【課題】高精度に水晶振動子の外形パターンを形成する水晶振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】水晶ウェハ１の主表面に耐蝕膜３を成膜する工程と、第一主表面の耐蝕膜３上に第一レジスト４ａを、第二主表面の耐蝕膜上に第二レジスト４ｂを塗布する工程と、第一主表面の製品領域外に、アライメントマーク５を露光する工程と、第一レジスト４ａを現像し、耐蝕膜３を露出させ、アライメントマーク５を形成する工程と、形成したアライメントマーク５を用いて第一主表面に水晶振動子の外形パターンを露光する工程と、前記アライメントマーク５を用いて第二主表面に水晶振動子の外形パターンを露光する工程と、第一レジストと第二レジストとを同条件で現像する工程とする。 （もっと読む）

【課題】 音叉型圧電振動片の製造途中において破損しにくくするとともに、音叉型圧電振動子を衝撃または振動に強くした音叉型圧電振動片または音叉型圧電振動子を提供する。
【解決手段】 音叉型圧電振動片（２０）は、第１厚さ（Ｄ２）の基部（２９）と、第１厚さよりも薄い第２厚さ（Ｄ１）で基部の一端部より突出して形成される第１および第２の振動腕と（２１）、を有する。また、この音叉型圧電振動片を利用した圧電振動子（５０）を提供する。 （もっと読む）

【課題】広い離調度調整範囲を確保すると共に、水晶振動子ごとの特性に合わせた離調度調整や漏れ調整を水晶ウェハー上で一括して行う水晶振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】水晶を所定の外形形状に加工する外形形成工程ＳＴ１と、水晶振動子に電極を形成する電極形成工程ＳＴ２と、電極を形成した水晶振動子の離調度を測定する離調度測定工程ＳＴ３と、離調度測定工程の測定結果に基づいて、基部と検出脚の接続部分の近傍に形成された電極を所定形状に加工する電極加工工程ＳＴ５と、電極加工工程で加工された電極をマスクにして水晶振動子をエッチングにより削るエッチング工程ＳＴ６を有する水晶振動子の製造方法とした。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、振動部が広くなるように貫通溝が形成されたＡＴカットの水晶振動片、水晶デバイス及び水晶振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】 ＡＴカットの水晶振動片（１１０）は、長辺方向をＸ軸、厚さ方向をＹ’軸、短辺方向をＺ’軸として規定されたＡＴカットの水晶振動片であって、電圧の印加により振動する水晶振動部（１１１）と、水晶振動部を囲むように形成された枠部（１１２）と、水晶振動部と枠部との間に形成されＹ’軸方向に貫通した貫通溝（１１３）と、を備え、貫通溝はＸ軸方向に伸びる水晶振動部の＋Ｚ’軸方向に形成された第１貫通溝（１１３ａ）と−Ｚ’軸方向に形成された第２貫通溝（１１３ｂ）とを含み、第１貫通溝と第２貫通溝とのＺ’軸方向の幅が異なる。 （もっと読む）

【課題】生産性の良い圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】複数の圧電素子２が一体的に形成された圧電素子ウエハ１を、予め表面に導電性接着剤等の接合部材６が配されたベース基板５に突き合せて配置し、その状態で加熱処理等を適宜行うことにより接合部材６を溶着又は固化させて圧電素子２をベース基板５に接合し、その後、レーザー等により圧電素子２を圧電素子ウエハ１から分離させた上で、圧電素子２のみをそのままベース基板５上に残す形で、それ以外の領域の圧電素子ウエハ１をベース基板５上から取り除く。 （もっと読む）

【課題】懸架された膜を含む弾性波共振器の製作方法を提供する。
【解決手段】第一の基板表面上にある第一圧電材料の少なくとも１つの層を含む第一の堆積を作るステップと、少なくとも１つの第二の基板を含む第二の堆積を作るステップと、次の接合ステップの前に、堆積のうちの一つの表面を、突き出たナノ構造物が局部的に与えられたままにしている、抑制された大きさの粒子の堆積又は生成により、少なくとも１つの非接合の開始領域を作るステップと、非接合の開始領域の存在に起因する、堆積同士の間に気泡を作り出す、２つの堆積をダイレクトボンディングするステップと、少なくとも第一の基板を除去するための、第一の堆積の薄層化ステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】輪郭すべり振動に基づく副振動の発生を抑えること。
【解決手段】厚みすべり振動を主振動とする圧電体をなす水晶片３０の両面に夫々励振電極３１，３２が形成された水晶振動子３において、前記水晶片３０の輪郭に沿って、水晶よりも音響抵抗が大きい材質例えばガラスにより環状の振動吸収部材４を形成する。この振動吸収部材４により輪郭すべり振動の発生が抑制される。 （もっと読む）

【課題】安定した振動特性を有するＭＥＭＳ振動子を提供する。
【解決手段】本発明に係るＭＥＭＳ振動子１００は、基板１０と、基板１０の上方に形成された第１電極２０と、基板１０の上方に形成された支持部３２、および支持部３２に支持されており第１電極２０の上方に配置された梁部３４を有する第２電極３０と、を含み、平面視において、梁部３４は、前記第１電極２０と重なる領域で支持部３２から梁部３４の先端３４ａに向かう方向において、幅Ｗが単調減少する形状である。 （もっと読む）

【課題】小型で、オーバーエッチングにより所定の周波数からの周波数偏差の少ない圧電振動素子を得る。
【解決手段】複数の棒状の振動腕１５ａ、１５ｂ、各振動腕１５ａ、１５ｂの一方の端部間を連接する基部１２、各振動腕１５ａ、１５ｂの他方の端部に夫々形成され各振動腕１５ａ、１５ｂよりも幅広の錘部２０ａ、２０ｂ、及び、各振動腕１５ａ、１５ｂの振動中心線Ｂに沿った表面及び裏面に夫々形成された溝部１７ａ、１７ｂ、を備えた圧電基板１０である。更に各溝部内を含めた各振動腕の表裏面に夫々形成された励振電極３０〜３６を備え、各錘部２０には夫々表裏面を貫通し、且つ前記各振動腕の長手方向に沿って直線状に延びる周波数調整用スリット２５が、複数本形成される。 （もっと読む）

【課題】空洞内に位置する可動部を品質良く作動できる電子装置を提供する。
【解決手段】基板２上の側壁部２３及び第１封止層３０に覆われた空洞部３３内に位置する可動部７ｂと、空洞部３３内に設置され空洞部３３内の気体を吸着する第１ゲッター部３４及び第２ゲッター部３５と、基板２と対向する場所に位置する第１封止層３０及び第２封止層３２と、を備え、第１封止層３０は第１孔３０ａ及び第２孔３０ｂを有し、第２封止層３２は第１孔３０ａ及び第２孔３０ｂを封止する。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ構造体の可動部が固定部に密着するときにも可動部と固定部とを離すことができる電子装置を提供する。
【解決手段】基板２上の包囲壁２６及び第１封止層３３に覆われた空洞部３６内に位置する可動部７ｂと、可動部７ｂと対向する場所に位置する第１封止層３３と、を備え、可動部７ｂは基板２と第１封止層３３との間に位置し、可動部７ｂと第１封止層３３とは少なくとも一部が導電体である。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ構造体が内在する空洞部を覆う被覆部の外にエッチング液が流出し難い構造の電子装置を提供する。
【解決手段】基板２上の空洞部３３内に位置し電気駆動される振動素子５と、空洞部３３の周囲を取り巻く絶縁層２９と空洞部３３とを画成する電気伝導性の包囲壁２５と、振動素子５と接続し包囲壁２５を貫通する第１配線８及び第２配線９と、を有し、第１配線８及び第２配線９が包囲壁２５を貫通する場所には絶縁層２９を溶解するエッチング液が空洞部３３から絶縁層２９に流動することを防止し包囲壁２５と第１配線８及び第２配線９とを絶縁する第１耐食絶縁膜１９及び第２耐食絶縁膜２０を備える。 （もっと読む）

【課題】作業効率が高く、生産性を向上できる圧電振動片の製造方法の提供。
【解決手段】レジスト膜を圧電振動片の外周形状に対応する様に第１露光する工程（Ｓ３）と、第１露光された前記レジスト膜を第１現像する工程（Ｓ４）と、前記第１現像された前記レジスト膜を１段目のメサ部の外周形状に対応する様に第２露光する工程（Ｓ６）と、前記第２露光された前記レジスト膜を剥離液に浸漬して、前記レジスト膜の第１表面層を除去する工程（Ｓ８）と、前記第１表面層が除去された前記レジスト膜を第２現像する工程（Ｓ９）と、前記第２現像された前記レジスト膜を、２段目のメサ部の外周形状に対応する様に第３露光する工程（Ｓ１１）と、前記第３露光された前記レジスト膜を剥離液に浸漬して、前記レジスト膜の第２表面層を除去する工程（Ｓ１３）と、前記第２表面層が除去された前記レジスト膜を第３現像する工程（Ｓ１４）と、を含む圧電振動片製造方法。 （もっと読む）

【課題】機械的強度が高く、量産性に優れた圧電基板およびその製造方法を提供する。
【解決手段】圧電基板１００は、ＡＴカット水晶基板をからなる圧電基板であって、Ｘ軸およびＺ´軸を含む面であって、表裏の関係にある＋Ｙ´側に位置する第１主面１２および−Ｙ´側に位置する第２主面１４を有する素子形成部１０と、素子形成部１０の外縁を囲む枠体部２０と、を含み、枠体部２０は、素子形成部１０を介してＸ軸方向に対向する第１部分２１および第２部分２２と、素子形成部１０を介してＺ´軸方向に対向する第３部分２３および第４部分２４と、を有し、第１部分の＋Ｙ´面の幅１ａ、第２部分の前記＋Ｙ´面の幅２ａ、第３部分の＋Ｙ´面の幅３ａ、第４部分の＋Ｙ´面の幅４ａは、１ａ＞２ａ＞４ａ、１ａ＞３ａ＞４ａの関係を満たす。 （もっと読む）

【課題】溝が形成された振動脚を有する水晶振動子片の製造方法において、振動脚の外形形状を形成する第１のエッチング工程と振動脚の外形形状と溝形状を形成する第２のエッチング工程を行うとき、第１のエッチング工程により溝形状に対応するレジストパターンが損傷を受ける。このレジストパターンをもとに形成される溝形状に対応する金属パターンも損傷を受け、この金属パターンをマスクにする第２のエッチング工程で水晶振動子片の表面が損傷を受ける。
【解決手段】溝形状に対応する金属パターンを形成するとき、上層の金属層のみをエッチングしクロム層を残すことにより第２のエッチング工程に要するエッチング時間を長くして、その分第１のエッチング工程に要する時間を短くする。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動子の電気特性を精度良く測定し、リード線が電気特性に与える影響が小さい圧電振動子の測定方法および測定装置を提供すること。
【解決手段】 圧電セラミックスの対向する面にそれぞれ電極が形成され、前記電極に電気信号を入出力するリード線が電気的に接続された圧電振動子１の測定方法であって、リード線５の少なくとも一部を横断するように弾性体４で狭持する。 （もっと読む）

【課題】マスク部材を誤配置した状態でレジストパターンを形成することを防止して低コスト化を図ること。
【解決手段】レジストパターン形成工程は、一の電極膜用に用意されたマスク部材に形成されたマスク側マークを、マスク部材に対応するウエハ側マークＳ３、Ｓ４に位置合わせしながらマスク部材をウエハＳに配置し、マスク側マークはマスク部材を貫通する露出開口からなるとともに、該露出開口の平面視形状は複数のマスク部材ごとに異なり、複数のウエハ側マークＳ３、Ｓ４はそれぞれ凹部Ｓ５、Ｓ６からなり、該凹部Ｓ５、Ｓ６の平面視形状は、該ウエハ側マークＳ３、Ｓ４が対応するマスク部材における露出開口の平面視形状と同等となるように、複数のウエハ側マークＳ３、Ｓ４ごとに異なり、レジストパターン形成工程は、露出開口から凹部Ｓ５、Ｓ６を露出させマスク側マークをウエハ側マークＳ３、Ｓ４に位置合わせする圧電振動片の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ベース又は水晶振動片に形成された電極の幅を調節することによりＣＩ値が制御される水晶デバイスの製造方法及び水晶デバイスを提供する。
【解決手段】 励振電極（１０１）と励振電極から引き出された引出電極（１０２）とを有し、励振電極への電圧印加により厚みすべり振動する水晶振動片（１０）を載置した水晶デバイスの製造方法において、外部電極を含む実装面と実装面の反対側で外部電極に接続された接続電極を含む底面とを有するベース部に水晶振動片を載置する載置工程と、載置工程後、外部電極から抵抗値を測定する工程と、抵抗値が閾値よりも低い場合に、引出電極又は接続電極の最小幅（櫛歯の場合には合計した幅）の領域にレーザを照射して最小幅をさらに細くするレーザ照射工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】マスク部材を誤配置した状態でレジストパターンを形成することを防止して低コスト化を図ること。
【解決手段】レジストパターン形成工程は、一の電極膜用に用意されたマスク部材に形成されたマスク側マークを、ウエハＳに形成された複数のウエハ側マークＳ３、Ｓ４のうち、該マスク部材に対応するウエハ側マークＳ３、Ｓ４に位置合わせしながらマスク部材をウエハＳに配置し、マスク側マークは互いに間隔をあけて形成された一対のマーク部からなるとともに、該一対のマーク部間の間隔は複数のマスク部材ごとに異なり、複数のウエハ側マークＳ３、Ｓ４はそれぞれ、互いに間隔をあけて形成された一対の凹部Ｓ５、Ｓ６からなるとともに、該一対の凹部Ｓ５、Ｓ６間の間隔は、該ウエハ側マークＳ３、Ｓ４が対応するマスク部材における一対のマーク部間の間隔と同等となるように複数のウエハ側マークＳ３、Ｓ４ごとに異なる圧電振動片の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】製造効率を向上できるとともに、割れや欠け等の発生を抑えて歩留まりを向上できるウエハ外周面の研磨方法、圧電振動片の製造方法、圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器、及び電波時計を提供する。
【解決手段】一対の研削テーブル２０５によりウエハＷを厚さ方向両面側から挟持するウエハセット工程と、砥石２０２を、長手方向がウエハＷの厚さ方向に沿うように配置して、ウエハＷの外周面Ｗ１に当接させる当接工程と、研削テーブル２０５によりウエハＷを回転させつつ、砥石２０２を長手方向に沿って往復走行させ、ウエハＷを研磨する研磨工程と、を有していることを特徴とする。 （もっと読む）