国際特許分類［B05C9/08］の内容
処理操作；運輸 (1,245,546) | 霧化または噴霧一般；液体または他の流動性材料の表面への適用一般 (41,198) | 液体または他の流動性材料を表面に適用する装置一般 (13,956) | グループ１／００から７／００に包含されない手段によって表面に液体もしくは他の流動性材料を適用する装置または設備，または液体もしくは他の流動性材料を適用する手段が重要でないような装置もしくは設備 (1,454) | 液体または他の流動性材料を適用しかつ補助操作を行なうためのもの (1,360)
国際特許分類［B05C9/08］の下位に属する分類
補助操作が適用前に行なわれるもの (150)
補助操作が適用後に行なわれるもの (525)
補助操作に加熱作用を含むもの (606)
国際特許分類［B05C9/08］に分類される特許
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液滴吐出装置、パターンの形成方法、および半導体装置の製造方法
本発明では液滴吐出装置から吐出された液滴が基板に着弾した後の位置制御を改善することが可能なパターンの作製方法を提供する。また着弾後の液滴位置精度を改善することが可能な液滴吐出装置を提供する。更には、本発明の液滴吐出装置を用いた半導体装置の製造方法を提供する。
本発明は、吐出部から吐出された液滴、又は液滴を着弾する基板にレーザ光を照射して、液滴の着弾位置を制御することを特徴とする。本発明によりフォトリソグラフィー工程を用いることなくパターンを形成することが可能である。 
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塗布装置及び塗布方法及び塗布処理プログラム
【課題】 塗布処理時に発生する被処理基板上の静電気を適切かつ効率的に除去すること。
【解決手段】 このレジスト塗布ユニット（ＣＴ）８２は、塗布処理時に基板Ｇの被処理面上に発生する静電気を除去するために接地式の除電部１６０を備えている。この除電部１６０は、片側のスライダ１３２の上に搭載または取付されており、保持部１３６に保持されている基板Ｇの一側縁部の非塗布領域ＮＥにて金属膜ＧＭに接触可能な可動の接触子１６２と、この接触子１６２を復動位置と往動位置との間で移動操作するためのアクチエータ１６４と、接触子１６２を電気的にグランド電位に接続するためのアース線１６６とを有する。
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パターン形成方法、パターン形成システム、並びに電子機器
【課題】 リールツーリール方式と液滴吐出方式とを用いたパターン形成技術を確立する。
【解決手段】 リールツーリール方式と液滴吐出方式により、帯状基板上にパターンを形成する。そして、液体材料を配置する空間に隣接する空間での所定処理の間、液体材料の配置を休止する。
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パターン形成方法、パターン形成システム、並びに電子機器
【課題】 リールツーリール方式と液滴吐出方式とを用いたパターン形成技術を確立する。
【解決手段】 液滴吐出方式により帯状基板１１に液体材料を配置する液滴吐出装置２０と、液滴吐出装置２０の処理空間の気圧を隣接空間に対して高く制御する気圧制御装置２２とを有する。
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描画装置
【課題】印字前のメディアの表面を活性化させ、印字後のインクの密着性を高め、高精度の印字ができるようにする。
【解決手段】描画装置は、インク吐出型の印字ヘッドを搭載したヘッド部とテーブルとを備え、前記ヘッド部を前記テーブルに対して移動して該ヘッド部の印字ヘッドによってテーブル上のメディアに印字を行う。この描画装置は、前記ヘッド部にその移動方向に沿った方向の両側又は片側に位置させて紫外線照射装置を設けている。この紫外線照射装置によって印字前のメディアに紫外線を照射し、メディアの表面を活性化させる。
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非導電性流体液滴の特定化装置及び方法
流体液滴の生成用装置及び方法は、ノズルチャネル(20)、特定用電極と流体のやり取りをする非導電性流体の加圧源(64)及び刺激用電極(100)を有する。加圧源は、ノズルチャネルを介して非導電性流体のジェットを生成するように動作させることが可能である。刺激用電極の少なくとも一部(112)は、導電性を有し、非導電性流体ジェット(63)の一部と接触可能である。刺激用電極の前記少なくとも一部の導電性かつ接触可能部分は、第1電荷を非導電性流体ジェットの第1部分の領域に移し、かつ第2電荷を非導電性流体ジェットの第2部分の領域に移すように動作させることが可能である。
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塗布膜形成装置
【課題】 基板に塗布液を滴下した後、基板を回転させ塗布膜を形成する塗布膜形成装置において、高粘度の塗布液を使用した場合、膜厚が不均一になるという問題と塗布液中に気泡の巻き込みが生じるという問題があった。
【解決手段】 塗布膜形成装置に駆動モーター１、回転軸２、スピンチャック３からなる駆動部と、塗布液滴下ノズル５からなる塗布液供給部と、およびエアーブローノズル８からなる空気吹き付け部を設けるとともに、基板４の識別情報に基づく製造条件を記憶するメモリー部１１と、メモリー部１１から読み出した製造条件を各動作部に設定し、各部の動作を制御する制御部１２を設置する。
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電気的浸潤法を用いた医療用具のコーティング方法、上記方法を用いるためのシステム、及び上記方法により製造された用具
医療用具の少なくとも一部をコーティングする方法が提供される。上記医療用具は、上記絶縁層上の電極上に位置する絶縁層を有する。上記方法は、上記医療用具の少なくとも一部上に、液状薬剤を配置させる段階を含む。上記方法は、上記電極に静電電位を加える段階、そして上記液状薬剤に別の静電電位を加える段階をさらに含む。上記方法により適用されたコーティングを有する医療器具が提供される。液状コーティングを医療用具に適用するためのシステムが提供される。 
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処理液塗布装置
【課題】前処理液又は後処理液をターゲットに容易に塗布して、ターゲットに対して種週の処理を容易に行うことができる処理液塗布装置を提供する。
【解決手段】案内軸１８に、前処理液吐出ヘッド２１ａを有した前処理液用キャリッジ２１と、後処理液吐出ヘッド２２ａを有した後処理液用キャリッジ２２とを摺動可能に設ける。駆動モータ２０は、第１駆動プーリ１２又は第２駆動プーリ１５に選択的に駆動力を伝達する。第１駆動プーリ１２は第１タイミングベルト１４を介して前処理液用キャリッジ２１に伝達されて、前処理液用キャリッジ２１を移動させる。第２駆動プーリ１５は第２タイミングベルト１７を介して後処理液用キャリッジ２２に伝達されて、後処理液用キャリッジ２２を移動させる。
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