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Fターム[5J097GG07]の内容

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【課題】IDTによってSHタイプの表面波を利用して駆動する圧電共振子において、P/V値を大きく維持したまま小型・低背化が達成され、スプリアスの少ない圧電共振子を提供する。
【解決手段】ペロブスカイト構造のPbTiO又はNaNbOを主成分とする圧電基板1aの主面の一部に櫛歯電極からなるインターデジタルトランスデユーサ(IDT)3を形成し、SHタイプの表面波を利用して駆動することを特徴とし、特に前記PbTiOのPbの一部を、La、Nd、Gd、Sr、Ca及びBaのうち少なくとも1種で置換するとともに、Tiの少なくとも一部を、Mnにより置換したABO型ペロブスカイト型複合酸化物であって、Bサイト構成元素1モルに対するPbのモル数をa、Aサイト構成元素のうちPb以外の元素の総モル数をbとしたとき、a/(1−b)で表される値(p)が0.90〜1.00からなることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】水晶基板上にZnO薄膜を形成することで表面に導波される縦波型漏洩弾性表面波を利用したSAWデバイスにおいて更なる高周波化を図ると共に良好な特性を実現する。
【解決手段】オイラー角表示で(0,θ,0)の水晶基板1上にIDT2を形成し、該IDT2を覆うようにZnO薄膜3を形成し、縦波型漏洩SAWを基板表面に励振させ、水晶基板1のカット角θを120°≦θ≦140°の範囲に設定し、且つ、縦波型漏洩SAWの波長λで規格化したZnO薄膜3の膜厚HをH≦0.08λの範囲に設定することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 SH型弾性表面波デバイスの挿入損失に関し、最適化電極膜厚を得る。
【解決手段】 オイラー角(0°,110°〜150°,90°±2°)の水晶基板上にアルミニウムを主成分とする合金のIDT電極及びグレーティング反射器を複数個備えたSH型弾性表面波デバイスであって、前記IDT電極及びグレーティング反射器の実効膜厚H=H・2L/(L+S)(Hは規格化膜厚、Lはライン幅、Sはスペース幅)が3%λから4.5%λ(λは波長)の範囲にあるように設定する。 (もっと読む)


【課題】 擬似縦波型漏洩弾性表面波を利用した弾性表面波装置において、スプリアスを効果的に抑制することによりCI値やQ値を改善し、高周波化を容易にする弾性表面波装置を得る。
【解決手段】 圧電基板としてタンタル酸リチウム基板を用いた場合、基板の厚みtをIDT波長λで規格化した規格化基板厚みt/λを1≦t/λ≦22とし、基板の切り出し角および前記擬似縦波型漏洩弾性表面波の伝搬方向をオイラー表示で(90°、90°、0°〜180°)の範囲内とする。 (もっと読む)


【課題】 擬似縦型漏洩弾性表面波を利用した弾性表面波装置において、周波数調整を高精度に行える弾性表面波装置の周波数調整方法を提供する。
【解決手段】 IDT電極2を形成した、タンタル酸リチウム基板またはニオブ酸リチウム基板もしくは四ホウ酸リチウム基板からなる圧電基板1の、IDT電極2を形成した面と厚み方向に対向する面(基板裏面)1bをエッチングすることにより、弾性表面波装置10bの周波数調整を行うものである。 (もっと読む)


弾性波を伝搬させることが可能な基板を有して成るタッチセンサー。かかる基板は、タッチ検知領域を有する第1面を含んでいる。ある態様では、基板は、第1エッジにて第1面と交差している第1側壁を含んでいる。基板の第1側壁にはトランスミッターが設けられている。トランスミッターは、タッチ検知領域の少なくとも一部を通るように第1側壁から直接的に伝搬する弾性波を発生させる。別の態様では、トランスデューサーが基板上に形成されている。トランスデューサーは、基板に形成された後で熱硬化に付された圧電素子を有して成る。トランスデューサーは、弾性波の発生または検出の少なくも一方を行うように構成されている。別法にて、トランスデューサーが、圧電素子を有して成るストリップを含んでいてもよい。
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表面弾性波センサは、a)その表面上に交叉指状電極を有する圧電結晶(ニオブ酸リチウム又はタンタル酸リチウムのようなもの)と交叉指状電極の上の第2の圧電層(酸化亜鉛のようなもの)とから成る第1の層状SAWデバイスと、b)その表面上に交叉指状電極を有する圧電結晶と、交叉指状電極の上の第2の圧電層と、第2の圧電層の上の検体感応表面(金のようなもの)とから成る第2の層状SAWデバイスとを備える。c)SAWデバイスの両方は、同じ基板上に製作される。表面弾性波センサは、d)SAWデバイスの帯域幅を低減するため各SAWデバイスの交叉指状電極に隣接して配置された反射器を更に備え、e)各SAWデバイスの共振器回路は、従属性の増幅器を組み込んでいる。
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電気機械結合係数が大きく、伝搬損失及びパワーフロー角が小さく、周波数温度係数TCFが適度な範囲にあり、簡略な構造により簡単な工法で製造され得るストンリー波を利用した弾性境界波装置を提供する。
圧電体2の一面に誘電体3が積層されており、圧電体2と誘電体3との間の境界に電極としてIDT4及び反射器5,6が配置されており、誘電体3を伝搬する遅い横波の音速及び圧電体2を伝搬する遅い横波の音速よりもストンリー波の音速を低くするように、上記電極の厚みが決定されている、弾性境界波装置1。 (もっと読む)


所望でないスプリアスを効果的に抑圧することができ、良好な共振特性やフィルタ特性を得ることを可能とするSHタイプの弾性境界波を利用した弾性境界波装置を提供する。 第1の媒質層2と、第1の媒質層2に積層された第2の媒質層6との境界に、インターデジタル電極3、反射器4,5を含む電極が形成されており、第1の媒質層2及び/または第2の媒質層6の境界面とは反対側の面に吸音層7が設けられている、弾性境界波装置1。 (もっと読む)


表面弾性波センサを通過する伝播速度を推定する技術について記述する。特に、表面弾性波センサの位相周波数応答の適当なセグメントを測定して利用する技術について、センサによる細菌検出の基礎として利用すべく記述する。上述のように、位相周波数応答の適当なセグメントに基づく速度評価を利用することは、検出の根拠として位相シフトを用いる従来の技術より優れている。
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フィルタ帯域の急峻化や、比帯域幅の異なる複数帯域のフィルタ、共振子を単一基板上に得ることで、小型で高性能な弾性境界波を用いた弾性境界波装置を提供する。
単結晶基板4上に固体層5が積層されており、単結晶基板4と固体層5との境界に電極が配置されている弾性境界波装置であって、カット角が同じ単結晶基板4を用いて構成された複数の弾性境界波素子2,3が備えられており、弾性境界波素子2の伝搬方位は、弾性境界波素子3の伝搬方位と異なっている、弾性境界波装置1。
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良好な共振特性やフィルタ特性を得ることができ、かつ挿入損失を低減することができる弾性境界波装置を提供する。 第1の媒質層としてのLiNbO基板2と、第2の媒質層としてのSiO膜3との境界に、インターデジタル電極4及び/または反射器5,6が配置されている弾性境界波装置において、インターデジタル電極4及び/または反射器5,6のデューティ比をdとしたときに、0.54<d<0.89とされている、弾性境界波装置。
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良好な共振特性やフィルタ特性を得ることができ、かつ周波数の製造偏差を低減し得る弾性境界波装置を提供する。 第1の媒質層としてのLiNbO基板2と、第2の媒質層としてのSiO膜3との境界に、インターデジタル電極4及び/または反射器5,6が配置されている弾性境界波装置において、インターデジタル電極4及び/または反射器5,6のデューティ比をdとしたときに、0.33<d<0.49とされている、弾性境界波装置。
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