【課題】被塗布面上の異物に起因する膜厚ムラを十分に低減させることができるスピンコート装置およびスピンコート方法を提供する。
【解決手段】被塗布物９が載置され、前記被塗布物９と一体化された状態で回転されるテーブル２と、前記被塗布物９に塗布液を供給する塗布液供給手段４と、前記テーブルを回転させる回転手段５と、前記被塗布物９を冷却する被塗布物冷却手段８とを備えているスピンコート装置とする。 （もっと読む）

【課題】塗装チャンバー内の減圧状態を一定に維持して、建材を均一に塗装することのできる塗装機を提供する。
【解決手段】塗装チャンバー２内を減圧状態にする減圧手段１により、塗装チャンバー２内に霧状の塗料Ｔを分散させ、塗装チャンバー２内に置かれた建材５の表面に塗料Ｔを付着させて塗装する塗装機において、塗装チャンバー２内の圧力Ｐを検出する圧力検出手段４と、減圧手段１の作動を制御する制御手段３とを備え、圧力検出手段４が、塗装チャンバー２内の圧力Ｐが第１の基準値Ｐ₁を超えたことを検出した場合、制御手段３は、減圧手段１の減圧力を増加させる。また、減圧手段１を、塗装チャンバー２内の減圧時に常に作動する常時減圧手段１１と、制御手段３からの指示があった場合にのみ作動する臨時減圧手段１２とから構成する。 （もっと読む）

【課題】塗布液の酸化を防止しながらコスト面および安全面を考慮した塗布方法および塗布装置を提供する。
【解決手段】ステージ上に配置されたノズル５２から吐出された塗布液をそのステージ上面に載置された基板に塗布する塗布方法である。塗布方法は、局所雰囲気生成工程を含む。局所雰囲気生成工程は、ノズル５２が塗布液を吐出する空間および塗布液が塗布された基板の塗布部位を含む塗布空間に対して局所的に所定気体を供給して、塗布液の塗布を所定の雰囲気で行う。 （もっと読む）

【課題】建築板の搬送に伴って生じる空気の流れがインクの噴射方向に悪影響を及ぼすのを防止して、建築板の所定箇所に所定のインクを正確に噴射して塗装することができる建築板の塗装装置を提供する。
【解決手段】建築板１を一方向に搬送する搬送手段２と、インク３を噴射するインクノズル４を設けて形成される塗装ヘッド５とを具備し、前記搬送手段２によって建築板１を搬送しながら前記塗装ヘッド５によってインクジェット方式で塗装するようにした建築板の塗装装置に関する。インクノズル４に対して建築板１の搬送方向の上流側にエアーカーテン６ａを形成するエアー噴出口７ａを設けて塗装ヘッド５を形成する。 （もっと読む）

【課題】塗装ヘッドや建築板がミストになったインクや建築板で跳ね返ったインクにより汚れないようにすることができる建築板の塗装装置を提供する。
【解決手段】建築板１を載置した状態で搬送するための搬送手段２と、搬送手段２の上方に配置される塗装ヘッド３とを備える。搬送手段２で搬送される建築板１の上面に対して塗装ヘッド３からインクを噴射して塗装するための建築板１の塗装装置に関する。塗装ヘッド３からのインクの噴射時に下方に向って送風するための送風手段４を塗装ヘッド３の上方に設ける。塗装ヘッド３からのインクの噴射時に搬送手段２の上側の空気を吸気するための吸気手段５を搬送手段２の下方に配設する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、スライドホッパー型のカーテン塗布において、ティーポット現象の発生を抑制することが可能な塗布方法及び塗布装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 塗布方法は、自由落下するカーテン膜１に対向すると共に、自由落下するカーテン膜１の幅方向に対して平行に棒状導電性部材５を設け、棒状導電性部材５に電圧を印加した状態でカーテン膜１を塗布する。塗布装置は、自由落下するカーテン膜１に対向すると共に、自由落下するカーテン膜１の幅方向に対して平行に設けられた棒状導電性部材５と、棒状導電性部材５に電圧を印加する電源装置６を有する。 （もっと読む）

本発明は、固定部材の接着面をホットメルト接着剤でコーティングする方法と、前記コーティング方法を実施する装置に関する。溝（２）のベース面（５）はタペット（６）によって形成され、それによってタペットの外側壁は溝（２）内で移動自在にガイドされる。溝（２）の中に接着性粉末を充てんするために使用される移動自在の容器（９）は、溝（２）に隣接して配置される。容器（９）のサイドエッジ（１０）は、作業プレート（１）をカバーする。固定部材（４）を受け入れるために使用されるスライド式プレート（１１）は、溝（２）の反対側に配置され、前記スライド式プレートはタペット（６）のための連続的な開口部（１２）をもって与えられる。固定部材（４）上に降ろされる圧力プレート（１４）をもって与えられる圧力押し出し機（１３）は、溝（２）の上方に配置される。溝（２）を加熱することに先立って固定部材を加熱するために使用される加熱場（１５）は、前記スライド式プレート（１１）から離れて配置される。
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【課題】基板上に薄膜を、インクジェット方式によって、成膜した場合、膜厚変動を抑え、材料使用効率と生産タクトの向上を図り、環境を配慮する。
【解決手段】複数のノズル９を搭載した、単一若しくは複数のインクジェット・ヘッド２が配置されたヘッド支持機構５と面方向に相対的な移動を可能とする基板搬送機構５０とで構成された薄膜形成装置を用いる。基板搬送テーブル８と、基板１に噴射塗布を行う部分とを噴射塗布成膜室としての真空槽１４で閉じ、真空ポンプによる減圧環境下で、インクジェット方式により成膜することで、膜厚変動の少ない薄膜を得る。所要に応じて、圧力調整予備室を設けて、減圧環境を作り、さらに排気系統に揮発性有機溶剤の回収装置を設けてもよい。特に配向膜の成膜に適している。 （もっと読む）

【課題】 幅規制部材の近傍における塗布液の回り込みを防いで塗布液を精度良く吐出させる技術を提供する。
【解決手段】 スロットダイ１８の先端面のうちスロットよりも下流側の下流側ダイ先端面１６Ｂは、上流側ダイ先端面１６Ａよりも支持体１４に近接した位置に配置される。スロットには幅規制部材６０が挿入され、スロットから支持体１４に向かって吐出される塗布液の塗布幅が規制される。幅規制部材６０の先端面６２は、上流側ダイ先端面１６Ａと略連続するとともに下流側ダイ先端面１６Ｂと略連続する。 （もっと読む）

【課題】パターンを形成するための工程数を削減し、その生産性を向上した液滴吐出装置、パターン形成方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置を提供する。
【解決手段】着色層領域２３の中心位置２３ｃにのみ、照射強度の鋭いピークを有した流動プロファイルを成形し、その流動プロファイルのレーザ光を、着色層領域２３に形成した液滴ＦＤに対して照射するようにした。そして、着色層領域２３の液滴ＦＤを反射領域Ｓｒに偏移させて、透過領域Ｓｔに対応する吐出面２１ａを露出する形状に変形させた。 （もっと読む）