造方法の簡略化及び製造コストの低減である。
【解決手段】 本発明は、圧電基板２と、該圧電基板２の主面に形成された櫛歯電極３と、該櫛歯電極３に隣接して配設された素子配線を有する配線電極９と、該配線電極９の外周を囲む開口部４ａを有し、かつ前記圧電基板２の主面に形成された封止用電極４と、を有する圧電素子と、該封止用電極４の上面に積層され、かつ、前記開口部４ａと同じ大きさの開口部５ａを有する金属箔層５と、該金属箔層５の上面を覆い、かつ、前記櫛歯電極３の上面との間に所定の空隙Ｓを有するように圧着された金属蓋体６と、前記圧電基板２の表裏を貫通して配設され、かつ、前記配線電極９と前記圧電基板２の裏面に配設された端子電極７とを電気的に接続する貫通電極８と、からなる圧電部品ならびにその製造方法に関する。 （もっと読む）

本発明は、圧電材料でできている非常に小さなアンテナに対するものである。圧電材料を介して伝搬する無線シグナルの波長は、その高い誘電率および無線シグナル間の共振のため、短くなり、種々の周波数におけるその力学的な波のモードにより、送受信モードにおいて高振幅シグナルを生じる。 （もっと読む）

【課題】 センサ・ネットワークのセンサ・ノードなどに採用可能な低消費電力、小型で、かつダイナミック・レンジの大きいSAWセンサを実現することにある。
【解決手段】 帰還型のSAW発振器を構成する従来型のセンサではなく、本発明はセンシングガスとは隔離されたSAW遅延線の遅延位相を基準に、測定ガスによるSAW遅延線の遅延位相の変化を評価する構成であり、これにより温度による変動分は互いに相殺されるため、考慮する必要はなくなる。また、測定用の周波数信号は、ZigBeeなどのセンサ・ネットワークで用いる周波数信号の分周と逓倍によって生成するため、外部回路等が大幅に簡略化され、低消費電力化、装置の小型化が図れる。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷデバイスの圧電基板上に設けたヒータ電極による熱応力の影響を解消して周波数安定性を向上させる。
【解決手段】
ＳＡＷデバイス１は、圧電基板２の主面上にＩＤＴ３とその両側に配置した反射器５、６とを備え、少なくとも一方の反射器が、電源側端子９を介して外部電源に接続されかつ接地側端子１０を介して接地される。電源側端子と接地側端子間に所定の電流を印加し、反射器の一部又は全体をヒータ電極として発熱させ、圧電基板の温度を上昇させる。これにより、熱応力でＳＡＷデバイスの周波数を変動させることなく、安定した周波数特性を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷデバイスの圧電基板上に設けたヒータ電極による熱応力の影響を解消して周波数安定性を向上させる。
【解決手段】
圧電基板２，１２上にＩＤＴ３，１３及び反射器４，１４を備えるＳＡＷ共振子１，１１において、圧電基板の弾性表面波伝搬方向の長さＬ及び厚さＴを、ヒータ電極５を圧電基板の主面に形成したときは、Ｔ／Ｌが０．０６５以下となるように、ヒータ電極１５を圧電基板の裏面に形成したときは、Ｔ／Ｌが０．１２９以上となるように設定する。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波共振子の素子基板の切断位置、端面形状によって共振周波数が左右されず、小型化された弾性表面波共振子を提供する。
【解決手段】水晶基板１０上に弾性表面波のＳＨ波が励振される弾性表面波共振子１において、水晶基板１０にＳＨ波の位相伝搬方向Ｘ’に略直交して極性の異なる電極指１２ａ，１２ｂが交互に配置されたＩＤＴ１２が形成されたＩＤＴ形成領域１３と、水晶基板１０に、ＳＨ波の位相伝搬方向Ｘ’におけるＩＤＴ形成領域１３の両側に電極指１２ａ，１２ｂの交差幅以上の幅寸法で、ＳＨ波の位相伝搬方向Ｘ’に長さ寸法を有する付加膜１４が形成された付加膜形成領域１５とを備え、付加膜形成領域１５の全体が有する反射係数が０．８７５以上１．０００以下である。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波素子を球状のままで用い、球状弾性表面波素子の径が小さくても球状弾性表面波素子の配向を速やかに行う弾性表面波素子位置合わせ装置を得る。
【解決手段】球面に形成した素子電極を有する球状弾性表面波素子を椀状受け皿で保持して配向を調整する弾性表面波素子位置合わせ装置であって、前記素子電極の位置を検出する位置検出手段を有し、前記椀状受け皿の底部に開口部を有し、前記開口部に露出した前記球状弾性表面波素子に接して前記球状弾性表面波素子を移動させ前記椀状受け皿内で回転させて配向させる素子移動機構を有する弾性表面波素子位置合わせ装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】すだれ状電極が外方に向いていなくても周波数調整を行える弾性表面波デバイスの製造方法、弾性表面波デバイスおよび電子機器を提供する。
【解決手段】本発明の製造方法は、圧電基板１２の一方の主面１２ａにすだれ状電極１４を形成した弾性表面波（ＳＡＷ）チップ１０を備えた弾性表面波デバイスに係るものである。そして弾性表面波デバイスの製造方法は、一方の主面１２ａとは反対側の他方の主面１２ｂにおけるすだれ状電極（ＩＤＴ）１４に対向する位置に周波数調整膜３０を形成し、この形成により生じる応力によって前記圧電基板を歪ませて、周波数を調整している。 （もっと読む）

【課題】電気機械結合係数Ｋ²が大きくスプリアスが少ないＳＨ型バルク波共振子を提供する。
【解決手段】水晶基板１１のカット面および弾性波伝搬方向をオイラー角表示で（０°，θ，ψ）とするとき、ψが約＋９０度または約−９０度である水晶基板１１に少なくとも一つのＩＤＴ電極１２を配置してなるＳＨ型バルク波共振子１０において、ＩＤＴ電極１２がアルミニウムであって、オイラー角表示の角度θが９５°＜θ＜１５１°であり、水晶基板１１の厚みをｔ、弾性波の波長をλとしたとき、規格化基板厚みｔ/λがｔ/λ≦４である。 （もっと読む）

【課題】温度変化による伸縮が十分に抑えられて歩留まり良く圧電基板を得ることができる圧電基板の製造方法を提供する。
【解決手段】タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、水晶、四ホウ酸リチウム、酸化亜鉛などの圧電基板１１の一方の主面１１ａ上に保護基材１２を設け、基板１１の他方の主面１１ｂに溝加工を施して周縁部にリブ１１ｃを形成し、溝加工により形成された溝部１５に、基板１１の線膨張係数よりも小さい材料１６を溶射により埋め込み、保護基材１２を除去する。 （もっと読む）

【課題】横モードによるスプリアスを低減し、良好な振幅特性が保たれる弾性波デバイスを提供すること。
【解決手段】圧電基板上に互いに対向する各一対のバスバーと、各バスバーから各々交叉するように櫛歯状に伸び出した多数の励振用の電極指と、を備えた共振器型一方向性電極である入力側電極及び出力側電極を備え、前記入力側電極及び出力側電極の励振用の電極指により、各バスバーの伸長方向に沿った入力側電極の中央部と出力側電極の中央部との間で弾性波を繰り返し反射させ、増幅させて入力側電極から出力側電極に伝搬させる弾性波デバイスにおいて、弾性波の進行方向における入力側電極の中央部と弾性波の進行方向における出力側電極の中央部との間の領域における入力側バスバー、出力側バスバーの少なくともいずれか一方に吸音材を設け、バスバーに漏れ出したエネルギーを吸収する。 （もっと読む）