本発明は、音響波デバイスの分野に係わり、特に数百ＭＨｚから数ＧＨｚの高い周波数での作業が可能なトランスデューサの分野、とりわけ、少なくとも２基板と強誘電体層２とを含む界面音響波デバイス１に関するものである。強誘電体層は、第１電極３と第２電極４との間に配置され、かつ第１正偏向分域７と第２負偏向分域８とを含み、該第１と第２の分域は交互に配置されている。該音響波デバイスは、第１電極３と、強誘電体層２と、第２電極４とから成る集成体が、第１基板５と第２基板６との間に設けられていることを特徴とする。
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【課題】浮いた部分を有する電子部品中の圧電体膜を効率よく形成することができる電子部品の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電体２０の平坦な表面２０ａからイオンを注入して、圧電体２０内において表面２０ａから所定の深さの領域にイオン注入層２２を形成する。圧電体２０の表面２０ａの一部の上に犠牲層３０を形成した後、圧電体２０の表面２０ａ及び犠牲層３０に絶縁体３４を形成して圧電構造体１０ｓを形成する。圧電体２０を加熱して圧電体２０をイオン注入層２２で分離して、圧電体２０から分離された圧電体膜２４と絶縁体３４とが接合された圧電体膜構造体１０ｔを形成する。圧電体膜構造体１０ｔの圧電体膜２４のイオン注入層２２に沿って形成された分割面２４ａのうち少なくとも犠牲層３０に対向する部分に電極を含む素子パターン１６を形成した後、圧電体膜構造体１０ｔから犠牲層３０を除去する。 （もっと読む）

【課題】第１の電極と、第２の電極の上面の一部に積層されて第１の電極に電気的に接続される第２の電極とを有し、第１，第２の電極形成工程の間に、アルカリ現像液を用いたパターニングが行われる弾性波装置及びその製造方法において、第１，第２の電極間の接触抵抗を小さくする。
【解決手段】圧電基板１上にＩＤＴ電極２に電気的に接続される第１の電極２１が形成されており、第１の電極２１の少なくとも上面がアルカリに可溶な金属とアルカリに不溶な金属とからなる合金であって、アルカリに可溶な金属に対するアルカリに不溶な金属の含有率が５重量％以上、２０重量％以下である合金により形成されており、第１の電極２１の形成後に、アルカリ現像液によるパターニングが行われ、しかる後、第１の電極２１の上面の一部に積層されることにより第１の電極２１に電気的に接続される第２の電極２６Ａが形成される、弾性波装置及びその製造方法。 （もっと読む）

【課題】端子に静電気を帯びた部分が接触したとしても、ＩＤＴ電極の破壊が生じ難い、弾性境界波装置を提供する。
【解決手段】圧電基板２と、第１の媒質層３と、第２の媒質層４とが積層されており、圧電基板２と第１の媒質層３との境界に電極構造５が形成されている三媒質構造の弾性境界波装置であって、第２の媒質層４上にＩＤＴ電極に電気的に接続されている複数の端子６〜１１が形成されており、複数の端子６〜１１が、第２の媒質層４に電気的に接続されており、第２の媒質層４が静電気を流し得る抵抗性材料からなる、弾性境界波装置１。 （もっと読む）

【課題】デュープレクサやモジュール用途の弾性境界波デバイスの製造工程数を削減することで、コストダウンを図る。
【解決手段】フィルタを形成したウェハを個片化し、位相整合回路を有する回路基板に実装し、クラッド層１４を形成するので、クラッド層１４のパターニング工程を削減することができる。すなわち、従来の弾性境界波デバイスの製造方法では、クラッド層を形成する際、電極をクラッド層で覆わないようにパターニングする必要があったが、本実施の形態ではこのようなクラッド層のパターニングが必要でないため、製造時の工程を削減することができ、製造コストを削減することができる。よって、より低コストで弾性境界波デバイスを製造することができる。 （もっと読む）

【課題】相互変調歪み（ＩＭＤ）の発生を抑制できる分波器を提供する。
【解決手段】分波器１００は、共振素子が梯子型に接続された送信フィルタ１００ａと、共振素子及び縦結合型弾性波フィルタ素子を含む受信フィルタ１００ｂとを備える。送信フィルタの共振素子うち送信フィルタ１００ａと受信フィルタ１００ｂとが接続される共通端１００ｘに最も近い共振素子と、受信フィルタ１００ｂの共振素子及び縦結合型弾性波フィルタ素子のうち共通端１００ｘに最も近い共振素子との少なくとも一方が、直列接続された複数の共振器１０１ａ，１０１ｂ；１０９ａ，１０９ｂ；１１１ａ，１１１ｂを含む共振器群で構成される。 （もっと読む）

【課題】境界弾性波装置は、小型で温度安定性に優れている。しかし、Ｑ値を高く出来ない、また高コストな薄膜技術を必要とする。本発明の目的は、Ｑ値が優れ、低コストな境界弾性波装置を提供することにある。
【解決手段】θＹＸ−ＬＮ単結晶圧電基板の表面に、アルミニウムを主成分とする膜厚ｈｍ、電極指周期λの櫛形電極と短絡型反射器（厚さｈｒ）をパターニングし、その櫛形電極と反射器上に、膜厚がｈ1の酸化珪素膜と膜厚がｈ2の窒化アルミニウム膜６を形成した境界弾性波装置において、
２．５≦ｈｒ／λ≦８．５％、
とする。 （もっと読む）

【課題】相互変調歪み（ＩＭＤ）の発生を抑制できる分波器を提供する。
【解決手段】分波器１００は、直列共振器１０１，１０３，１０５，１０７と並列共振器１０２，１０４，１０６とが梯子型に接続された送信フィルタ１００ａと、受信フィルタ１００ｂとを備える。送信フィルタ１００ａの共振器１０１〜１０７のうち、送信フィルタ１００ａと受信フィルタ１００ｂとが接続される共通端１００ｘに最も近い共振器１０１が弾性波共振器で構成されている。 （もっと読む）

【課題】フィルタに用いた場合に通過帯域外の減衰量を十分に大きくでき、かつ小型な共振器、それを備えるフィルタ及びデュプレクサを提供する。
【解決手段】共振器Ｓ４は、直列に接続された複数の共振子Ｓ４ａ、Ｓ４ｂを備えている。共振子Ｓ４ａには、インダクタＬ５とキャパシタＣ２とが並列に接続されている。共振子Ｓ４ｂには、インダクタとキャパシタとが並列に接続されていない。 （もっと読む）

【課題】フィルタ帯域の急峻化や、比帯域幅の異なる複数帯域のフィルタ、共振子を単一基板上に得ることで、小型で高性能な弾性境界波を用いた弾性境界波装置を提供する。
【解決手段】単結晶基板４上に固体層５が積層されており、単結晶基板４と固体層５との境界に電極が配置されている弾性境界波装置であって、カット角が同じ単結晶基板４を用いて構成された複数の弾性境界波素子２，３が備えられており、弾性境界波素子２の伝搬方位は、弾性境界波素子３の伝搬方位と異なっている、弾性境界波装置１。 （もっと読む）

【課題】安価な材料で、比較的薄い膜厚で微細な電極が形成できる弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】圧電基板上にすだれ状電極５〜７が形成された弾性表面波装置において、前記すだれ状電極５〜７を形成する電極材料の主成分が銅であり、かつ前記圧電基板が略１５°回転Ｙ軸カット−Ｘ方向伝搬ＬｉＮｂＯ₃基板であり、かつ弾性表面波の伝搬モードがラブ波モードであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】広帯域な弾性波素子の提供。
【解決手段】弾性波素子は、擬似弾性波が伝播するよう構成された表面を有する圧電基板と、圧電基板の表面の一部に設けられた櫛歯電極と、櫛歯電極を覆いかつ圧電基板の表面に設けられた誘電体層とを備える。圧電基板はニオブ酸リチウムからなる。誘電体層は五酸化タンタルからなる。圧電基板における回転Ｙ板のカット角が２．５度以上２２．５度以下である。誘電体層の膜厚Ｈの、圧電基板を伝播する擬似弾性波の中心周波数の波長λに対する比Ｈ／λが０．０３４〜０．１２６である。この弾性波素子は広帯域である。 （もっと読む）

【課題】本発明は弾性波基板における不要応答発生を抑制することを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は圧電基板１上面に設けられた第１の誘電体層２と、第１の誘電体層２上面に設けられた第２の誘電体層４の膜厚を適切に与えることにより主要波として用いるＳＨ波のエネルギーを圧電基板１と第１の誘電体層２の境界に閉じ込めつつ、不要波として検出されるストンリー波と同様の変位分布を有するＳＶ波の変位を第２の誘電体層４の上面に分布させることにより、第２の誘電体層４の上面に設けられた吸音層５を用いて不要波を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】弾性波素子が境界波素子である場合に、バルク放射による損失を抑制する。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明の弾性波素子６は、圧電基板７と、この圧電基板７の上に設けられた櫛歯電極８と、圧電基板７の上にこの櫛歯電極８を覆うように設けられた第１誘電体層９と、この第１誘電体層９の上に設けられた第２誘電体層１０を備え、この第２誘電体層１０を伝搬するバルク波のうち横波の速度Ｖｓは櫛歯電極８において励振される弾性波の速度Ｖより速く、かつ、櫛歯電極８において励振される弾性波の速度Ｖは、圧電基板７を伝搬するバルク波のうち最も遅い横波の速度Ｖｂより遅く、かつ、圧電基板７における回転Ｙ板のカット角が１５度以上２５度以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】通過帯域が異なる第１，第２の弾性波フィルタが並列接続されている弾性波フィルタ装置において、通過帯域が低い側の弾性波フィルタの通過帯域内における挿入損失の劣化が生じ難い弾性波フィルタ装置を得る。
【解決手段】中心周波数が相対的に高い第１の弾性波フィルタ１１と、中心周波数が相対的に低い第２の弾性波フィルタ１２の入力端及び出力端の内少なくとも一方同士が共通接続されており、第１の弾性波フィルタ１１が、５個のＩＤＴ電極２１ａ〜２１ｃを備えた５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性波フィルタである、弾性波フィルタ装置１。 （もっと読む）

【課題】ラム波の伝搬方向に垂直方向の振動漏れを抑圧するラム波型共振子を提供する。
【解決手段】ラム波型共振子１は、複数の電極指片それぞれを接続するバスバー電極の幅をＷｂ、前記電極指片と前記バスバー電極との間の距離をＷｇと表したとき、Ｗｇをｘ軸、幅Ｗｂをｙ軸とする直交座標において、ＷｇとＷｂとが共に、円の方程式（ｘ−１０）²＋（ｙ＋１２．７）²＝１９²で表される円弧とＷｇ≧１λ、Ｗｂ≧１λで囲まれる範囲と、座標（Ｗｇ，Ｗｂ）で表した場合に、Ｊ２１、Ｊ２２、Ｊ２３、Ｊ２４、Ｊ２５、Ｊ２６、Ｊ２７、Ｊ２８、Ｊ２９、Ｊ３０、Ｊ３１、Ｊ３２、Ｊ３３、Ｊ３４、Ｊ３５、Ｊ３６、Ｊ３７、Ｊ３８、Ｊ２１で表される各座標を記載順序に直線で結び、前記直線で囲まれる範囲と、のいずれかにある。このことにより、水晶基板１０の横方向外端部で発生する変位を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】共振周波数付近でのロスを低減することができる弾性波素子を実現する。
【解決手段】圧電基板と、圧電基板上に形成された第１の櫛形電極１及び第２の櫛形電極２とを備え、櫛形電極１及び２は互いに交差幅が異なる部分を有する弾性波素子であって、櫛形電極１及び２は、隣接電極が交差していないダミー領域１４と、隣接電極が交差するＩＤＴ領域１３とを備え、ダミー領域１４は、ＩＤＴ領域１３よりも音速が遅くなるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】所望でないスプリアスを効果的に抑圧することができ、良好な共振特性やフィルタ特性を得ることを可能とするＳＨタイプの弾性境界波を利用した弾性境界波装置を提供する。
【解決手段】第１の媒質層２と、第１の媒質層２に積層された第２の媒質層６との境界に、インターデジタル電極３、反射器４，５を含む電極が形成されており、第１の媒質層２及び／または第２の媒質層６の境界面とは反対側の面において変位を有し、弾性境界波装置の反共振周波数よりも高域側もしくは通過帯域よりも高域側に現れる、スプリアスとなるモードを減衰させる吸音層７が設けられている、弾性境界波装置１。 （もっと読む）

【課題】本発明は、弾性境界波デバイスを小型化することを目的とする。
【解決手段】本発明は、圧電基板４と、圧電基板４上に設けられた第１の絶縁層７と、第１の絶縁層７上に設けられた第２の絶縁層８と、圧電基板４と第１の絶縁層７の境界面に設けられた複数の櫛形電極５、６を備えた弾性境界波デバイスにおいて、第１の絶縁層７と第２の絶縁層８との間に複数の櫛形電極５、６の内で所定の櫛形電極６と対峙する部分に対向電極１１を設けたのである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、弾性境界波デバイスにおける電気特性を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、圧電基板１と、この圧電基板１の主面に設けられた櫛形電極３と、圧電基板１の主面上において櫛形電極３を覆うとともに、横波の伝播速度が圧電基板１より遅い第１の絶縁層２とを備えた弾性境界波デバイスにおいて、櫛形電極３と圧電基板１の間に横波の伝播速度が第１の絶縁層２の横波の伝播速度より遅い材料からなる第２の絶縁層５を設けたのである。 （もっと読む）