【課題】
本発明は高精彩に成膜できるまたは生産性あるいは稼働率の高い有機ＥＬデバイス製造装置または有機ＥＬデバイス製造方法あるいは成膜装置または成膜方法を提供することである。
【解決手段】
本発明は、真空蒸着チャンバの壁に設けられた真空隔離手段から前記マスクを搬出し、前記真空隔離手段を共有するマスク洗浄チャンバで前記基板に付着した前記蒸着材料の堆積物にレーザ光を照射し前記マスクをドライ洗浄し、洗浄後前記マスクを真空隔離手段を介して前記真空蒸着チャンバに戻し、前記蒸着を行なうことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 基板上にエッチング液を液膜状に供給した後に、この基板をリンス処理する場合においても、エッチング液とリンス液とを個別に回収することが可能な基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】 基板処理装置は、ガラス基板１００をその主面が水平方向となる状態で支持するとともに、このガラス基板１００を水平方向に搬送する複数の搬送ローラ９と、ガラス基板１００にエッチング液を供給する処理・洗浄ユニット１ａ、１ｂ、１ｃと、ガラス基板１００にリンス液を供給する処理・洗浄ユニット１ｄと、各処理・洗浄ユニット１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ毎に配設された回収トレー７１と、処理・洗浄ユニット１ｃと処理・洗浄ユニット１ｄとの間に配設されたエアナイフ７とを備える。 （もっと読む）

【課題】除塵機能と排気機能とをともに持たせたハンディタイプの除塵システムを提供する。
【解決手段】加圧エア供給源４０から供給される加圧エアに対し、高電圧を印加することによりイオン化してイオン化エアを噴射するイオナイザ１０を用いる除塵システム１であって、加圧エア供給源４０から供給される加圧エアにより真空を発生する真空発生器２２と、真空発生器２２の吸引口に接続される吸引部２３と、を有する真空発生ユニット２０を備える。真空発生ユニット２０は、イオナイザ１０から噴射されたイオン化エアが除塵対象物７０に噴射されて飛散した塵埃を含む排気エアを、真空発生ユニット２０の吸引部２３を通じて吸引する。 （もっと読む）

【課題】スリッター刃の外周端縁に付着するスリッター粉を除去可能な除塵装置を提供する。
【解決手段】スリッター刃１の外周端縁11が走行通過するスリット溝７を凹設し、このスリット溝７の内面７Ａに、噴出孔12及び吸入孔14を配設する。 （もっと読む）

【課題】 気泡を含んだ洗浄水（含気水）を洗浄水槽の底部から噴射させるとき、気泡による曝気と水流が洗浄水槽の全体に亘って均一に分散するように噴射させることで、洗浄対象食品を全体的に満遍なく下から煽って、効果的な洗浄を行なうことができ、更に、コスト、メンテナンス、コンパクト化の面で有利になるようにした食品洗浄装置の提供。
【解決手段】 内部に洗浄水を収容させる洗浄水槽２と、オーバーフロー用スクリーン筒部２２と、底部スクリーン部材２８と、濾過水槽７と、循環ポンプ８と、含気水噴射装置５とを備え、含気水噴射装置５は、循環ポンプと洗浄水槽の底部室２９との間に配管した圧力水管５１の先端に噴射ストレーナ６を取り付けると共に、その圧力水管の途中に曝気用泡発生装置を設けている。 （もっと読む）

【課題】特に地下タンクの撤去作業前に可燃性蒸気対策として、比較的安価且つ安全性の高い地下タンクの洗浄方法を提供する。
【解決手段】高圧ホース１０の先端には洗浄ノズル２０が装着され、後端には高圧洗浄機３０が接続されて、高圧水が供給される。高圧ホース１０は、通気管・油面計口Ｌを通って地下タンクＴ内に挿入されている。サクション口Ｓには、先端が地下タンクＴの底面近くまで延びたサクションパイプ４０が差し込まれ、サクションパイプ４０の他端には、ホース５０を介してエアー駆動式ダイヤフラムポンプ６０が接続され、さらにホース７０を介してバキューム車８０に接続されている。高圧ホース１０に高圧洗浄機３０から高圧水が供給されると、洗浄ノズル２０から高圧水Ｈが噴き出し、地下タンクＴ内面に残っていたガソリン等の付着物を洗い流す。同時に、地下タンクＴ内に溜まった洗浄廃水Ｗをサクションパイプ４０から回収する。 （もっと読む）

【課題】軌道と平行な帯電した電気接点レールの下に装着された電気絶縁碍子を洗浄する装置及び方法を提供する。
【解決手段】軌道上１０を移動する車両８に取り付けられた位置決めアームと、固定又は可動フィンガ６を持つ洗浄ステーションを含む装置及び方法である。フィンガは洗浄具２を取り付けられ、車両８が絶縁碍子１のそばを通過するときに、絶縁碍子１に係合し、作用し、周囲を部分的に回転し、離れる。洗浄具２は、動力式回転、往復動、震動、振動、及び／又は線状ブラシ、巻き付け洗浄ベルト、音響ホーン、超音波震動ガン、レーザー、蒸気、水道水もしくは純水を使用する、固定、回転又は振動スプレーバー及び回転ヘッド上の加圧洗浄及び／又はウォータジェット・ノズル、並びに空気式研磨ノズルを含む。 （もっと読む）

【課題】有機溶剤を使用することなく、目視不可能な程度に薄い液膜や微小な液滴を含めて、濡れた基板表面から液体を残留させることなく迅速かつ完全に除去して、ウォーターマークの生成を最小限に抑えることができるようにする。
【解決手段】液体で濡れた基板表面を乾燥させる基板処理方法であって、基板表面に対向させて配置した気液吸引ノズル２８と基板Ｗとを互いに平行に相対移動させながら、基板表面の液体４０を該表面から剥離させつつ近傍の気体と共に気液吸引ノズル２８で吸引し、基板表面に対向させて配置した乾燥ガス供給ノズル４４と基板Ｗとを互いに平行に相対移動させながら、基板表面の液体４０を剥離させた領域に向けて乾燥ガス供給ノズル４４から乾燥ガスを吹き付ける。 （もっと読む）

【課題】異物除去装置において搬送物に混入した異物を除去する際の電力消費量を低減するとともに、異物とともに除去されて使用できなくなる搬送物を少なくする。
【解決手段】連続的に搬送物を搬送するための搬送部と、前記搬送物に混入している異物を検出するための異物検査部と、前記異物に圧縮空気を噴射するための圧縮空気噴射部と、負圧を発生させる吸引手段を有し、前記異物を吸引するための異物吸引部と、前記異物検査部で前記異物を検出した直後に、前記異物吸引部の吸引操作を開始する制御を行う制御部とを含む。 （もっと読む）

【課題】複写機、ファクシミリ等の使用済みの製品ないしユニットを再使用したり、樹脂材料として利用したりするリサイクル工程において、それらユニットや部品に付着している微粒子粉体であるトナーを除去し清浄化する工程が必要である。洗浄における低エネルギー消費化や環境負荷低減のため乾式洗浄方法が重視されている。しかし、付着力の強いトナーに対してはこれまで洗浄能力が十分ではなかった。
【解決手段】固体の洗浄媒体、特に薄片状の洗浄媒体Ｍを用い、洗浄媒体Ｍを洗浄槽内に浮遊拡散させる洗浄媒体浮遊拡散手段としてのノズル２と、浮遊拡散している洗浄媒体Ｍを気流を用いて洗浄対象物Ｗに向けて加速する洗浄媒体加速手段としてのノズル６を多数配置する。ノズル２は噴出する方向を変化させることによって洗浄媒体の滞留をなくし、ノズル６は吹き出し方向を変化させることによって、洗浄対象物の洗浄ムラをなくす。 （もっと読む）