【課題】支持基板上にＬｉＴａＯ_３圧電基板を接合した弾性表面波装置及び分波器において、リップルを抑制すること。
【解決手段】本発明は、支持基板１０と、支持基板１０上に接合され、主面２１の法線方向がＸ軸を中心にＹ軸からＺ軸方向に４３°〜５３°回転した方向であるＬｉＴａＯ_３圧電基板２０と、圧電基板２０上に形成された電極パターン２２と、を具備することを特徴とする弾性表面波装置、及び前記弾性表面波装置を用いた分波器である。 （もっと読む）

【課題】縦結合共振子型弾性表面波フィルタの挿入損失と反射特性を改善する。
【解決手段】弾性表面波の伝搬方向に配列した２以上のＩＤＴを有する弾性表面波フィルタで、ＩＤＴのうちの１以上のＩＤＴの電極指ピッチを、当該ＩＤＴが主ピッチ領域を有しないように当該ＩＤＴに含まれる略全部の電極指について異ならせる。隣り合う２つのＩＤＴのうち、少なくとも相対的に電極対数が少ないＩＤＴのピッチを、主ピッチ領域を有しないよう変化させる。更に、相対的に電極対数が少ないＩＤＴの最大ピッチが、相対的に電極対数が多いＩＤＴの最大ピッチよりも小さく、かつ相対的に電極対数が少ないＩＤＴの最小ピッチが、相対的に電極対数が多いＩＤＴの最小ピッチよりも大きくする望ましい。 （もっと読む）

【課題】円弧状帯を定義可能な三次元基材に電気音響変換素子を設け、電気音響変換素子から励起される弾性表面波を円弧状帯に設けられた反射器で反射して弾性表面波の伝搬経路を制限するとともに、温度係数が０でない場合に、センサの感度に対する温度変化の影響を補償することが可能な球面弾性表面波センサを提供する。
【解決手段】
円弧状帯を定義可能な三次元基材と、その円弧状帯上に位置しそれに沿って弾性表面波を励起する電気音響変換素子と、円弧状帯に沿って反射する反射器と、少なくとも一部が円弧状帯の電気音響変換素子と反射器間に存在し周囲の環境変化に反応する感応膜とを備えたセンサヘッドと、高周波発生部と、高周波信号を計測する検出・出力部とを備える球面弾性表面波センサを提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、主として無線通信機器にて使用される弾性表面波デバイスに関して、弾性表面波デバイスの電気的特性を向上させることを目的とするものである。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、圧電体基板１と、この圧電体基板１の表面に設けた櫛型電極２と、前記圧電体基板１の裏面に設けた支持層５を備え、弾性表面波デバイスを構成する圧電体基板１の裏面に設けられる支持層５を多結晶体で形成するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】 表面弾性波素子及び実装基板間を封止している封止樹脂が表面弾性波素子の励振部に至るまで流入するのを防止できる表面弾性波装置を提供する。
【解決手段】 本発明にかかる表面弾性波装置１は、表面弾性波素子２がバンプ４を実装基板３に介して接続され、表面弾性波素子２の外周縁を封止樹脂５で封止した構成を有し、表面弾性波素子２の励振部６と実装基板３との間には振動空間７が確保されたものであって、表面弾性波素子２には、バンプ４及び励振部６を取り囲んだ外側樹脂流入防止堰９と、励振部６を取り囲んだ内側樹脂流入防止堰１０とが設けられており、外側樹脂流入防止堰９の高さｈ１はバンプ４の高さｈ２と実装基板３に形成された電極ランド８の高さｈ３との合算高さｈ４より低く設定され、かつ、内側樹脂流入防止堰１０の高さｈ５はバンプ４の高さｈ２より低く設定されていることを特徴とする。
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【課題】 温度変化による静電気の発生が少なく、電荷が発生しても速やかに自己中和できるタンタル酸リチウム単結晶を圧電基板として用いた弾性表面波フィルタおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 銅、マンガン、コバルト、ニッケル、イットリウムから選ばれる一種の添加元素を、０．０１ｗｔ％以上１．００ｗｔ％以下の割合で含有し、表面電荷を自己中和し除去する自己電荷中和特性を有するタンタル酸リチウム単結晶から作製された圧電基板を有する。 （もっと読む）

【目的】本発明は、圧電性基板或いは圧電性薄膜基板表面上に、弾性表面波を励振または受信するすだれ状電極を有する弾性表面波機能素子において、グレーティング薄膜を用いたダウン方向分散型すだれ状電極とアップ方向分散型すだれ状電極を用いた、分散型すだれ状電極を分割し、一方向性が得られる長さに分割し、これを並列に配置することにより、電極上を伝搬することによる伝搬損失を軽減することにより、広帯域・低損失・超角型で位相特性に優れた弾性表面波機能素子が得らることを目的としている。
【構成】図２のように、圧電性基板１の表面にダウン方向に一方向性をもつ分散型すだれ状電極弾性表面波とアップ方向に一方向性をもつ分散型すだれ状電極を一方向性が得られる長さで分割し、これらを対向させたフィルタ、及び距離重み付けを行うことにより、シャープなカットオフ特性をもつ弾性表面波フィルタが本特許の構成図である。 （もっと読む）

【課題】 弾性表面波の横方向（伝搬方向に直交する方向）の漏洩波を抑制して挿入損失を向上させ、高品質な平衡型弾性表面波フィルタとしても機能する弾性表面波装置及び通信装置を提供すること。
【解決手段】 弾性表面波装置は、圧電基板１上に、圧電基板１上を伝搬する弾性表面波の伝搬方向に沿って、伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えたＩＤＴ電極３〜５と、ＩＤＴ電極３〜５の両側にそれぞれ配置され、伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えた反射器電極６，７とを有する弾性表面波素子２が形成されており、反射器電極６，７は、弾性表面波の波長の半分以下の幅を有するバスバー電極１１，１２が反射器電極６，７の電極指１３，１４の形成領域の内部に伝搬方向に沿って形成されている。 （もっと読む）

【課題】各電極におけるマイグレーションの発生を防止しつつ、各電極の耐電力性を高めることができる表面弾性波デバイスを提供すること。
【解決手段】本発明の表面弾性波デバイス１は、圧電性基板２の表面２ａに櫛歯電極３および反射電極４を備える。櫛歯電極３および反射電極４の電極指５、６における隣接電極指（最外側の電極指）５Ｃ、６Ｃは耐マイグレーション性に優れたＡｌを用いて形成されている。また、隣接電極指５Ｃ、６Ｃ以外の電極指５Ｂ、６Ｂは、Ａｌよりも耐電力性に優れたＣｕを用いて形成されている。 （もっと読む）

【課題】機能素子に加わる応力を低減させる。
【解決手段】一方の基板４０と他方の基板１０との間に形成された封止空間６０内に少なくとも機能素子５０の一部が配置された電子部品の製造方法であって、複数の上記一方の基板を備える第１基板と複数の上記他方の基板を備える第２基板とを貼り合わせる工程と、上記第１基板を上記一方の基板に個片化して上記封止空間を形成する工程と、上記封止空間内の環境を維持するための封止薄膜を上記一方の基板を覆って形成する工程と、上記第２基板を上記他方の基板に個片化する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】送信信号に対して、受信側通過帯域における高減衰特性を有しつつ送信側通過帯域より低域側における高減衰特性をも有する分波器を提供する。
【解決手段】第１の複数の共振子を含んで構成される送信側フィルタと、第２の複数の共振子を含んで構成される受信側フィルタと、インピーダンス整合用の第１のインダクタンス素子と、を備える分波器を、送信側フィルタの通過帯域よりも受信側フィルタの通過帯域の方が高周波側にあり、送信側フィルタが、第１の複数の共振子を直列腕と並列腕とに備えるとともに並列腕に設けられた並列共振子と基準電位とされる端子とを接続する第２のインダクタンス素子を備えるラダーフィルタであり、受信側フィルタの共振子のうちアンテナに最も近い直近共振子が並列腕に設けられてなるとともに、直近共振子の共振周波数が送信側フィルタの通過帯域よりも低い周波数である、ようにした。 （もっと読む）

【課題】球状弾性表面波素子を速やかにセンサーホルダに装着し、薬液や気体中の成分の分析を速やかに行える弾性表面波装置を得る。
【解決手段】圧電体基材を有し圧電体基材の形状が球の北極と南極の間の赤道部分の球面を有し、赤道部分に沿って周回する弾性表面波を発生させる１対の櫛型電極を有し、圧電体基材の南極側に、南極側の櫛型電極に電気接続する南極接続用電極を有し、南極接続用電極の外部電極との接触面が平面状であり、圧電体基材の北極側に、北極側の櫛型電極に電気接続する北極接続用電極を有する球状弾性表面波素子を有し、南極接続用電極を、南極用プリント配線板の配線パターンに電気接続する南極保持電極の上面に当接して設置し、北極接続用電極を北極保持電極の下面に当接し、球状弾性表面波素子を南極保持電極と北極保持電極で挟んで保持するセンサーホルダを有する弾性表面波装置を製造する。 （もっと読む）

【課題】 通過帯域内の微小リップルを抑制し、挿入損失が向上する弾性表面波装置を提供すること。
【解決手段】 弾性表面波素子１４は、中央のＩＤＴ電極３の両端の信号用電極指と、ＩＤＴ電極２，４のＩＤＴ電極３側の端の信号用電極指との間の接地用電極指がｎ本であり、ＩＤＴ電極間で隣接する電極指の極性がＩＤＴ電極３を中心に対称である。弾性表面波素子１５は、中央のＩＤＴ電極６の一端の信号用電極指と、ＩＤＴ電極５の一端側の端の信号用電極指との間の接地用電極指の本数がｎ−１本で、ＩＤＴ電極６の他端の信号用電極指と、ＩＤＴ電極７の他端側の端の信号用電極指との間の接地用電極指の本数がｎ＋１本であり、ＩＤＴ電極間で隣接する電極指の極性がＩＤＴ電極間の電極指間ギャップの中心Ｃ，Ｄに対称である。ＩＤＴ電極の電極指ピッチがＩＤＴ電極６の中心の電極指間ギャップの中心Ｅに対称である。 （もっと読む）

【課題】周波数温度特性が良好であり、電気機械結合係数が大きく、かつ伝搬損失が小さい表面波装置を提供する。
【解決手段】２０°〜４８°回転Ｙ板Ｘ伝搬ＬｉＴａＯ_３からなる圧電基板２と、圧電基板２上に形成されており、タングステンからなり、かつ膜厚をＨ、表面波の波長をλとしたときに、規格化膜厚Ｈ／λが０．００２５〜０．０６の範囲にあるＩＤＴ３と、ＩＤＴ３を覆うように圧電基板２上に形成されており、かつ規格化膜厚Ｈｓ／λが０．１０〜０．４０の範囲にあるＳｉＯ_２膜とを備える表面波装置１。 （もっと読む）

【課題】製造工程の簡略化および製造工程における弾性波素子の破壊または劣化を抑制すること。
【解決手段】本発明は、ウエハを個片化するための切断領域（４２）に連続して形成された第１導電パターン（１８）と、メッキ電極を形成すべき電極領域（４４）に設けられ弾性波素子と接続された第２導電パターン（１４ａ）と、第１導電パターンと第２導電パターンとを接続する第３導電パターン（１４ｂ）と、を含む導電パターン（１４、１８）を、弾性波素子が形成された圧電基板からなるウエハ上に形成する工程と、第２導電パターン上に開口部を有するようにウエハ上に絶縁層を形成する工程と、第１導電パターンおよび第２導電パターンを介し電流を供給し第３導電パターン上に前記メッキ電極（２８）を形成する工程と、切断領域において、ウエハを切断し個片化する工程と、を具備することを特徴とする弾性波デバイスの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】周波数温度特性が良好であり、電気機械結合係数が大きく、かつ伝搬損失が小さい表面波装置を提供する。
【解決手段】オイラー角（０±２°，１０４〜１４１°，０±２°）のＬｉＴａＯ₃からなる圧電基板２と、圧電基板２上に形成されており、密度８７００〜１０３００ｋｇ／ｍ³、ヤング率１．８×１０¹¹〜４×１０¹¹Ｎ／ｍ²あるいは横波音速が３１７０〜３２９０ｍ／秒である、ＮｉやＭｏなどで代表される金属もしくは該金属を主体とする合金または前記金属もしくは合金からなり、かつ膜厚をＨ、表面波の波長をλとしたときに、規格化膜厚Ｈ／λが０．００８〜０．０６の範囲にあるＩＤＴ３と、ＩＤＴ３を覆うように圧電基板２上に形成されており、かつ規格化膜厚Ｈｓ／λが０．１０〜０．４０の範囲にあるＳｉＯ₂膜とを備える表面波装置１。 （もっと読む）

【課題】本発明は、面実装時の周波数変動を抑制できる弾性表面波デバイスを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の弾性表面波デバイスは、圧電基板１１と、この圧電基板１１上に設けられた櫛型電極１２およびパッド電極１３と、圧電基板１１上において櫛型電極１２の励振領域を囲むように設けられた樹脂壁１４と、樹脂壁１４の開口部を覆い励振領域を密封する天板１５と、天板１５上に設けられパッド電極１３と接続される外部電極１６と、天板１５および樹脂壁１４中に設けられパッド電極１３と外部電極１６を接続するビア電極１７とを備え、ビア電極１７を圧電基板１１側に位置する第１のビア電極１７ａと天板１５側に位置する第２のビア電極１７ｂとに分割し、第１のビア電極１７ａの中心位置と第２のビア電極１７ｂの中心位置を異ならせた。 （もっと読む）

【課題】本発明は、信頼性および生産性を向上させることができる弾性表面波装置を得ることを目的とする。
【解決手段】本発明は、実装基板にハンダを用いて表面実装される弾性表面波装置の製造方法において、ＬｉＴａＯ₃からなる圧電基板１上に弾性表面波素子を構成する櫛型電極２を形成する工程と、圧電基板１上に櫛型電極２が形成された励振領域を囲むように熱硬化性樹脂からなる側壁３を形成する工程と、表面実装時のハンダ付け温度よりも高い温度で加熱処理を行う工程と、側壁３の開口部を覆い励振領域を密閉するように蓋体４を形成する工程とを備え、圧電基板１は酸素欠陥を有している構成とした。 （もっと読む）

【課題】周波数温度特性が良好であり、電気機械結合係数が大きく、かつ伝搬損失が小さい表面波装置を提供する。
【解決手段】１７°〜５８°回転Ｙ板Ｘ伝搬ＬｉＴａＯ₃からなる圧電基板２と、圧電基板２上に形成されており、タンタルからなり、かつ膜厚をＨ、表面波の波長をλとしたときに、規格化膜厚Ｈ／λが０．００４〜０．０５５の範囲にあるＩＤＴ３と、ＩＤＴ３を覆うように圧電基板２上に形成されており、かつ規格化膜厚Ｈｓ／λが０．１０〜０．４０の範囲にあるＳｉＯ₂膜とを備える表面波装置１。 （もっと読む）

【課題】本発明は、面実装時の周波数変動を抑制できる弾性表面波デバイスを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の弾性表面波デバイスは、圧電基板１１と、この圧電基板１１上に設けられた櫛型電極１２およびパッド電極１３と、圧電基板１１上において櫛型電極１２の励振領域を囲むように設けられた樹脂壁１４と、樹脂壁１４の開口部を覆い励振領域を密封する天板１５と、天板１５上に設けられパッド電極１３と接続される外部電極１６と、天板１５および樹脂壁１４中に設けられパッド電極１３と外部電極１６を接続するビア電極１７とを備え、ビア電極１７を圧電基板１１側に位置する第１のビア電極１７ａと天板１５側に位置する第２のビア電極１７ｂに分割し、第１のビア電極１７ａの径を第２のビア電極１７ｂの径より小さくした。 （もっと読む）