【課題】塗布後の膜面上のガス濃度を早期に安定させ、塗布直後の初期乾燥過程で発生する斑を顕著に抑制し、均一な膜を形成することができる塗布膜の形成方法および形成装置を提供する。
【解決手段】走行するウエブ１２に、塗布手段２０を用いて有機溶剤を含む塗布液を塗布する塗布工程と、乾燥ゾーン１４にて該塗布液の溶媒を蒸発させる初期乾燥工程と、さらに、該塗布液に温度をかけ揮発分を乾燥する本乾燥工程と、を行う塗布膜の形成方法において、塗布手段２０と乾燥ゾーン１４との区間である塗布部１２２の長さが、ウエブ１２の走行方向において１００〜３０００ｍｍであり、塗布部１２２の圧力が、乾燥ゾーン１４および塗布前室１１０の圧力より加圧となっていることを特徴とする塗布膜の形成方法である。 （もっと読む）

【課題】液状材料の塗布時点で、塗膜形成対象物の貫通穴内部へ液状材料の侵入をより確実に防止する塗膜形成方法及び塗膜形成装置を提供すること。
【解決手段】塗膜形成対象物１の塗布面３に塗膜１０を形成する際に、塗布面３側の気圧より反対面４側の気圧を高くし、貫通穴２内に塗布面３側へ向かう空気７の流れを発生させた状態で、スプレーノズル８から液状材料９を噴出させる。空気７の流れにより、液状材料９が貫通穴２内に入り込むことを防止する。 （もっと読む）

【課題】切欠き部を有するウェハーをホットプレートで加熱しながらスプレーコートするレジスト塗布装置において、ウェハー面内の温度ムラが発生することを防ぐ。
【解決手段】本発明のレジスト塗布装置は、ウェハー２を吸引保持し、ウェハー２を加熱しながら回転させる、ウエハー２の切欠き部より小さな半径の回転ホットプレート３と、回転ホットプレート３の周囲に配置した固定ホットプレート４と、回転するウェハー２上にレジストをウェハー２の半径方向に直進移動もしくは円弧移動しながら噴霧するスプレーノズル１を備えている。スプレーノズル１からウェハー２の切欠き部に噴霧されたレジストは固定ホットプレート４に設けられたレジスト排出溝８に落ちて排出され、ホットプレートへのレジストの付着を防ぐ。 （もっと読む）

【課題】二流体ノズルにおいて簡単な構造で液滴を効率よく帯電させる。
【解決手段】基板処理装置は、基板に処理液である純水の液滴を噴出する二流体ノズル３を備え、ノズル３は内筒部材３２および外筒部材３３を備える。ガスは気体流路である内筒部材３２内を流れ、処理液は内筒部材３２と外筒部材３３とにより構成される処理液流路を下方へと流れる。内筒部材３２の下端部３２１の下方は混合領域３０２となっており、混合領域３０２でガスと処理液とが混合されて微細な液滴が生成され、外筒部材３３の下端の噴出口３１から噴出される。気体流路内には第１電極６１が設けられ、処理液流路内には第２電極６２が設けられ、第１電極６１と第２電極６２との間に電位差が付与されることにより処理液に電荷が誘導され、帯電した液滴が生成される。ノズル３では簡単な構造で第１電極６１を処理液から隔離しつつ液滴を効率よく帯電させることができる。 （もっと読む）

【課題】２個以上のインクジェットへッドを用い、塗布液をノズル吐出口から液滴として吐出し塗布を行う塗布方法において、液滴塗布による薄膜形成時の膜厚の均一化を達成し、また、各ヘッド間の繋ぎ部において発生する塗布のタイミングラグによる膜厚不良を改善した塗布方法、また塗布装置を提供する。
【解決手段】連続する被塗布体上１０に、塗布液を、２個以上のインクジェットヘッド２１１ー２１５を使用してノズル吐出口から液滴として射出して塗布を行う際に、塗布開始と同時に塗布されたヘッド間の繋ぎ部に対し超音波発振機Ｆにより発せられる振幅を伝播させることにより塗布膜厚を均一化させる。 （もっと読む）

【課題】低コストで微細なパターンを形成可能とする。
【解決手段】パターン形成基材１０には、絶縁性を有する基板上において電極片１３が互いに離隔するようにマトリクス状に配列されており、絶縁層が複数の電極片１３を覆っている。また、パターン形成装置１は、パターン形成基材１０の複数の電極片１３に対してグランド電位と所定の正電位とを選択的に付与するドライバＩＣを備えている。そして、電位制御部が、パターン形成基材１０の絶縁層上に導電性液体３が配置された状態で、形成パターンに対応する電極片１３の電位を正電位とし、形成パターンから外れた電極片１３の電位をグランド電位とするようにドライバＩＣを制御する。さらに、転写機構３０が、絶縁層上において形成パターンに形成された導電性液体３をプリント媒体５に当接させることによってプリント媒体５に形成パターンを転写する。 （もっと読む）

【課題】パン内の水表面の揺れを抑制すると共に、加熱手段と水表面との距離変動を抑制して、湿度制御性の向上及び処理精度の向上を図れるようにした基板処理装置を提供する。
【解決手段】被処理基板に所定の処理を施すレジスト塗布処理ユニット１１と、この処理ユニットに配管３０を介して接続される外気供給ユニット２０に配設され、取り入れた外気を所定湿度に加湿する加湿器２５及び該加湿器で加湿された空気を処理ユニット内に供給する送風機２４と、を具備する基板処理装置において、加湿器は、送風機により取り入れられた水平気流の直下に位置するパン２６内に、純水２７と純水を加熱するヒータ２８を収容すると共に、気流によって生じる水面の揺れを抑制する液揺れ防止手段であるメッシュ体２９を具備する。 （もっと読む）

【課題】塗布対象物の温度を精度良く制御して塗布対象物上に均一な厚さの塗布膜を形成することができるインク塗布装置及びそれを用いたインクの塗布方法を提供する。
【解決手段】本発明は、気密的なフード６内において支持台３に支持される塗布対象物２に対してインク４を塗布するインク塗布装置であって、支持台３の表面に温度制御ガス１２を流すための凹凸状のガス流路２１が設けられている。インク４の塗布の際、所定の温度に制御された温度制御ガス１２をガス流路２１に導入することにより、塗布対象物２の温度を一定の温度に制御する。 （もっと読む）

【課題】ワイヤーバーやワイヤレスバー等のバーを用いる塗布方法において、目詰まりを防止し、これにより塗布故障を未然に防ぎ安定した長尺塗布を可能とする塗布方法、及び塗布装置を提供する。更に、それらを用いた平版印刷版材料の製造方法を提供する。
【解決手段】バー塗布装置を用いた塗布方法において、該塗布装置に超音波振動を加えつつ塗布を行なうことを特徴とする塗布方法。 （もっと読む）

【課題】被塗布面上の異物に起因する膜厚ムラを十分に低減させることができるスピンコート装置およびスピンコート方法を提供する。
【解決手段】被塗布物９が載置され、前記被塗布物９と一体化された状態で回転されるテーブル２と、前記被塗布物９に塗布液を供給する塗布液供給手段４と、前記テーブルを回転させる回転手段５と、前記被塗布物９を冷却する被塗布物冷却手段８とを備えているスピンコート装置とする。 （もっと読む）