【課題】 水晶基板を用いた表面波デバイスであり、小型で、Q値が大きく、周波数エージング特性の優れたＳＨ波型ＳＡＷデバイスを得る。
【解決手段】 圧電基板と、該圧電基板上に形成されＡｌを主成分とする合金からなるＩＤＴ電極とを備え、励振波をＳＨ波とした弾性表面波デバイスであって、前記圧電基板は、回転Ｙカット水晶基板のカット角θを−６４．０°＜θ＜−４９．３°の範囲に設定し、且つ、弾性表面波の伝搬方向を結晶Ｘ軸に対し９０°±５°とした水晶平板であり、励振する弾性表面波の波長をλとした時、前記ＩＤＴ電極の波長で基準化した電極膜厚Ｈ／λを０．０４＜Ｈ／λ＜０．１２としたＳＨ波型弾性表面波デバイスにおいて、前記ＩＤＴ電極を陽極酸化してＳＨ波型弾性表面波デバイスを構成する。 （もっと読む）

【課題】 小型化可能で高いＱ値及び優れた周波数温度特性を発揮し、特に液相系に適した高感度なＳＡＷセンサを提供する。
【解決手段】 ＳＡＷセンサ１は、回転Ｙカット水晶板であり、そのカット面及びＳＡＷの伝搬方向をオイラー角表示で（０°，−６４〜−４９．３°＋９０°，９０±５°）＝（０°，２６〜４０．７°，９０±５°）とした水晶平板からなる圧電基板１を用いる。圧電基板の表面には、ＩＤＴ２，３が、Ａｌ又はＡｌを主成分とする合金からなる電極膜で形成され、該電極膜の膜厚ＨをＳＡＷの波長をλとして、０．０４＜Ｈ／λ＜０．１２に設定する。ＳＡＷの伝搬面には、目的の物質を認識するための受容体５が設けられる。ＩＤＴの両側には、更に１対の反射器１５，１５を設けることができる。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波共振子あるいはフィルタなどの弾性表面波デバイスにおいて、損失を最小化し、急峻性を向上させることを目的とするものである。
【解決手段】漏洩表面弾性波を励起することが可能なカット角で切り出された圧電基板１上に櫛型電極や反射器を設け、従来ＬＳＡＷとして利用されていたＳＡＷの音速を低減させ、前記圧電基板を伝播する遅い横波の速度よりも遅くしたＳＡＷを利用することにより、従来ＬＳＡＷとして利用されていたＳＡＷを伝播損失の発生しないＲＳＡＷとして利用し、従来のＬＳＡＷを利用したＳＡＷフィルタやＳＡＷ共振子と比較し、挿入損失が少なく、かつ急峻特性が向上したＳＡＷフィルタやＳＡＷ共振子を得る。 （もっと読む）

【課題】 周波数温度特性を改善する。
【解決手段】 弾性境界波素子１０は、相互に接合された第１圧電基板１２および第２圧電基板１４と、第１圧電基板１２と第２圧電基板１４との境界部に弾性波を励振するすだれ状電極からなるＩＤＴ１６とを有している。ＩＤＴ１６の弾性境界波の伝播方向両側には、反射器２４（２４ａ、２４ｂ）が設けてある。第１圧電基板１２と第２圧電基板１４とは、オイラー角を（φ，θ，ψ）としたときに、カット角が（φ，θ，ψ）または（φ，θ＋１８０°，ψ）の水晶板からなっている。 （もっと読む）

【課題】 電気機械結合係数の大きな弾性境界波素子が得られるようにする。
【解決手段】 弾性境界波素子１０は、ニオブ酸カリウムからなる第１圧電基板１２と、ニオブ酸カリウムからなる第２圧電基板１４とを備えている。ニオブ酸カリウムは、カット角がオイラー角表示で（０°±３０°，０°〜±１８０°，０°±２０°）となっている。第１圧電基板１２と第２圧電基板１４とは、相互に接合してある。第１圧電基板１２の接合面中央部には、ＩＤＴ１６を有する。ＩＤＴ１６は、一対の櫛型電極１８（１８ａ、１８ｂ）からなり、櫛型電極１８の電極指２０（２０ａ、２０ｂ）によってすだれ状に形成してある。ＩＤＴ１６の両側には、反射器２４（２４ａ、２４ｂ）が設けてある。 （もっと読む）

【課題】 従来のＦＳＫ変調器は、伸張コイルと切り換え電圧発生回路と可変容量ダイオード等の素子を使用することが必要でコストアップであった。
【解決手段】 ２つの振動状態を有するＳＡＷ共振子と、増幅器からなるＦＳＫ変調器において、前記２個の振動状態を有するＳＡＷ共振子は、1個のＩＤＴとその両側に1対の反射器を配置した第１と第２の１ポート型のＳＡＷ共振子を２個並列にして配置して、２つの振動状態が取ることが可能であり、かつ第１のＳＡＷ共振子を駆動用手段に、第２のＳＡＷ共振子を制御用手段とし、前記第２のＳＡＷ共振子の出力端子に直列にＳＷおよび電流制限素子を接続した上に接地し、前記の第１のＳＡＷ共振子の出力端子を前記増幅器の入力端子に接続し、前記増幅器の出力は各々移相器を通した上で、前記第１および第２のＳＡＷ共振子の入力端子に接続したＦＳＫ変調器。 （もっと読む）

【課題】 安価な水晶基板を用い、しかもＳＨ型弾性境界波を利用することが可能であり、電気機械結合係数Ｋ²等の物性や特性を高めること等が可能な弾性境界波装置を提供する。
【解決手段】 水晶基板２上に、少なくともＩＤＴ４が形成されており、ＩＤＴ４を覆うように、誘電体３が形成されており、水晶基板２と誘電体３との界面を弾性境界波が伝搬する弾性境界波装置であって、ＩＤＴ４の厚みは、ＳＨ型境界波の音速は、水晶基板２を伝搬する遅い横波及び誘電体３を伝搬する遅い横波の各音速よりも低音速となるように設定されており、かつ水晶基板２のオイラー角が、図１３に示されている斜線を付した領域内とされている、弾性境界波装置１。 （もっと読む）

【課題】 バンプ接合により高密度実装が可能であり、かつ水分の侵入等による特性の変動が生じ難い、信頼性に優れた弾性境界波装置を得る。
【解決手段】 圧電基板１Ａ上にＩＤＴ９が形成されており、ＩＤＴ９を覆うように絶縁膜７が積層されており、絶縁膜７上に吸音膜８が積層されており、アンダーバンプメタルを電解メッキにより形成するためのＵＢＭ下地層１３が、絶縁膜７の開口部に至っており、絶縁膜７の開口部においてＩＤＴ９とＵＢＭ下地層１３と電気的に接続している配線１２に接続されており、吸音膜８にＵＢＭ下地層１３の一部を露出している吸音膜開口部８ａが形成されており、ＵＢＭ下地層１３が、絶縁膜７と吸音膜８との境界において給電ライン１４に接続されており、該給電ラインから電流を通電することによりＵＢＭ下地層１３上にＵＢＭが電解メッキにより形成されている、弾性境界波装置６。 （もっと読む）

【課題】
小型であり、かつ通過帯域外スプリアスが効果的に抑圧されているフィルタ特性の良好な端面反射型の縦結合型ＳＡＷフィルタを得る。
【解決手段】
圧電基板２上に、ＩＤＴ３，４を形成してなり、対向２端面２ａ，２ｂ間でＳＨタイプの表面波を反射させている端面反射型の縦結合型ＳＡＷフィルタ１において、対向２端面２ａ，２ｂ間の距離に起因するスプリアスの現れる位置を、第１，第２のＩＤＴ３，４の周波数特性の減衰極に近接させることにより、対向２端面間の距離に起因するスプリアスを抑圧してなるＳＡＷフィルタ１。 （もっと読む）

【課題】 従来構造よりデバイスサイズが小型で、Ｑ値が高く、周波数温度特性に優れたＳＡＷデバイスで、且つ、横高次モードスプリアスレベルを抑制することができるＳＡＷデバイスを提供する。
【解決手段】 回転Ｙカット水晶基板のカット角θを結晶Ｚ軸より反時計方向に−６４．０°＜θ＜−４９．３°の範囲に設定した水晶基板１と、該水晶基板１上に形成されたＡｌ又はＡｌを主成分とする合金からなるＩＤＴ２とを備え、弾性表面波の伝搬方向を結晶Ｘ軸に対して直交方向、励振される弾性表面波を水晶基板１の表面付近を伝搬するＳＨ波とし、弾性表面波の波長λで基準化した電極膜厚Ｈ／λを０．０４＜Ｈ／λ＜０．１２に設定した弾性表面波デバイスにおいてＩＤＴ２にダミー電極１１を設けるようにした。 （もっと読む）

【課題】水晶基板を用いたＳＡＷデバイスにおいて、共振点より低域側に生じるスプリアスを抑圧することを目的とする。
【解決手段】圧電基板１上に、ＩＤＴ２とその両側にグレーティング反射器３ａ、３ｂを配置する。前記圧電基板１は、回転Ｙカット水晶基板のカット角θを結晶Ｚ軸より反時計方向に−６４．０°＜θ＜−４９．３°の範囲に設定し、且つ、弾性表面波の伝搬方向を結晶Ｘ軸に対し９０°±５°にした水晶平板であり、波長で基準化した電極膜厚Ｈ／λを０．０４＜Ｈ／λ＜０．１２に設定している。そして、ＩＤＴ２のＳＡＷの伝搬方向の全長をＬとしたとき、ＩＤＴの左端を基準位置として、基準位置から０．２５Ｌまでの範囲、又は０．７５ＬからＬまでの範囲のどちらか一方、又は両方の範囲に配置された電極指に重み付けを施す。 （もっと読む）

【課題】 ＳＨ波型表面波を用いた縦続接続型縦結合二重モードＳＡＷフィルタのスプリアスを改善する手段を得る。
【解決手段】 カット角θをＺ軸より反時計方向に−６４.０°＜θ＜−４９.３°とした回転Ｙカット水晶基板のＺ軸方向に沿って、第１及び第２の２つのＩＤＴ電極を近接配置すると共に、その両側にグレーティング反射器を配設し、該電極の膜厚Ｈを前記ＩＤＴ電極の電極ピッチλで基準化して０.０４＜Ｈ／λ＜０.１２とした縦結合二重モードＳＡＷフィルタを２段縦続接続した縦続接続型縦結合二重モードＳＡＷフィルタにおいて、第一段のＩＤＴ電極の電極周期と、第二段のＩＤＴ電極の電極周期とを互いに異ならせた弾性表面波デバイスを構成する。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波デバイスの高性能・高安定化を目的とした漏洩弾性表面波フィルタや漏洩弾性表面波振動子の構造に関するもので、三次の温度特性を有し、Loss変動も極めて少ない高安定な弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】膜厚ゼロでカット角1６．２°で切断した回転Yカット水晶板４００に、空隙４０４を設けて、漏洩弾性表面波を励起する周期２LpのIDT電極４０２を設ける。４０３は伝播してきた漏洩弾性表面波を受けるIDT電極である。IDT電極は誘電体と空隙空間を挟んで水晶板表面の上部の空隙空間に形成されるため、水晶板上の漏洩弾性表面波の励振効率に寄与する空隙空間の電界は誘電体中の電界が弱まった分、εS倍水晶板上の空隙空間の電界が強くなるという特長がある。
【効果】IDT電極と水晶板表面の間の空隙に誘電体を挿入することで電界強度を高め質量負荷を弾性表面波に与えることがないので前述の問題点を克服できる。 （もっと読む）

本発明は電気音響構成素子に関する。ここでこの電気音響構成素子は、２つの基板の間に配置された層システムを含む。この層システムは、ガイド音響体積波を励振させる電気音響構造体を有する。ここでこの電気音響構造体上には中空空間は設けられていない。この層システムは圧電層と少なくとも１つの金属層と平坦化層を含む。この平坦化層は、自身のすぐ上に配置された基板に向かって平坦な境界面を有している。この種の構成素子はコスト的に有利に、２つのウェハをダイレクトウェハボンディングすることによって製造される。電気音響構成素子構造体は電気的に、垂直な電気的接続部によって、構成素子の外部コンタクトと接続されている。
（もっと読む）

【課題】重み付けが施されたＩＤＴを有し、電極指先端のギャップ部分による弾性境界波の回折現象に起因する特性の劣化が生じ難い、弾性境界波装置を提供する。
【解決手段】第１の媒質１１と、第２の媒質１２とが積層されており、第１，第２の媒質１１，１２間に、ＩＤＴ１３が配置されており、ＩＤＴ１３に重み付けが施されており、かつ該ＩＤＴ１３が互いに間挿し合う複数本の電極指１３ａ，１３ｂを有し、電極指１３ａまたは１３ｂの先端と、当該電極指と異なる電位に接続されるダミー電極指とがギャップＢを隔てて対向配置されており、ギャップＢの電極指長さ方向に沿う寸法ＧＤが、電極指の周期をλとしたときに、０．０５μｍ〜０．２２λの範囲とされており、かつλが０．２３μｍよりも大きくされている、弾性境界波装置１０。 （もっと読む）

【課題】マルチブレードを持ち、生産性の向上と品質維持とを達成できるダイシング装置およびダイシング方法を提供する。
【解決手段】スピンドル１に複数枚のブレード３〜５を軸方向に一定ピッチ間隔で取り付ける。各ブレードはそれぞれ厚みおよび径が異なり、かつ軸方向の一方側から他方側に向かうに従いブレードの厚みが薄くかつ径が大きい。スピンドル１を回転させながら厚みが厚くかつ径が小さいブレード３で被加工物Ｗをハーフカットし、次に被加工物Ｗをスピンドルの軸方向にブレードのピッチＳ分だけ相対移動させ、厚みが薄くかつ径が大きいブレード４，５で既にハーフカットされた被加工物Ｗを更にハーフカットあるいはフルカットする。 （もっと読む）

【課題】液体の力学的性質（粘性率，弾性率，密度など）や電気的性質（導電率，誘電率など）の計測に応用することが可能なボールＳＡＷデバイスを実現する。
【解決手段】球面または円筒面の一部で形成され、円環状に連続している円環状表面を有する基材と、前記円環状表面に沿って伝搬する弾性表面波を励起する弾性表面波励起手段とを備えており、前記円環状表面は、弾性表面波が伝搬可能な曲面からなる伝搬路を有していると共に、前記弾性表面波励起手段は、前記円環状表面に沿って設けられ、高周波電源に接続されるすだれ状電極を含んでいる構成の弾性表面波素子（ボールＳＡＷデバイス）を用いて、少なくとも前記円環状表面の一部を溶液に接触させた状態で、前記弾性表面波励起手段により、固液界面を伝搬可能なモードの弾性表面波を励起して伝搬させ、その周回を検出することにより、弾性表面波の伝搬状態を計測する。 （もっと読む）

電気応答デバイス及び電気応答デバイスを製造する方法であって、電気応答材料（例えば、圧電材料）（１３２）を基板材料（１０４）の表面の少なくとも一部の上に適用するステップと、前記電気応答材料の表面の少なくとも一部の上に電極材料（１４０）を適用するステップとを含む。電極材料（１４０）の少なくとも１つの領域が選択的に除去されて、前記電気応答材料が露出される（２４４）。前記電気応答材料の少なくとも一部が、前記電極材料の前記少なくとも１つの領域に対応する領域において選択的に除去される。
（もっと読む）

【課題】 温度特性の良好な弾性境界波素子、これを用いた共振子およびラダー型フィルタを提供すること。
【解決手段】 本発明は、圧電性を有する第１の媒質（１０）と、第１の媒質上に形成された櫛型電極（１６）と、櫛型電極および第１の媒質上に形成された誘電体膜（１２）と、誘電体膜上に形成された第２の媒質（１４）と、を具備し、誘電体膜は酸化珪素膜を主に含み、その密度が２．０５ｇ／ｃｍ^３以上である弾性境界波素子である。第１の媒質（１０）と温度係数の符号が反対の酸化珪素膜を誘電体膜（１２）として使用することにより、温度特性の良好な弾性境界波素子、これを用いた共振子およびラダー型フィルタを提供することができる。 （もっと読む）

【目的】本発明は、溝（グレーティンググルーブ）を設けた圧電性基板上にすだれ状電極を作製することにより、温度の変化に対する中心周波数の変化の小さい擬似弾性表面波基板、或いは電気機械結合係数の大きな基板を得ることを目的としている。
【構成】圧電性基板１の表面に弾性表面波の伝搬方向に直角な溝（グルーブ）２を作製した構造の圧電性基板上に溝に埋め込まれたすだれ状電極を用いた構造であって、圧電性基板として、回転Ｙ−Ｘ伝搬のＬｉＴａＯ_３、ＬｉＮｂＯ_３、或いは水晶、ランガサイトなどの零ＴＣＦ基板を用いて従来の特性より大きなｋ^２の基板、或いは従来より優れたＴＣＦの基板を得るのが本特許の構成である。 （もっと読む）