【課題】支持腕の接合部分が振動腕より厚い音叉型振動片を簡単かつ高精度に製造する。
【解決手段】基部から延出しかつその延長方向に沿って溝部９を有する振動腕７と、振動腕に沿って配置されかつ基部に結合された支持腕８とを備える音叉型振動片１を製造する方法は、ウエハの一方の面に凹所をエッチングして振動腕と実用上同じ厚さの薄肉部分を、少なくとも振動腕の外形に対応する部分の外側に余白部分を含むように形成し、ウエハ両面の耐蝕膜に音叉型振動片の外形パターンを転写し、露出したウエハ面をエッチングして音叉型振動片の外形を加工し、同じ耐蝕膜に溝部の開口パターンを転写し、該耐食膜を用いてウエハをエッチングして振動腕に溝部を形成する過程を含む。ウエハの一方の面と薄肉部分との段差１２によって、支持腕に振動腕の厚さよりも厚い接合部分１１を画定する。 （もっと読む）

【課題】信頼性が高く、周波数特性の管理が容易なＭＥＭＳ振動子を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳ振動子１００は、基板１０と、基板１０の上方に配置された第１電極２０と、第１電極２０との間に空隙を有した状態で配置され、基板１０の厚み方向に静電力によって振動可能となる梁部３２、および梁部３２を支持する支持部３４を有する第２電極３０と、を含み、第１電極２０の側面２２は、第１電極２０の上面２１に接続された第１面２２ａと、第１面２２ａおよび基板１０の上面１１に接続された第２面２２ｂと、を有し、第１面２２ａは、基板１０の上面１１に対して傾斜し、基板１０の上面１１に対する第１面２２ａの角度は、第１角度αであり、基板１０の上面１１に対する第２面２２ｂの角度は、第１角度αよりも大きい第２角度βである。 （もっと読む）

【課題】周波数の温度特性を改善すると共に、圧電膜の配向性の乱れを抑制し、良好な共振特性を得ることが可能な圧電薄膜共振器およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、基板１０上に設けられた下部電極１２と、下部電極１２上に設けられた、２層からなる第１圧電膜１４および第２圧電膜１８と、第２圧電膜１８上に設けられ、第１圧電膜１４と第２圧電膜１８とを挟み下部電極１２と対向する領域を有する上部電極２０と、下部電極１２と上部電極２０とが対向する領域であって、第１圧電膜１４と第２圧電膜１８との２層の間に設けられた絶縁膜１６と、を具備し、絶縁膜１６の上面は下面よりも平坦である圧電薄膜共振器である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、圧電ウエハから圧電振動片の落下が防がれるとともに、圧電振動片を圧電ウエハから取り外しやすい圧電振動片の製造方法及び圧電振動片を提供する。
【解決手段】圧電振動片の製造方法は、圧電材料からなる圧電ウエハから矩形の圧電振動片を複数形成する圧電振動片の製造方法であって、圧電ウエハから圧電振動片の矩形の外形を形成する際に、矩形の１つの短辺の中央と圧電ウエハとをつなぐ第１連結部と矩形の角部と圧電ウエハとをつなぐ第１連結部より細い第２連結部とを形成する外形形成工程（Ｓ１０１）と、圧電振動片の両主面に一対の励振電極とこれら一対の励振電極からそれぞれ引き出される一対の引出電極とを形成する電極形成工程（Ｓ１０２）と、圧電ウエハを液体で洗浄する洗浄工程（Ｓ１０３）と、少なくとも第１連結部を折り圧電ウエハから圧電振動片を取り外す切断工程（Ｓ１０４、Ｓ１０５）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】従来技術と比較して電極形成工程の工数の削減および製造装置の簡略化ができ、低コストな圧電振動片、圧電振動片の製造方法、圧電振動子、この圧電振動子を用いた発振器、電子機器および電波時計を提供する。
【解決手段】一対の振動腕部１０，１１に形成された励振電極１３，１４と、外部に電気的に接続されるマウント電極１６，１７と、励振電極１３，１４とマウント電極１６，１７とを接続する引き出し電極１９，２０と、を備えた圧電振動片４であって、振動腕部１０，１１には貫通孔８，９が形成されており、励振電極１３，１４は、貫通孔８，９の内側面８ａ，８ｃ，９ａ，９ｃおよび内側面８ａ，８ｃ，９ａ，９ｃと対向した外側面１０ａ，１０ｂ，１１ａ，１１ｂに形成され、マウント電極１６，１７および引き出し電極１９，２０は、基部１２の一方側の主面Ｆに形成されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】シリコンのエッチング異方性に起因する振動特性の劣化が抑制されたシリコンからなる振動片、その振動片を用いたジャイロセンサー、それらを備えた電子機器、および振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】基部２１、および基部２１から延伸する振動腕２２を備え、振動腕２２の第１の面１ａに開口部を有する有底の溝２が形成され、溝２は、第１の面１ａにおいて開口部の中心を通って且つ振動腕２２の延伸方向に沿った仮想の線Ｐ２が、溝２が形成される前の振動腕２２の重心を通って且つ振動腕２２の延伸方向に沿う仮想の線Ｐ１に対して並行するいずれかの方向にずれた位置に配置されて設けられた振動片２０の製造方法であって、シリコンウェハーの第１の面１ａに塗布されたフォトレジスト膜に、同一のフォトマスクを用いて基部２１および振動腕２２の外形形状と溝２の開口部形状とを同時に露光する工程を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】水晶のエッチング異方性に起因する振動特性の劣化が抑制された水晶振動片、その水晶振動片を用いたジャイロセンサー、それらを備えた電子機器、および水晶振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】基部２１、および基部２１から延伸する振動腕２２を備え、振動腕２２の第１の面１ａに開口部を有する有底の溝２が形成され、溝２は、第１の面１ａにおいて開口部の中心を通って且つ振動腕２２の延伸方向に沿った仮想の線Ｐ２が、溝２が形成される前の振動腕２２の重心を通って且つ振動腕２２の延伸方向に沿う仮想の線Ｐ１に対して平行するいずれかの方向にずれた位置に配置されて設けられた水晶振動片としての振動素子２０の製造方法であって、水晶ウェハー第１の面１ａに塗布されたフォトレジスト膜に、同一のフォトマスクを用いて基部２１および振動腕２２の外形形状と溝２の開口部形状とを露光する工程を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】基本波で高周波、且つ小型であり、主振動のＣＩ値が小さく、スプリアスのＣＩ値比の大きな圧電振動素子を得る。
【解決手段】圧電振動素子１は、薄肉の振動領域１２、及び振動領域１２の一辺を除いた三辺に沿って一体化されたコ字状の厚肉支持部を有する圧電基板１０と、振動領域１２の表面及び裏面に夫々配置された励振電極２５ａ、２５ｂと、リード電極２７ａ、２７ｂと、を備えている。厚肉支持部は、振動領域１２を挟んで対向配置された第１の支持部１４、及び第２の支持部１６と、第１及び第２の支持部の基端部間を連設する第３の支持部１８と、を備えている。第２の支持部１４は、振動領域１２の一辺に連設し第２の傾斜部１４ｂと、第２の傾斜部１４ｂの他端縁に連設する厚肉の第２の支持部本体１４ａと、を備え、第２の支持部１４には、少なくとも一つの応力緩和用のスリット２０が貫通形成されている。 （もっと読む）

【課題】第１の外装体と第２の外装体との隙間に水晶素板が入り込み、水晶素板が破損してしまうことを低減すると共に、生産性を向上させる水晶素板洗浄用治具を提供することを課題とする。
【解決手段】 水晶素板洗浄用治具１００は、第１及び第２の外装体１１０及び１２０を備えている。第１の外装体１１０は、水晶素板１０が設けられる収容部１１１を有し、収容部１１１の底面に第１の貫通孔１１２が設けられ、収容部１１１を囲むようにして磁石部１１３が設けられている。第２の外装体１２０は、第２の貫通孔１２２を有しており、収容部１１１を覆うように磁石部１１３によって第１の外装体１１０に固定される。 （もっと読む）

【課題】複数の圧電素子を同時に強励振させることができる強励振回路及び強励振方法を提供する。
【解決手段】並列接続された複数の圧電素子を同時に強励振させる強励振回路において、複数の圧電素子の中心共振周波数付近の単一の周波数を第１の信号として出力する第１の信号発生器、複数の圧電素子間の共振周波数ばらつき量を含む周波数範囲のホワイトノイズを第２の信号として発生する第２の信号発生器、第１の信号と第２の信号を乗算する乗算器、及び乗算器の出力を増幅して複数の圧電素子に印加する増幅器を備える構成とした。 （もっと読む）

【課題】同一面に極性等の信号の異なるパッド電極を配置した場合であっても、パッド電極間の短絡を防止することを可能とする圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】圧力センサー１の感圧素子層１００は、一辺を二分するように切り欠くスリット１２６が設けられ、一方の主面側であってスリット１２６により隔離された位置に夫々設けられ、スリット１２６により一対の接続部が分離して配置され、前記一対の接続部は少なくとも一部がダイアフラム層２００よりも外側へ露出しており、一対の接続部の一方の主面側に夫々設けられた互いに信号の異なる第１パッド電極３４、第２パッド電極３６と、前記一対の接続部の一方に設けられ厚さ方向に貫通する貫通孔１３４と、貫通孔１３４の内部に設けられた導通手段１３５とを備え、前記一対の接続部の他方の主面に設けられた引出し電極１０９は、導通手段１３５により引出し電極１０９と極性が同じ第１パッド電極３４とを電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、励振電極と実装端子とが互いに重ならないように形成され、励振電極と実装端子との間の静電容量が小さくされた圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電デバイス（１００）は、主面に一対の励振電極（１３４）が形成され矩形形状を有する圧電振動部（１３１）と励振電極から引き出された一対の引出電極（１３５）を有し圧電振動部を取り囲む外枠部（１３２）と圧電振動部と外枠部とを連結する連結部（１３３）とを有する圧電振動片（１３０）と、外枠部の片面に接合する第１面と第１面の反対側で一対の引出電極と導通する一対の実装端子（１２４）が形成された第２面とを有するベース板（１２０）と、を備え、主面の法線方向から見た状態で、励振電極と重なり合わないように実装端子が形成されている。 （もっと読む）

【課題】振動子内に共振周波数制御機構を組み込むことが容易で、かつ広い周波数帯域での共振周波数制御が可能な微小機械振動子を提供する。
【解決手段】微小機械振動子は、シリコン基板１上に形成されたシリコン酸化膜２と、シリコン酸化膜２上に形成された電極４，５と、一端が電極４に接続され、電極４およびシリコン酸化膜２で固定されていない一部が開口部６内に突出するように形成される振動子部７と、一端が電極５に接続され、電極５およびシリコン酸化膜２で固定されていない方の先端部が開口部６内に突出した振動子部７の先端部と対向するように形成される制御極部８とを備える。 （もっと読む）

【課題】振動腕の断面に工夫をすることにより、振動特性を損なうことなく、また、一般の露光装置を用いることが可能とされる、対向側面に長さ方向に分割された電極を備えた音叉型圧電振動片を提供することを課題とする。
【解決手段】音叉型圧電振動片１は、基部２と、この基部２の両端からこれと直角方向に、且つ、同じ側に延出した一対の平行な振動腕３が一体的に形成され、各振動腕３の側面３２であって、表裏の主面３１を除いた側面３２のそれぞれは、振動腕３の長さ方向に沿って、互いに平行であるが互いにずれている２つの段差平面３３とこの２つの段差平面３３を結ぶ遷移面３４を有しており、段差平面３３のそれぞれには、遷移面３４上の非電極部５によって互いに隔てられている電極４がそれぞれ形成されている。 （もっと読む）

【課題】 振動領域における励振電極及び引出電極が均一の厚さで形成され、不要な振動の発生及び振動特性の劣化が防止できる圧電振動片を提供することを目的とする。
【解決手段】 圧電振動片（１０）は、第１厚さ（ｄ１）の励振電極（１０２ａ、１０２ｂ）が中央領域に形成された振動部（１０１）と、振動部を囲み振動部と空隙（１０５）を介して形成された外枠部（１０８）と、振動部と外枠部とを連結する連結部（１０４ａ、１０４ｂ）と、振動部、連結部及び外枠部に形成され励振電極から引き出された引出電極（１０３ａ、１０３ｂ）と、を備える。引出電極は、振動部ですべてが第１厚さを有し外枠部では第１厚さよりも厚い第２厚さ（ｄ２）を有する。 （もっと読む）

【課題】 薄膜形成時における熱膨張を面内一定にし、基板上に形成された形状を高精度に視認できる振動体デバイスの製造方法を提供する事を目的とする。
【解決手段】 電極用金属膜付着工程において、基板を点支持し、電極用金属膜の膜付けを行い、電着フォトレジスト工程の前に、電極用金属膜付着工程で付着した電極用金属膜を、電圧が印加される第１領域と、基板上のアライメントマークの周辺を含む第２領域とを、レーザートリミングにより電気的に分離し、電極用金属膜を電極として電着フォトレジストを付着することにより、電気的に分離された第２の領域には電着フォトレジストが付着しないので、基板上に形成されてた形状が明瞭に認識できるようになる。 （もっと読む）

【課題】同一面に極性等の信号の異なるパッド電極を配置した場合であっても、パッド電極間の短絡を防止することを可能とする圧電デバイス、圧電モジュール、電子機器、電子システム及び圧電デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】圧力センサー１の感圧素子層１００は、一辺を二分するように切り欠くスリット１２６が設けられ、スリット１２６により一対の接続部が分離して配置され、前記一対の接続部は、少なくとも一部がダイアフラム層２００よりも外側へ露出しており、感圧素子層１００は、一対の接続部の一方の主面側に夫々設けられた互いに極性の異なる第１パッド電極３４、第２パッド電極３６と、一対の接続部のうちの何れか一方の接続部の側面に設けられ、他方の主面に設けられた第１引出し電極１０９と、該引出し電極１０９と極性が同じ第１パッド電極３４とを電気的に接続する側面電極１３４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】逆相の屈曲モードで振動する超小型の音叉型圧電振動子を提供する。
【解決手段】基部部分に接続された少なくとも第１及び第２音叉腕とを備えて構成され、音叉腕の各々の一端部が基部部分に接続され、他端部が自由であり、各々の上面と下面の少なくとも一面に溝が形成され、基本波モード振動の品質係数Ｑ_ｍ１、共振周波数ｆ_ｍ１、等価直列抵抗Ｒ_ｍ１、等価容量Ｃ_ｍ１と２次高調波モード振動の品質係数Ｑ_ｍ２、共振周波数ｆ_ｍ２、等価直列抵抗Ｒ_ｍ２、等価容量Ｃ_ｍ２を備え、振幅係数ｋａ_２１がｋａ_２１＝（ｆ_ｍ１Ｒ_ｍ１Ｃ_ｍ１^１／２）／（ｆ_ｍ２Ｒ_ｍ２Ｃ_ｍ２^１／２）で定義され、かつ、安定係数Ａ_ｓ１２がＡ_ｓ１２＝（Ｃ_ｍ２Ｑ_２^２）／（Ｃ_ｍ１Ｑ_ｍ１^２）で定義される時、安定係数Ａ_ｓ１２が０．０５２９＜Ａ_ｓ１２＜０．３３３の範囲内、かつ、振幅係数ｋａ_２１が０．２３＜ｋａ_２１＜０．５７７の範囲内にある。 （もっと読む）

【課題】水晶振動素子の一方の励振電極のみに感応膜を容易に形成することができる感応膜形成用ジグと、感応膜が形成され所定の物質を検出するＱＣＭセンサ素子の検出精度を向上させることができる感応膜形成方法を提供する。
【解決手段】基部と脚部と固定部とからなる保持具に搭載されている水晶振動素子の一方の励振電極に感応膜を形成するときに用いる感応膜形成用ジグであって、第一のジグと第一のＯリングと第二のＯリングと第二のジグとから構成されており、第一のＯリングが第一のジグと水晶振動素子の水晶片とで挟まるように第一のジグに搭載され、第二のＯリングが第一のジグと第二のジグとで挟まれるように水晶振動素子が搭載されている第二のジグに搭載され固定することができ、水晶振動素子を搭載したときに、第一のＯリングに形成されている
貫通溝によって水晶振動素子の一方の励振電極のみが露出する構造となっていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧電体材料を効率良く利用して、均質な厚みの極薄圧電膜を形成することができる、複合圧電基板の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電体基板２の表面２ａからイオンを注入して、圧電体基板２内において表面２ａから所定深さの領域に欠陥層４を形成する。圧電体基板２の表面２ａに支持基板１０を接合して基板接合体４０を形成する。基板接合体４０を、圧電体基板２内に形成された欠陥層４で分離して、圧電体基板２の表面２ａと欠陥層４との間の剥離層３が圧電体基板２から剥離されて支持基板１０に接合された複合圧電基板３０を形成し、複合圧電基板３０の剥離層３の表面３ａを平滑化する。イオン注入後に、複合圧電基板３０の剥離層３の分極処理を行う。 （もっと読む）