本発明は、基板（２０）を熱加工するための熱処理内側チャンバ（３）であって、壁（１０）を備え、該壁（１０）は、熱処理内側チャンバ（３）の内室（２４）を包囲し、熱加工の間に基板（２０）を支承するための支承装置（８）を備え、熱処理内側チャンバ（３）の内室（２４）にエネルギを導入するためのエネルギ源（１１）を備え、壁（１０）の内側面の少なくとも一部は、エネルギ源（１１）により導入される出力を反射するように形成されるものにおいて、壁（１０）の内側面の少なくとも一部は、少なくとも赤外線高反射性の材料から成ることを特徴とする。さらに本発明は、基板（２０）を熱加工するための熱処理内側チャンバ（３）であって、壁（１０）を備え、該壁（１０）は、熱処理内側チャンバ（３）の内室（２４）を包囲し、熱加工の間に基板（２０）を支承するための支承装置（８）を備え、熱処理内側チャンバ（３）の内室（２４）にエネルギを導入するためのエネルギ源（１１）を備えるものにおいて、壁（１０）の少なくとも一部を冷却するための冷却装置（１４）を設ける。
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【課題】レーザ照射によりＩＩＩ族窒化物半導体膜を下地基板から剥離する際に、ＩＩＩ族窒化物半導体膜の破損を抑制する。
【解決手段】サファイア基板１１と、サファイア基板１１上に設けられているＧａＮ膜１２と、を含むサファイア／ＧａＮ構造体Ｗから、レーザ照射によりＧａＮ膜１２を剥離するレーザ剥離装置であって、サファイア／ＧａＮ構造体Ｗを、ＧａＮ膜１２が下方または側方に向いた状態で、ＧａＮ膜１２表面に接触することなく保持する基板保持台１４と、サファイア／ＧａＮ構造体Ｗに対してレーザを照射するレーザ照射部と、を備えるレーザ剥離装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】減圧チャンバー１の大型化を抑えること、レーザ溶接の自由度を高めること。
【解決手段】少なくとも天井部１ａ及び側壁部１ｂがレーザＬの透過率８５％以上の構成材料からなる減圧チャンバー１を用い、減圧チャンバー１内に複数の金属部品Ｗ１，Ｗ２を突き合わせるようにセットし、減圧チャンバー１の外側に独立して配設されかつレーザＬを集光する集光レンズ１１を備えたレーザ溶接ヘッド９を用い、減圧チャンバー１内を０．１気圧以下の減圧雰囲気に保持した状態で、レーザ溶接ヘッド９から突き合わせ部Ｂに対してレーザＬを照射すること。 （もっと読む）

【課題】加工対象となる孔の延長上に非加工部位が位置している被加工物を加工する場合において、非加工部位が加工されてしまうことを防止するとともに加工効率を向上させる。
【解決手段】孔１ｃに向けて液体を噴射するノズルと、孔１ｃに向けて噴射される液体の内部にレーザー光を照射するレーザーヘッドと、被加工物１を保持する保持具と、非加工部位１ｅに配置され、孔１ｃを通過したレーザー光を遮断するレーザー光遮断具３３とを備え、レーザー光遮断具３３には、孔１ｃに到達した液体を排出する排出路３３ａが設けられている。 （もっと読む）

【課題】ターゲット材料の種類によらず、液相中に粒子を連続的に安定して製造できる製造効率の十分に高度な液相レーザーアブレーション装置を提供する。
【解決手段】レーザー光Ｌを発生させるためのレーザー発振器１０と、レーザー光を導入するための窓１３Ａを備え且つ溶媒１４を保持するための処理容器１３と、処理容器内に配置されるターゲット１５と、処理容器から溶媒を流出させるための流出管１６と、処理容器に溶媒を流入させるための流入管１７と、流出管及び流入管に溶媒を流通させるためのポンプ１８と、流出管内の溶媒の流路と流入管内の溶媒の流路とポンプ内の溶媒の流路とからなる循環流路中に配置され且つ循環流路中に流通する溶媒の中からレーザーアブレーションにより形成された粒子を回収するための１５〜１０００ｎｍの孔径を有するフィルター１９とを備える。 （もっと読む）

【課題】シールドカバーの劣化を抑制することができ、長期に亘り安定的に水中における溶接作業を実行することのできる水中溶接装置及び水中溶接方法を提供する。
【解決手段】レーザ発振器及びシールドガス供給源に接続され、レーザ光を集光する光学系を有する水中溶接ヘッドを水中に配置して水中で構造物の被溶接部を溶接する水中溶接装置において、前記水中溶接ヘッド先端側のレーザ光を射出するノズル部の周辺に、弾性部材からなり、前記水中溶接ヘッドの先端側に気中を形成するためのシールドカバーを設け、当該シールドカバー内に前記シールドガス供給源からのシールドガスを供給するよう構成するとともに、前記シールドカバーの内側面に沿って水を供給する水供給機構を設けた。 （もっと読む）

ニオブ又はその合金をベースとする超伝導無線周波（ＳＣＲＦ）キャビティ（ＤＢ）は、最小のＨＡＺ、最小の歪み及び収縮と共に厚さの半分を超えて完全な深さまでの溶け込みを達成するためキャビティの壁の内側の面から溶接されたＳＣＲＦキャビティの中に少なくとも１つのレーザビーム溶接部品を含む。方法は、改善された溶接品質及び実質的に溶接欠陥のない表面仕上げを保証する。更に、ニオブ又はその合金をベースとする超伝導無線周波（ＳＣＲＦ）キャビティのレーザ溶接を容易にするように適応された溶接ノズルシステム（ＮＡ１ＮＢ）及び溶接リグ（ＣＦ）が開示される。本発明は、生産性を向上し、一貫した品質及び信頼性を保証し、最小のＨＡＺと共に溶接の溶け込みを向上し、可能な低減コストで溶接継ぎ目の仕上げを滑らかにすることに向けられる。
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【課題】レーザー照射による加工方法において、加工効率及び安定性が高く、しかも安全性に優れた新規な方法を提供することを課題とする。
【解決手段】基材層２と加工材層１とを有する多層構造体（ベースフィルムと金属層とからなるプリント配線基板、基材層と触媒インク層とからなる導電性部材形成用積層材など）において、該加工材層１にレーザー光５を、集光レンズ６等を通して照射するなどの方法により加工して所望のパターンを形成する際に、ステージ４上に水（イオン交換水３）などの冷媒を置き、前記基材層側に接触させて冷却する。 （もっと読む）

【課題】水中に配置されたレーザ照射装置内のレーザ発振器を冷却する冷却水の供給経路が長く、その環境温度が不明な場合、冷却水が供給経路上で昇温してレーザ発振器の冷却性能が不足することが想定される。
【解決手段】
レーザ照射装置１の内部に環境隔離容器内の温度を計測する温度計Ｔ１を設置する。温度計Ｔ１の計測結果に基づいて供給する冷却水の温度や流量を制御し、レーザ発振器２１を適切に冷却することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】繊維強化プラスチック（ＦＲＰ）、繊維強化金属（ＦＲＭ）の切断、穴あけ、溶接、曲げ加工、表面処理は困難であり、また作業者の安全衛生上の問題からも、加工コストが高く、ＣＦＲＰ（炭素繊維強化プラスチック）などの適用拡大を阻害する要素となっている。
【解決手段】精密に切断、穴あけ、溶接、曲げなど行う場合には高出力レーザと超短パルスレーザを併用した加工装置で高速処理し、また、複合材料の溶接にはモザイク継手加工をレーザ２重切断法で精密加工したのち、強化繊維を数％から数１０％含む熱硬化性・熱可塑性混合樹脂を成分とする溶加材を用いたレーザ溶接法を適用する。 （もっと読む）