【課題】複数のエアノズルの位置調整を、簡単な操作で精度良く確実に行うことができるようにする。
【解決手段】エア吹き付け装置１００は、複数のエアノズル１０３を有し、エアノズル１０３の先端が同心円上に配置される。そしてエアノズル１０３の先端と同心円の中心との半径方向の距離を一括して変更するエアノズル位置変更機構を有する。エアノズル位置変更機構は、回動プレート１０７が外力により回動することにより、エアノズル１０３を固定する複数のノズル固定ブロック１０２が同心円の半径方向に移動し、エアノズル１０３の先端と同心円の中心との半径方向の距離を一括して変更する。 （もっと読む）

【課題】基板ケースをドライ洗浄で実施するにあたり、被洗浄物が複雑な形状を含む場合であっても洗浄可能な基板ケース洗浄装置を提供する。
【解決手段】シリコンウェハやフォトマスクなどの異物の付着を嫌う基板を保持するドア部２と、前記ドア部２を周囲の雰囲気と遮断することによって保持された基板に異物が付着するのを防止するためのカバー部と、前記ドア部２に設けられたパッキン５であって、前記ドア部２と前記カバー部を密封するためのパッキン５と、を備えている基板ケースの前記ドア部２の洗浄装置１であって、少なくとも前記ドア部を載置し回転させるためのターンユニット３と、前記ドア部２に向って洗浄用ガスを噴出するガス噴出ノズル４と、を備えていることを特徴とする基板ケース洗浄装置１。 （もっと読む）

【課題】汚泥処理システムの稼働中において、余剰汚泥を移送する移送管の内部を確実に洗浄できる余剰汚泥移送管の洗浄装置の提供を目的とする。
【解決手段】本発明は、メタン発酵用の余剰汚泥を移送する余剰汚泥移送管を洗浄する洗浄装置であって、上記余剰汚泥移送管の内部に高温蒸気を噴出させる高温蒸気噴出部を備えることを特徴とする余剰汚泥移送管の洗浄装置である。本発明は、上記高温蒸気により加熱される加熱余剰汚泥と加熱前の余剰汚泥との熱交換を行う熱交換部をさらに備えるとよい。また、本発明は、上記熱交換部が上記加熱余剰汚泥を移送する余剰汚泥移送管と加熱前の余剰汚泥を移送する余剰汚泥移送管との二重管式であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 現実の整備サービス現場における作業実態に合うダスト捕集体の清掃装置を開発しようとするものである。
【解決手段】 本発明のダスト捕集体の清掃装置Ｃは、内部を処理室２０ｂとした筒状のドラム本体２０と、処理室２０ｂ内空気を吸引する吸引装置３と、吹出ノズル装置５とを具え、処理室２０ｂ内にダスト捕集体（ｆ）を受け入れた状態で粉塵（Ｄ）を除去し、ドラム本体２０から排出する装置であって、前記ドラム本体２０は、傾斜状態に設けられるとともに、処理室２０ｂ内にはドラム内壁に沿うように軸方向を配置した少なくとも一対のサポートローラ２４と、処理室２０ｂ底部寄りに前記サポートローラ２４とほぼ直交する方向であって、底部のほぼ中心を通る線上に設けられるセンターローラ２５を具え、これらサポートローラ２４と、センターローラ２５とは、いずれか一方または双方が駆動可能状態であることを特徴として成るものである。 （もっと読む）

【課題】薄片状の洗浄媒体を用いて被洗浄体の汚れを除去する洗浄装置において、被洗浄体に付着性の強い汚れが付いていたとしても、洗浄媒体の滞留を低減して移動させることができ、洗浄品質を向上させることができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】気流を前記洗浄媒体および前記被洗浄体に吹きつける洗浄ノズルが非定常的な気流を発生させることにより、気流の向きや強さを変化させることができ、被洗浄体に貼り付いた洗浄媒体に対して様々な方向から気流を作用させることができるようにした。 （もっと読む）

【課題】被照射物に付着した有機物等の汚染物と大気中に含まれる汚染物質との反応生成物が被照射物に付着することを防止または抑制することができ、従って、所要の光洗浄処理を確実に達成することができる光照射装置を提供する。
【解決手段】エキシマランプと、このエキシマランプを取り囲むよう設けられた、当該エキシマランプからの光を外部に出射する開口および内部のガスを排出するガス排出口を有するランプハウスと、このランプハウスの開口から当該ランプハウスの内部に大気を導入し、当該ランプハウスのガス排出口から排出するガス排出機構とを備えてなり、前記エキシマランプには、その放射光が前記ランプハウス内におけるガス流通路を形成する壁面に照射されないよう当該放射光を遮蔽する光遮蔽手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】フラックス等の汚れは勿論のこと、粘弾性汚れも除去でき、洗浄対象物の範囲を拡大できて使用価値を高められる乾式クリーニング筐体を提供する。
【解決手段】筐体４の開口部１８が洗浄対象物２０の表面で塞がれた状態で図示しない吸引装置により吸引がなされると、筐体内が負圧となってインレット２４のインレット用開口２４Ａから外気が流入し、旋回空気流３０が生じて洗浄媒体５が飛翔する。洗浄媒体５は飛翔しながら洗浄対象物２０の表面に衝突する。インレット２４の気流噴射口２４Ｂのノズル５０からは旋回空気流３０を形成する気流よりも流速が大きい圧縮空気流Ａｒ２が噴射され、これにより洗浄媒体５は加速されて高速度で粘弾性汚れ５８に衝突する。 （もっと読む）

【課題】特に可搬性を有するハンディタイプの乾式クリーニング装置において、狭い空間内で高速に飛翔する洗浄媒体の摩擦帯電による洗浄能力低下問題を解消する。
【解決手段】乾式クリーニング筐体としての筐体４は、通気路としてのインレット２４内に洗浄液を噴霧する加湿手段としての噴霧手段５０を備えている。筐体の開口部１８が洗浄対象物２０で塞がれると吸引装置による吸引によって筐体４内が負圧化し、インレット２４から気流が流入して旋回空気流３０が形成され、洗浄媒体５が飛翔して洗浄対象物２０に衝突する。バルブ５６を開くと噴霧ノズル５２の洗浄液がインレット２４内にミスト状に噴霧される。噴霧されたミストは、旋回空気流３０と合流し、筐体内に拡散する。拡散したミストは、洗浄媒体５に付着し、洗浄媒体５の摩擦による帯電を抑制する。 （もっと読む）

【課題】簡便安価な構成で効率よく洗浄作業を行うことができる電子部品実装設備用の洗浄ツールおよび洗浄方法を提供することを目的とする。
【解決手段】部品実装装置に用いられる吸着ノズル１０などを洗浄する電子部品実装設備用の洗浄ツール２０を、作業者が把持して操作可能な本体部２１と、本体部２１の先端に設けられ２流体３１が噴射される噴射ノズル２５と、本体部２１に接続され噴射ノズル２５と切替バルブ２６を介して接続された液体タンク２８とを備え、洗浄水３０の粒子３０ａを圧縮空気２３ａに混合した２流体３１を被洗浄物である吸着ノズル１０に対して噴射する構成とする。これにより、簡便安価な構成で効率よく洗浄作業を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】通風部材の清掃成果を向上させながらも清掃作業時間の短縮も図ることができる洗浄装置等の提供。
【解決手段】洗浄装置１は、フィルタ１７を清掃するものであり、送風部５と、送水部７と、フィルタを支持する支持部９と、送風部からの送風及び送水部からの送水を制御する制御部１３とを備える。制御部は、フィルタに対する第１の送風と、その第１の送風の後、フィルタに対する送水と、その送水の後、フィルタに対する第２の送風とを行うように、送風部の送風及び送水部の送水を制御する。 （もっと読む）