【課題】 ベース部とリッド部との接合強度が強く、圧電デバイスの外側からキャビティ内へ又はその逆の気体等のリークが少ない圧電デバイスを提供する。
【解決手段】 圧電デバイス（１００）は電圧の印加により振動する圧電振動片（１０）を収納する。圧電デバイスは、平面の周囲に所定の幅で形成された第１端面（Ｍ１）を有するリッド部（１１）と、リッド部と異なる熱膨張係数を有しリッド部の第１端面に接合される第２端面（Ｍ２）と第２端面から凹んだ凹部とを有するベース部（１２）とを備える。リッド部の第１端面とベース部の第２端面とは粗面であり、粗面には金属膜（ＡＣ１、ＡＣ２）がそれぞれ形成され、リッド部とベース部とは金属膜同士の間に形成された封止材（ＬＧ）で接合される。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、一対の振動腕の両外側に形成される支持腕の幅を調整することで、頂点温度を調整する音叉型水晶振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】 第１方向に伸びた一対の振動腕と、一対の振動腕が連結された基部と、一対の振動腕の両外側で基部から第１方向に伸びる一対の支持腕とを有する音叉型水晶振動片の製造方法であって、音叉型の水晶振動片の頂点温度を算出する算出工程（Ｓ１０２）と、第１方向と直交する第２方向の支持腕の腕幅と頂点温度との関連を示すデータに基づいて、一対の支持腕の腕幅を調整する調整工程（Ｓ１０６）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被加工物の表面が目的のプロファイルになるように該表面をエッチングする表面加工方法を提供する。
【解決手段】被加工物表面の加工前のプロファイルを測定し、気体又は液体から成るエッチング剤を前記表面に向けて所定の流量で供給する供給手段を、該表面上の各点において前記目的プロファイルと前記加工前プロファイルの差から求めた加工深さにより定まる速度で、該表面に沿って移動させることにより、該表面をエッチングし、前記流量のエッチング剤を除去可能な量以上の吸引量で、前記表面付近の液体又は気体を吸引除去する。ここでエッチング剤が液体の場合には、液体と共に、該液体が気化した気体も吸引除去する。 （もっと読む）

【課題】製造が簡単で、周波数調整を簡単かつ高精度に行うことができる振動片、この振動片の製造方法を提供すること、また、この振動片を備える信頼性に優れた振動子、振動デバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】振動片２は、基部２７と、基部２７からＹ軸方向に延出しＺ軸方向に屈曲振動する振動腕２８と、振動腕２８に設けられ、振動腕２８を屈曲振動させる圧電体素子２２と、振動腕２８の圧電体素子２２よりも先端側に設けられた質量部５１とを有している。また、圧電体素子２２は、少なくとも、第１の電極層２２２と、第２の電極層２２６と、これらの間に位置する圧電体層２２３とを有している。また、質量部５１は、少なくとも１つの膜部を有し、この膜部は、圧電体素子２２を構成する層のうちのいずれか１つの層と同じ材料で構成されている。 （もっと読む）

【課題】耐湿性に優れた圧電振動素子を製造し得る方法及び耐湿性に優れた圧電振動素子を提供する。
【解決手段】一対の電極１１，１２を介して素子本体１５に電圧を印加することにより圧電体１０を分極させる。分極工程の後に、素子本体１５に対して、一対の電極１１，１２を介して交流電圧を印加することにより素子本体１５を振動させる。振動工程を開始した後に、素子本体１５の表面の少なくとも一部の上に、保護膜１６ａ、１６ｂを形成する。 （もっと読む）

【課題】 水晶側面電極とベース側面電極とが断線せず確実に電気的に接続されるように圧電デバイス及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 圧電デバイス（１００）は、圧電振動片（２１）と外枠（２２）とを有し第１キャスタレーション（２０４）が形成される圧電フレーム（２０）と、接着剤（１３）により外枠に接合され第２キャスタレーション（１２４）が形成されるベース部（１２）と、リッド部（１１）とを備える。圧電フレームは、励振電極と第２引出電極と、第１キャスタレーションに形成された第１側面電極とを有する。ベース部は、第２キャスタレーションに形成された第２側面電極と、外部電極とを有する。第１及び第２キャスタレーションには、第１側面電極又は第１引出電極と第２側面電極とを電気的に接続するように一対の接続電極（１４）が形成されている。 （もっと読む）

【課題】振動子を安定的に作製することができる振動子の作製方法、振動子および発振器を提供する。
【解決手段】振動子を作製するとき、基板と振動板を接合し、前記基板に接合された前記振動板の表面を研摩し、研摩された前記振動板の表面に電極を形成し、前記振動板が接合した面と反対側の面のうち、形成された前記電極に対応する前記基板の領域を選択的にエッチングする処理を含む。作製された振動子は、一方の面内に凹部が設けられた基板と、前記基板の前記凹部の設けられた面と反対側の面上に、前記凹部に対応する領域に接合された振動板と、前記振動板上に設けられた電極とを備える。前記基板の前記凹部の底の領域は導体化されることにより、前記電極に対向する対向電極として機能する。 （もっと読む）

【課題】音叉型屈曲水晶振動素子ウエハにおいて、音叉型屈曲水晶振動素子の取り個数が増え、生産性向上が出来る音叉型屈曲水晶振動素子ウエハを提供する。
【解決手段】音叉型屈曲水晶振動素子ウエハ１０は、基部１１１と、基部から同一方向に延設した２本の振動腕部１１２ａ、１１２ｂと、一方の振動腕部が設けられる側に寄って、基部より振動腕部と直交する方向に延設した第一の支持腕部１１３ａと、前記第一の支持腕部よりも振動腕部から離れて設けられる第二の支持腕部１１３ｂと、を備えた複数の音叉型屈曲水晶振動素子と、複数の音叉型屈曲水晶振動素子を囲む様に設けられているフレーム部２０と、音叉型屈曲水晶振動素子の基部とフレーム部が連結されている連結部３０と、で構成され、隣り合う音叉型屈曲水晶振動素子の第一の支持腕部１１３ａと第二の支持腕部１１３ｂとが、振動腕部の長さ方向に所定の間隔を空けてフレーム部２０に備えられている。 （もっと読む）

【課題】十分、気密封止・電気的導通が維持され、かつ小型化・薄型化された水晶発振器を極めて高い生産性で得るようにする。
【解決手段】方形状の水晶からなる水晶振動子２０と、該水晶振動子２０の上側主面に金属膜２６，３４を介在して積層接合され、かつ、水晶振動子２０の上側主面に対向する面にＬＳＩを搭載したＳｉまたは水晶からなる前記水晶振動子と同一外形寸法のＬＳＩ搭載カバー３０と、前記水晶振動子２０の下側主面に金属膜２７，４４を介在して積層接合され、かつ、前記水晶振動子２０の下側主面に対向して形成された凹所４１を有するＳｉまたは水晶からなる前記水晶振動子２０と同一外形寸法のベース４０と、からなり、前記水晶振動子２０、前記ＬＳＩ搭載カバー３０及び前記ベース４０とが、それぞれに設けた電極により電気的に接続されている水晶発振器及び前記水晶発振器をウェハレベルで製造する方法に関する。 （もっと読む）

【課題】ディスク下面に犠牲層の残渣が発生せず、きれいに除去されるようにする。
【解決手段】ディスク型の振動子構造体１と、該振動子構造体１の両側に前記ディスク型振動子構造体の外周部に対して所定の空隙ｇを有して、それぞれ対向して配置される一対の駆動電極２，２と、該駆動電極２，２に同相の交流バイアス電圧を印加する手段と、前記ディスク型振動子構造体１と前記駆動電極２，２との間の静電容量に対応した出力を得る検出手段とを備えた静電駆動型のディスク型振動子において、前記ディスク型振動子構造体１がディスクの中心に貫通孔１ａを有し、ワイン・グラス・モードで振動される。 （もっと読む）

【課題】振動体の支持構造体の寸法精度のばらつきによる共振周波数のばらつきを小さくし、かつ、支持構造体から漏洩するエネルギー損失を極力小さくする。
【解決手段】ディスク型の振動体１と、該振動体１の両側に前記ディスク型振動体の外周部に対して所定の空隙ｇを有して、それぞれ対向して配置される駆動電極２，２と、該駆動電極２，２に同相の交流バイアス電圧を印加する手段２ａと、前記ディスク型振動体１と前記駆動電極２，２との間の静電容量に対応した出力を得る検出手段３，３ａとを備えた静電駆動型のディスク型ＭＥＭＳ振動子において、前記ディスク型振動体１が該ディスクの中心に直立して設けた柱状の支持構造体１ａで支持され、かつ、該支持構造体１ａの横断面形状が非円形であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】パッケージ等に実装した場合であっても、蓋体に振動腕が接触する虞が無く、高精度で高い信頼性を得ることのできる振動片を提供する。
【解決手段】実装面１４ａを有した基部１４と、基部１４から延設され、第１面１７ａと第１面１７ａに対向し実装面１４ａ側に位置する第２面１７ｂとを有し、第１面１７ａおよび第２面１７ｂの法線方向に屈曲振動を成す振動腕１６（１６ａ，１６ｂ，１６ｃ）と、振動腕１６の第１面１７ａおよび第２面１７ｂの少なくとも一方に設けられ、第１電極２０、第２電極３８、および第１電極２０と第２電極３８との間に配置された圧電体層２８を少なくとも有する積層構造体と、を備え、前記振動腕１６は、前記実装面１４ａ側に反っていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 上側と下側との平板を同一構造にしてコストを低減する圧電振動デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電振動デバイスの製造方法は圧電振動片と圧電振動片を支持する外枠とを有する圧電フレームを複数含み少なくとも一対の第１貫通孔が形成された圧電ウエハを用意する工程（Ｓ１０１）と、励振電極を形成し引出電極及び第１側面電極を形成する第１電極形成工程（Ｓ１０３）と、第１面と第２面とを有する平板を複数含み少なくとも一対の第２貫通孔が形成された平板ウエハを２枚用意する工程（Ｓ１１１）と、外部電極及び第２側面電極を形成する第２電極形成工程（Ｓ１１３）と、非導電性の封止材を環状に配置する封止材配置工程（Ｓ１２）と、圧電ウエハと２枚の平板ウエハとを封止材で接合する接合工程（Ｓ１３）と、接合工程後に第１面、第１貫通孔及び第２貫通孔に接続電極を形成する第３電極形成工程（Ｓ１４）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】支持基板の構成材料の選択性を高めて圧電デバイスを製造する。
【解決手段】圧電基板１にイオンを注入してイオン注入部分２を形成する。次に、圧電基板１のイオン注入側の面に、被エッチング層３および仮基板４からなる仮支持基板を形成する。次に、仮支持基板を形成した圧電基板１を加熱し、イオン注入部分２を分離面として圧電基板１から圧電薄膜１１を分離する。次に、圧電基板１から分離した圧電薄膜１１に、誘電体膜１２およびベース基板１３からなる支持基板を形成する。ここで、仮支持基板は、圧電薄膜１１との界面に作用する熱応力が支持基板よりも小さい構成材料で構成している。 （もっと読む）

【課題】圧電振動素子を絶縁容器内にシリコーン接着剤により保持した状態で気密封止した構造の圧電デバイスにおいて、シリコーン接着剤から放出されるシリコーン蒸気成分が圧電振動素子の金属膜上に付着堆積することによって共振周波数が経時的に最終目標周波数よりも低下する不具合を解決することができる圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器、及び周波数安定化方法を提供する。
【解決手段】厚み滑り系の圧電材料から成る圧電基板２０と、該圧電基板面に形成した金属膜２１とを備えた圧電振動素子を導電性接合部材により容器内に保持した圧電振動子において、雰囲気中に露出している金属膜表面が、非結合電子対をもった物質との化学吸着によって形成された膜３０によって覆われている。 （もっと読む）

【課題】パッケージ側に設けた素子搭載用パッド上に導電性接着剤を介して圧電振動素子の一端寄りの下面を接着して片持ち支持構造とした場合に、接着時の加圧力によって導電性接着剤が圧電振動素子の振動領域側にはみ出してその共振周波数を変動させたり、はみ出した導電性接着剤が素子搭載用パッドとその近傍に位置する金属部材とを短絡させることを防止する。
【解決手段】振動領域１１ａと、該振動領域と連設一体化された被接続領域１１ｂと、を備えた圧電基板であって、被接続領域の一面には、凹部、或いは貫通穴から成る接着剤収容部２０を形成した。 （もっと読む）

【課題】Ｚ板からなる水晶基板にＺ軸方向へウェットエッチングを施す場合、その異方性により、水晶基板の結晶面で、ウェットエッチングの進行具合が極端に遅くなるが、さらにウェットエッチングをしても溝部に貫通しせずに、所望の形状である溝部を得ること。
【解決手段】Ｚ板からなる水晶基板にウェットエッチングを施して、溝部を形成する際に、Ｚ板からなる水晶基板の結晶面でエッチングの進行具合が極端に遅くなった後、引き続きウェットエッチングを施しても、基板において、ウェットエッチングの進行具合が遅くなる、または止まるので、溝部を貫通させることなく振動腕部に形成させることができる圧電振動片の製造方法を提供することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】信頼性を優れたものとしつつ、振動損失を低減することができる振動片、および、この振動片を備える振動デバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の振動片は、基部と、基部から延出する振動腕２８、２９、３０と、振動腕２８、２９、３０上に下地層２２１、２３１、２４１と第１の電極層２２２、２３２、２４２と圧電体層２２３、２３３、２４３と第２の電極層２２５、２３５、２４５とがこの順で積層され、第１の電極層２２２、２３２、２４２と第２の電極層２２５、２３５、２４５との間に通電することにより、圧電体層２２３、２３３、２４３を伸縮させて、振動腕２８、２９、３０を屈曲振動させる圧電体素子２２、２３、２４とを有し、下地層２２１、２３１、２４１は、Ｔｉを主材料とする金属で構成されている。 （もっと読む）

【課題】漏れ調整と離調度調整をひとつのエッチング工程によって実現し、漏れ振動が抑制され、且つ、適正に離調度調整された高性能な水晶振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】水晶を所定の外形形状に加工する外形加工工程と、外形形状に電極を形成する電極形成工程と、漏れ量を測定する工程ＳＴ３と、離調度を測定する工程と、離調度の測定結果に基づいた時間エッチングを行い、外形形状を加工するエッチング工程と、を備え、エッチング工程は、エッチング時間と漏れ量測定工程の測定結果とに応じた形状のマスクを用いて外形形状のエッチングを行う漏れ量調整工程を有する水晶振動子の製造方法とした。 （もっと読む）

【課題】 振動腕部に設けられる溝部の断面形状の対称性を改善し、また、容易に製造を容易とする。
【解決手段】 基部と基部から延設する振動腕部とからなる構造で振動腕部が長さ方向に溝部を有する音叉型水晶振動素子の製造方法であって、水晶ウェハに耐食膜を成膜する耐食膜成膜工程と、感光性レジストを形成し音叉形状に感光性レジストを残しつつ溝部となる部分の感光性レジストを除去し露出する耐食膜を除去するパターニング工程と、水晶ウェハの露出する水晶部分を除去するウェットエッチング工程とを含み、パターニング工程で、溝部となる部分内の感光性レジストが溝部となる部分の長さ方向の縁部分から直交する方向へ溝部となる部分内に突起させた状態で除去され、ウェットエッチング工程で、溝部となる部分に残された感光性レジストにより、水晶片の除去が徐々になされて溝部の断面形状を略Ｖ字形状に形成することを特徴とする。 （もっと読む）