【課題】真空処理装置が大型化すると上蓋開閉に必要な動作範囲が広がり、真空処理装置が設置される空間の天井高さなどに制約を与えることになっていた。また、交換作業時において上蓋等開けた状態に対応できる空間（作業範囲）の確保が必要であり、真空処理装置の周辺には、作業スペースを広げる必要があった。
【解決手段】被処理基板を真空処理する真空容器と、真空容器の開口部を開閉する蓋部材と、蓋部材を真空容器に対して着脱自在に並進移動させる昇降機構と、蓋部材に配置された処理部材を、蓋部材の上方で処理部材のみを表裏反転させる昇降回転機構とを備えて、
処理部材には、被処理基板に対向することにより真空処理を行う構造物が配置されている。 （もっと読む）

【課題】加水分解能を上げて、硝酸の回収率を上げる。
【解決手段】硝酸塩を含有する廃液から硝酸を分離して回収する廃液からの硝酸回収方法であって、前記廃液を亜臨界水状態にして加水分解し、前記廃液の加水分解により生成した硝酸と金属酸化物を含む混合液から固液分離手段により硝酸を分離して回収する。 （もっと読む）

【課題】 有機廃棄物の煮熟処理を、より十分に且つ迅速に行うことが出来る有機廃棄物の処理技術を提供する。
【解決手段】 有機廃棄物１２が内部に収容される収容体１４に、有機廃棄物１２を撹拌するための撹拌手段８２，９０, ９２，９４, ９８を設けると共に、高温高圧加熱蒸気を収容体内に供給する加熱蒸気供給手段６８，７０，７２を設け、更に、かかる加熱蒸気供給手段６８，７０，７２による収容体１４内への高温高圧加熱蒸気の供給に先立って、収容体１４内を減圧する減圧手段７５ｃ，７８，８０を設けて、減圧状態の収容体１４内において、収容体１４内に収容された有機廃棄物１２を撹拌しつつ、高温高圧加熱蒸気に接触せしめて煮熟処理するように構成した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、超臨界水を処理できる超臨界水の処理装置及び超臨界水の処理方法に関する。
【解決手段】超臨界状態では、水は液体と気体の区別のつかない状態の単一相となっている。浸透が超しやしく、物質を吸収可能とする有効成分で有害な触媒化合による物理的処理をすることによって化合反応が実現でき、本超臨界水処理装置及び超臨界水の処理方法を備える。 （もっと読む）

【課題】 反応器の付着物の除去を効率的且つ確実に行うことが可能な処理装置を提供すること。
【解決手段】 本発明によれば、水熱反応で被処理物の分解を行う処理装置２００において、被処理物処理を終えた反応器６内に洗浄媒体２４を衝突させることで、反応器６に付着した未反応物や分解生成物を物理的に除去することを特徴とする処理装置が提供される。好ましくは、気流を発生させる気流発生手段２０を備え、洗浄媒体２４は、可撓性を有し、気流により飛翔する薄片状の洗浄媒体であり、薄片状の洗浄媒体２４は、気流発生手段２０が発生する気流により、取り外した使用済み反応器６内に衝突される。 （もっと読む）

【課題】小型でエネルギー効率に優れ、半連続的な処理を行なうことにより充分な量の試料を処理することができ、かつ確実に重金属を除去することができる重金属除去装置を提供する。
【解決手段】ホタテ等の加工残渣を収容するホッパ１０と、ホッパ１０からホタテ加工残渣が供給される反応槽１２と、反応槽１２へ亜臨界水領域の高温高圧水蒸気を吹き込んでホタテ加工残渣に相変化潜熱を利用した急速加熱による亜臨界水処理を行うための高温高圧蒸気発生器１３と、ｐH調整手段と、ホタテ等の加工残渣の脱水処理を行う遠心脱水機１６と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明では、平均一次粒子径、組成等の制御をして、金属、半金属、金属化合物及び半金属化合物の少なくとも１種を含む微粒子を製造する方法及び装置を提供する。
【解決手段】減圧容器内で、少なくとも１種の金属及び／又は半金属を含有する原料を加熱して蒸発させ、蒸発させた原料を、プラズマ雰囲気を介して、微粒子として液体媒体の表面に付着させ、得られた付着物を回収することを含む、微粒子の製造方法とする。また、減圧容器１７、原料を加熱して蒸発させる原料加熱部１１、液体媒体１５を流動させる液体媒体流動部１７、雰囲気ガスを導入する雰囲気ガス導入部１８、並びにプラズマ発生部１２を有する、微粒子製造装置１００とする。 （もっと読む）

【課題】粒子径が小さく結晶性に優れた粉体を製造すること。
【解決手段】反応環境生成工程において、原料と、水単独の場合よりも低い圧力および温度で超臨界状態になる溶媒とを混合させて作製されたスラリーを加熱する。そして、少なくとも加熱することにより昇温および昇圧させたスラリーに水を含む反応加速剤を混合させて、亜臨界状態または超臨界状態の反応環境を生成する。粉体生成工程においては、生成された反応環境にスラリーを所定時間滞在させて粉体の粒子を生成するとともに、所定時間が経過した後、粉体粒子の成長を停止させる。 （もっと読む）

【課題】真空処理装置の真空処理室内部のメンテナンス性を改善する。
【解決手段】真空処理装置１は、被処理物１０７を収容して真空処理を施す第１の処理室１０１と、真空処理される前の被処理物と、真空処理された後の被処理物と、を収容する真空排気可能な第２の処理室１０２と、第１の処理室と第２の処理室との間に、第１の処理室と着脱可能に介装されるゲート部１０３と、ゲート部１０３を通じて、真空処理される前の被処理物を搬入部１０８から真空処理部１０４へと搬入し、真空処理された後の被処理物を真空処理部１０４から搬出部１１９へと搬送する搬出する搬送装置２０２と、第１の処理室と第２の処理室とを離間させる移動機構２００とを備える。 （もっと読む）

【課題】高い生産性で粉体を合成することができる粉体の合成方法を提供する。
【解決手段】原料と溶媒が混合された原料スラリーを加圧及び加熱する工程と、加圧及び加熱した原料スラリーと、水を含む反応加速剤を別々に反応経路に供給し、亜臨界または超臨界状態で反応させる反応工程と、反応したスラリーを冷却により反応を止める冷却工程と、を有することで、水単独の場合よりも超臨界状態とするための臨界条件を緩和できるようにし、さらに、スラリーの割合を高くできるようにした。 （もっと読む）