【課題】被塗布物への液滴塗布工程を簡易化するとともに、被塗布物上に所望の塗膜を形成することのできる塗膜形成方法、およびこの塗膜形成方法を用いることにより、信頼性の高い圧電素子を簡単に製造することのできる圧電素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】上面、側面２８およびこれらが交差する角部Ａを有する被塗布物に対して、吐出法により液滴をノズルを有するヘッドユニット５００の前記ノズルから吐出し、前記被塗布物に塗膜を形成する塗膜形成方法であって、前記上面の法線方向から前記角部Ａに衝突するように前記液滴を前記ヘッドユニット５００の前記ノズルから吐出し、前記角部Ａでせん断された前記液滴が前記側面２８を流下することにより、前記側面２８に前記塗膜を形成し、前記上面の法線方向から前記上面に、前記液滴を前記ヘッドユニット５００の前記ノズルから吐出し、前記上面に前記塗膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】従来の製造工数を増やす必要がなく、製造工程時の荷重により水晶板及び折取部に折れなどの破損を生じない水晶片集合基板を提供すること。
【解決手段】少なくとも一つの貫通部が設けられた水晶板と、前記貫通部の側面に設けられた複数の折取部と、それぞれの前記折取部に繋がった接続部と、前記接続部に繋がった水晶片とを備え、前記水晶板には、少なくとも一方の主面に所定の間隔を空けて２個一対の第一の溝部が形成されており、前記第一の溝部の間にあって且つ前記第一の溝部と直交する方向に所定の間隔を空けて２個一対の第二の溝部が形成されており、前記貫通部は、前記第一の溝部と前記第二の溝部とで囲われた部分に形成されており、前記折取部と前記接続部との少なくとも一方の主面には、前記折取部から前記接続部に至る第三の溝部が設けられている水晶片集合基板。 （もっと読む）

【課題】リフトオフ法により保護膜を圧電素子の表面全部またはその表面の任意の部位に形成して電気特性及び耐候性に優れた圧電部品を製造する。
【解決手段】本発明は、集合圧電基板と、該集合圧電基板の主面に形成された少なくとも１個の振動部と、該振動部に接続される配線電極とを有する圧電素子と、該圧電素子の表面に形成された保護膜と、前記圧電素子の電極部を除く前記圧電基板の主面上に形成された層間絶縁膜と、前記圧電素子の上面を囲むように設けた中空構造部を有し、かつ、前記配線電極に接続する端子電極、及び該端子電極上に形成したはんだボール電極を有する圧電部品の製造方法において、前記保護膜の形成の際に圧電素子の全面にフォトレジストを塗布した後、リソグラフィーによりパターニングしてから絶縁膜を形成し、所望の部位のフォトレジストと、その上に形成した絶縁膜とをリフトオフ法により除去（剥離）することを特徴とする圧電部品の製造方法及びこれにより製造される圧電部品に関する。 （もっと読む）

【課題】量産性に優れ、振動部の占有割合の高い逆メサ型の水晶振動片を提供する。
【解決手段】上記課題を解決するための水晶振動片は、水晶素板１２に対し、振動部１６を構成する肉薄部と振動部１６に隣接した肉厚部１４とをウエットエッチングにより形成するものであって、前記水晶素板１２はＡＴカット水晶素板における＋Ｚ′軸をＹ′軸回りに＋Ｘ軸方向へ回転させることを正の回転角として、Ｚ′軸をＹ′軸回りに−１２０°から＋６０°の範囲で回転させて得られるＺ″軸とこれに垂直に交わるＸ′軸とのそれぞれに平行な縁辺を有し、振動部１６の形成は＋Ｙ′軸側主面または−Ｙ′軸側主面のいずれか一方から行い、＋Ｙ′軸側主面からエッチングを行った場合には少なくとも＋Ｚ″軸側端部に肉厚部１４を設け、−Ｙ′軸側主面からエッチングを行った場合には少なくとも−Ｚ″軸側端部に肉厚部１４を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動部の一方の主面が曲面形状の凸部を有している水晶振動子を容易に製造しその水晶振動子の製造コストを軽減することを課題としている。
【解決手段】水晶ウエハに複数の水晶基板凹部と基板内部配線を設ける水晶基板凹部形成工程と、水晶ウエハの他方の主面であって水晶基板となる部分に、インクジェット法を用いてカバーを設けるカバー形成工程と、カバーの設けられた水晶ウエハの他方の主面を加工するコンベックス加工工程と、水晶基板となる部分に電極を設ける電極形成工程と、複数の第一の容器体となる部分が設けられている第一のウエハと水晶ウエハとを水晶基板凹部を第一のウエハ側に向けて接合する第一の接合工程と、複数の容器体凹部が一方の主面に設けられている第二のウエハと水晶ウエハとを容器体凹部を水晶ウエハ側に向けて接合する第二の接合工程と、水晶振動子ごとに個片化する個片化工程とからなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
切断部をフレームに接続する状態で水晶ウェハより切り出された水晶片をフレームごと処理用のトレイに収容してセットすることで、水晶片をフレームより折り取って専用の収容トレイ内に自動で直接収納できる水晶片の折り取り移載装置を提供する。
【解決手段】
切断部をフレーム９に接続する水晶片１０をフレーム９ごとセットする処理用トレイ６、フレームより折り取った水晶片を収納する収納用トレイ８を載置するトレイテーブル２と、処理用トレイ内の水晶片をフレームより折り取る折り取り用ヘッド３と、折り取り用ヘッド３を処理用トレイ６と収納用トレイ８の間を移動させる移動手段より構成し、水晶片１０を折り取り用ヘッド３で吸着支持し、折り取り用ヘッドを所定の方向に移動させて水晶片をフレームより折り取り、折り取り用ヘッドに吸着する同水晶片を収納用トレイに搬送し収容する。 （もっと読む）

【課題】振動部の一方の主面が曲面形状の凸部を有している水晶振動子を容易に製造しその水晶振動子の製造コストを軽減することを課題としている。
【解決手段】水晶ウエハに複数の水晶基板凹部と基板内部配線を設ける水晶基板凹部形成工程と、水晶ウエハの他方の主面であって水晶基板となる部分に、インクジェット法を用いて複数のカバーを設けるカバー形成工程と、カバーの設けられた水晶ウエハの他方の主面を加工するコンベックス加工工程と、水晶基板となる部分に電極を設ける電極形成工程と、複数の第一の容器体となる部分が設けられている第一のウエハと水晶ウエハとを水晶基板凹部を第一のウエハ側に向けて接合する第一の接合工程と、複数の容器体凹部が一方の主面に設けられている第二のウエハと水晶ウエハとを容器体凹部を水晶ウエハ側に向けて接合する第二の接合工程と、水晶振動子ごとに個片化する個片化工程とからなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動片及び振動子の製造方法に関する。
【解決手段】相互に反対を向いて厚みを定義する第１及び第２の表面１２，１４を有し、基部１６及び基部１６から厚み方向に直交して並んで延びる複数の腕部１８を含む支持体１０を用意する。支持体１０は、複数の腕部１８のそれぞれの第１の表面１２に下部電極膜２０が形成され、下部電極膜２０上に圧電膜２２が形成され、圧電膜２２上に上部電極膜２６が形成され、第２の表面１４において複数の腕部１８のそれぞれの少なくとも一部は露出領域３０を有する。第２の表面１４の露出領域３０をエッチングする。エッチングによって厚みを減らして、複数の腕部１８を厚みの方向に曲がりやすくする。 （もっと読む）

【課題】長期的に高い信頼性を有した圧電振動子、圧電発振器、電子機器、及び圧電振動子の製造方法の提供。
【解決手段】圧電振動子２００は、キャビティ１を有するパッケージ１１０と、キャビティ１内に形成された複数の電極パッド２０と、シリコーン系導電性接着剤を含み、複数の電極パッド２０上に各々形成された第１接着部３１及び第２接着部３２により、一端を支持された圧電振動素子１００と、を備え、圧電振動素子１００が、互いに対向する第１面４１と第２面４２とを有する圧電基板４０と、第１面４１に形成されて第１接着部３１と電気的接続の第１電極膜５０ａと、第２面４２に形成されて第２接着部３２と電気的接続の第２電極膜５０ｂと、を有し、圧電振動素子１００の第１接着部３１及び第２接着部３２による支持領域と、第１接着部３１及び第２接着部３２にて支持されていない可動領域４２とで、可動領域４２にフッ素樹脂膜６０が形成される。 （もっと読む）

【課題】所望の周波数特性が得られ、歩留まりが向上する電子装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】 基板６と、機能素子７と、機能素子７を配置する空洞部５を素子周囲構造体８とを有し、機能素子７が、固定電極７１と、可動板７２２および連結部７２３からなる振動系７２４を備える可動電極７２とを有する電子装置１の製造方法であって、素子周囲構造体８が、空洞部５に連通する複数の細孔３３２を有する被覆層３３１を有する調整前電子装置を用意する工程と、振動系７２４の固有振動数を測定する固有振動数測定工程と、細孔３３２を介して連結部７２３に錘材料９を堆積することにより、振動系７２４の固有振動数を調整する固有振動数調整工程と、細孔３３２を封止する封止工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】被塗布物に、簡単に塗膜を形成することができるとともに、塗膜の被塗布物の角部に対応する部分の膜厚を厚くすることができる塗膜形成方法、およびこの塗膜形成方法を用いることにより、信頼性の高い圧電素子を簡単に製造することのできる圧電素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】第１面２７、側面２８および角部Ａを有する圧電素子片２にレジスト液Ｑを塗布してレジスト膜を形成する塗膜形成方法であって、圧電素子片２を浸漬用レジスト液Ｑに浸漬することにより、電極膜４の表面に第１のレジスト膜Ｌ１を形成する第１のレジスト膜形成工程と、吐出法によりレジスト液Ｒをノズルから吐出し、吐出されたレジスト液Ｒを、第１のレジスト膜Ｌ１の圧電素子片２の角部Ａに対応する角部対応部Ｌ１１に着弾させることにより、角部対応部Ｌ１１に第２のレジスト膜Ｌ２を形成する第２のレジスト膜形成工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】振動子のヤング率などの物性定数がより容易に計測できるようにする。
【解決手段】例えば希弗酸溶液を用い、貫通孔１０４ａを介して犠牲層１０３を等方的にエッチングし、振動子層１０４とＧａＡｓバッファー層１０２との層間に、貫通孔１０４ａの領域を超える空間１３１を形成する。例えば、レジストパターン１０５を除去した後、貫通孔１０４ａを備える振動子層１０４を備える基板１０１を希弗酸溶液に浸漬する。これにより、貫通孔１０４ａより浸入する希弗酸溶液により犠牲層１０３が等方的にエッチングされ、空間１３１が形成されるようになる。 （もっと読む）

【課題】振動子の構造寸法の変化に起因する共振周波数の変動を抑制することのできる共振回路及びその製造方法を実現する。
【解決手段】本発明の共振回路３０は、基板と、該基板上に形成された固定電極１２、及び、該固定電極の少なくとも一部に対向する可動部１３ａを備えた可動電極１３を有し、前記基板上に設けられた収容空間内に少なくとも前記可動部が配置されたＭＥＭＳレゾネータ１０と、該ＭＥＭＳレゾネータにバイアス電圧を印加する電圧印加手段と、を具備し、該電圧印加手段は、前記収容空間若しくは前記収容空間とは別の収容空間内に少なくとも一部が配置された第１の抵抗Ｒ１１と、該第１の抵抗に接続された第２の抵抗Ｒ１２とを備え、前記第１の抵抗と前記第２の抵抗の接続点電位を前記ＭＥＭＳレゾネータの第１の端子１０ａと第２の端子１０ｂのうちの少なくとも一方の端子に出力する分圧回路２１を有する。 （もっと読む）

【課題】所望の周波数特性が得られ、歩留まりが向上する電子装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】電子装置１の製造方法は、基板６と、機能素子７と、機能素子７を配置する空洞部を画性素子周囲構造体とを有し、機能素子７が、固定電極７１と、可動板７２２を備える可動電極７２とを有し、素子周囲構造体８が、空洞部５に連通する複数の細孔３３２を有する被覆層３３１を有する調整前電子装置を用意する工程と、可動板７２２の固有振動数を測定する固有振動数測定工程と、細孔３３２を介して可動板７２２上に錘材料９を堆積することにより、可動板７２２の固有振動数を調整する固有振動数調整工程と、細孔３３２を封止する封止工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】被塗布物の表面に形成される塗膜の、被塗布物の角部に対応する部分の膜厚を厚くすることができる塗膜形成方法、およびこの塗膜形成方法を用いることにより、信頼性の高い圧電素子を簡単に製造することのできる圧電素子の製造方法を提供すること
【解決手段】上面２７、側面２８および角部Ａを有する圧電素子片２にレジスト液Ｑを塗布してレジスト膜（塗膜）を形成する塗膜形成方法であって、第１のレジスト液Ｑ１を上面２７の法線方向から角部Ａに衝突するように吐出し、角部Ａでせん断された第１のレジスト液Ｑ１を側面２８に流下する第１の工程と、第１のレジスト液Ｑ１が乾燥した後に、第２のレジスト液Ｑ２を上面２７の法線方向から角部Ａに衝突するとともに、着弾状態にて第１のレジスト液Ｑ１と重なるように吐出し、角部Ａでせん断された第２のレジスト液Ｑ２を側面２８に流下する第２の工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】水晶振動子の漏れ振動が確実に、且つ、高精度に微細調整された水晶振動子およびその水晶振動子の製造方法を提供することである。
【解決手段】
基部から延設する振動脚を備える外形形状を有し、該振動脚の主平面と側面との少なくとも一方に電極を備える水晶振動子であって、電極の一部分が、断面主軸の方向を調整することによって振動脚の漏れ振動成分を減少するように加工された電極除去部分を有する構成とした。このようにすることによって、水晶振動子の漏れ振動が高精度に調整できる。 （もっと読む）

【課題】圧電振動子の特性異常をファインリーク判定の前に検出し、気密不良品を精度よくリジェクトする。
【解決手段】圧電振動子の気密性を検査する圧電振動子の気密検査方法であって、加圧前に取得された複数の周波数測定値に基づいて、圧電振動子の特性異常の有無を判定する第１の特性異常判定ステップ（Ｓ６２）と、加圧後に取得された複数の周波数測定値に基づいて、圧電振動子の特性異常の有無を判定する第２の特性異常判定ステップ（Ｓ６３）と、前記第１の特性異常判定ステップ（Ｓ６２）及び前記第２の特性異常判定ステップ（Ｓ６３）においてともに特性異常が無いと判定された場合に、ファインリーク判定ステップ（Ｓ６４）に進む。 （もっと読む）

【課題】 安定で良好な特性を維持しつつ、小型化が可能で、ウェハ基板内に多数配置して量産化を図ることが可能な圧電音叉振動子およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】 矩形平板状の基部と、基部と同一の厚さで同一平面内で互いに平行に配置され、その一辺に一端を連結されたｎ本の振動アームからなる圧電音叉振動子において、振動アームの幅をＷ１、振動アームの互いの間隔をＷ２、基部の振動アームが連結された辺の幅をＷ３とするとき、Ｗ３＝２ｎ×Ｗ１＋（２ｎ−１）×Ｗ２をほぼ満たす関係にある。製造においては、基板上に振動アームの先端を直線状となるように配列した第一の列１０１と、第一の列１０１を１８０度回転した向きに配列した第二の列１０２とを互いに対向して配置し、第一の列１０１の互いに隣接する圧電音叉振動子パターンの振動アームの間に第二の列１０２の振動アームを配置する。 （もっと読む）

【課題】簡便な手法で、従来の強誘電体薄膜よりも大幅に比誘電率を向上し得る、高容量密度の薄膜キャパシタ用途に適した強誘電体薄膜形成用組成物、強誘電体薄膜の形成方法並びに該方法により形成された強誘電体薄膜を提供する。
【解決手段】ＰＬＺＴ、ＰＺＴ及びＰＴからなる群より選ばれた１種の強誘電体薄膜を形成するための強誘電体薄膜形成用組成物であり、一般式：（Ｐｂ_xＬａ_y）（Ｚｒ_zＴｉ_(1-z)）Ｏ₃（式中０．９＜ｘ＜１．３、０≦ｙ＜０．１、０≦ｚ＜０．９）で示される複合金属酸化物Ａに、Ｂｉを含む複合金属酸化物Ｂが混合した混合複合金属酸化物の形態をとる薄膜を形成するための液状組成物であり、各原料が上記一般式で示される金属原子比を与えるような割合となるように、有機溶媒中に溶解している有機金属化合物溶液からなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低温で焼結させても所望の圧電特性を有する圧電セラミック電子部品を得ることができ、低コスト化を図ることのできるようにした。
【解決手段】少なくともＰｂ化合物、Ｍｎ化合物、Ｎｂ化合物、Ｚｒ化合物及びＴｉ化合物を含むセラミック素原料を、Ｍｎの配合モル比αとＮｂの配合モル比βとの比α／βが０．５０を超えるように調合し、焼結後の主成分が一般式Ｐｂ｛（Ｍｎ，Ｎｂ），Ｚｒ，Ｔｉ｝Ｏ_３で表されるセラミック原料粉末を作製する原料作製工程と、前記セラミック原料粉末を成形加工してセラミック成形体を作製する成形工程と、酸素分圧が０．２５Ｐａ以下の還元雰囲気下で前記セラミック成形体を焼成する焼成工程とを含んでいる。 （もっと読む）