【課題】基板の両面から塵埃を除去する作業を従来よりも短時間で行える装置を提供する。
【解決手段】装置１は、基板１００を搬送する搬送手段１０と、搬送手段１０により搬送される基板１００を挟むように上下に配置された一対の回転ブラシローラ２１および３１であって、基板１００の搬送方向Ａと交差する方向にそれぞれ延びる一対の回転ブラシローラ２１および３１とを有する。搬送手段１０は、基板１００を搬送するための第１のコンベア１１であって、一対の回転ブラシローラ２１および３１よりも上流側に配置された第１のコンベア１１と、基板１００を搬送するための第２のコンベア１２であって、一対の回転ブラシローラ２１および３１よりも下流側に配置された第２のコンベア１２とを備える。第１のコンベア１１と第２のコンベア１２とは、一対の回転ブラシローラ２１および３１が基板１００に接触可能な隙間１３をあけて配置されている。 （もっと読む）

【課題】表面処理装置において、被処理物の表面上での処理ガスの流れを調節する。
【解決手段】被処理物９を支持部２１にて処理領域に配置して支持する。第１処理ガス供給系６０Ａにて、処理ガスを被処理物９の相対的に内側の部分に供給する。第２処理ガス供給系６０Ｂにて、処理ガスを被処理物９の相対的に外周側の部分に供給する。第１処理ガス供給系６０Ａの処理ガスの供給流量と第２処理ガス供給系６０Ｂの処理ガスの供給流量を互いに連関させて調節する。好ましくは、第１処理ガス供給系６０Ａの供給流量を第２処理ガス供給系６０Ｂの供給流量より大きくする。 （もっと読む）

【課題】自体は異物の付着が問題にならない組付け部品であっても、その組付け部品を組付ける直前に異物を効率よく除去し、異物の付着が問題になる他の部品に異物が移るのを解消する。
【解決手段】異物除去装置であって、機器組立て用の作業台１０に、異物除去の対象となる組付け部品３０を取付けることが可能な弾性バー１４が設けられている。同じく作業台１０に対し、弾性バー１４の周辺の空気を吸引することが可能であるとともに、その吸引力によって弾性バー１４を繰り返し撓ませて組付け部品３０に振動を与えることが可能な吸引手段２０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】フィルム表面のゴミを十分に除去することができ、且つ、サクションロールと接触する側のフィルム表面に傷が付かないフィルム表面の異物除去装置及びフィルムの製造方法を提供すること。
【解決手段】バックアップロールがサクションロールであって、該サクションロールのフィルムと接触する表面の縦弾性率が１．０×１０^１ＭＰａ以上１．５×１０^５ＭＰａ以下であるフィルム表面の異物除去装置。 （もっと読む）

【課題】ワークに付着した粉塵類をエアブローによって除去してワークを自動的に清掃することが可能な清掃装置を提供すること。
【解決手段】エアブローノズル１は、先端に吸入口３ａが設けられた中空状ノズル本体２の内部に細長いノズルパイプ１１を挿入すると共に同ノズルパイプの先端部１１ａを吸入口３ａに臨むように配置し、ノズルパイプ１１の後端部に圧縮空気を供給するエアホース１５を接続し、ノズル本体２の排出口にルーツ式真空ポンプとフィルタとからなる真空回収装置３０に一端側を接続したフレキシブルホース２７の他端側を接続するように設けられ、産業用ロボット３５のアーム３６の先端にエアブローノズル１を装着し、エアブローノズル１をワークｗに対して移動自在に制御するように設けた。 （もっと読む）

【課題】加工点で発生した蒸発物やプラズマ、粉塵等の、基板内のデバイスを構成する部分に対する付着をより確実に防止し、デバイスとしての品質を低下させることなく薄膜積層ガラス基板の周辺部の不要な薄膜をレーザにより除去する。
【解決手段】薄膜除去装置(A)は、薄膜(51)を下側にして薄膜積層ガラス基板(5)を保持する受ピン(11)と、薄膜積層ガラス基板(5)のガラス板(50)側からガラス板(50)を通し加工部にレーザを当てて薄膜(51)の不要部分を除去するレーザ走査部(4)と、薄膜積層ガラス基板(5)の下方において非加工領域側から薄膜(51)の膜面と平行に気体を供給する気体供給部(2)と、気体供給部(2)で供給された気体と、加工部で生じた蒸発物やプラズマ、粉塵等を含む雰囲気を薄膜(51)の膜面と平行に各辺方向へ流れるように吸引する気体吸引部(3)を備えている。 （もっと読む）

【課題】操作が容易で作業効率のよい袋体の清浄装置
【解決手段】口部が開放された柔軟な袋体である袋体の内部を清掃する装置であって、該口部内に挿入される空気噴出口と、該空気噴出口から空気を噴出させる加圧手段と、該袋体の内部を流れる空気を流入させる流入口と、該流入口から空気を排出させる排出手段と、該空気噴出口からの加圧空気により膨張した該袋体を支持する天板と、から構成される袋体、特にフレコンの内部を清掃する装置。 （もっと読む）

【課題】発生した塵埃に接触することなく、しかも周囲に散乱することなく確実に吸引することができる塵埃吸引方法及び塵埃吸引装置を提供する。
【解決手段】両端に開口部を形成し、一定の断面形状で軸線１１４ａがほぼ直線状に延びた直管部１１４を有し、直管部１１４の内部に気流を生じさせて負圧を発生させる。両端の開口部の間で直管部１１４の外部に開口する吸引開口部１１１から外側の周辺気体を塵埃とともに吸引する。吸引開口部１１１の下方に支持される基板Ｂの表面に対して、直管部１１４の軸線１１４ａをほぼ平行に、しかも略一定の距離を維持しつつ相対移動させる。 （もっと読む）

【課題】外部から供給される気体を除塵性能の低下を低減しつつ複数の噴射手段から噴射する除塵装置、及び除電除塵装置を提供する。
【解決手段】対象物に向けて気体を噴射する除塵装置であって、複数の噴射手段と、外部から供給される気体を、複数の前記噴射手段を１つ以上の前記噴射手段からなるグループに分けた各グループから互いに異なるタイミングで噴射させる噴射制御手段と、を備える。各グループから互いに異なるタイミングで気体を噴射するので、あるグループからは気体が噴射され、別のグループからは気体が噴射されないという期間が生じる。したがって、少なくともその期間においては、全てのグループから同時に気体を噴射する場合に比べて噴射される気体の圧力の低下が小さくなり、除塵性能の低下を低減できる。 （もっと読む）

【課題】車両の表面に付着した水分を確実に除去することができるエアブロー装置を提供する。
【解決手段】搬送ライン３０の上を移動している車両Ｗに向けて高圧エアＺ１を吹き付けるエアブロー装置Ａに、高圧エアを供給するエア供給源に接続されたブロア配管２０と、ブロア配管２０に接続され、エア供給源から送り込まれた高圧エアを吹き出す吹出口が形成された吹き出しダクト１０と、吹き出しダクト１０を保持する保持手段とを設ける。また、吹き出しダクト１０は、保持手段により、搬送ライン３０の上方に、吹出口が搬送ライン３０と相対向するように保持される。また、エアブロー装置Ａは、吹き出しダクト１０の吹出口から、搬送ライン３０の上を移動している車両Ｗに、車両Ｗの進行方向（Ｘ方向）に対して斜め後方に向け、且つ進行方向（Ｘ方向）と相対向する方向に略扇状に広がる高圧エアＺ１を吹き付ける。 （もっと読む）