【課題】低温環境下での半導体デバイスの試験における該デバイスの品種切替作業時間を短縮させることができる試験装置及び品種切替方法を提供することにある。
【解決手段】外部装置に電気接続されるソケットユニット１１０と、半導体デバイス１０７を取り上げるコレットユニット１３０と、コレットユニットをソケットユニットに組み合わせて押圧することにより、コレットユニットにより取り上げられた半導体デバイスをソケットユニットに電気接続するチャックユニット１５０と、チャックユニットの軸方向の移動動作及び軸回りの回転動作のみにより、チャックユニットとコレットユニットの着脱が可能な着脱機構１３６、１５３を備える。これにより、半導体デバイスの品種を切り替えるときに、切替品種に対応するチャックユニットとコレットユニットとを自動的に着脱させて交換することができ、デバイスの品種切替作業時間を短縮させることができる。 （もっと読む）

【課題】効率的なツール交換手段を提供すること。
【解決手段】ロック用ボール１３間に位置するボール支持部材１１に、カム部材１７の移動方向と直交する方向へ移動可能に支持される突出し用ボール１５と、ロック用傾斜溝１７ａ間に位置するカム部材１７の外周面に設けられ、ロック用傾斜溝１７ａと反対方向に傾斜する複数の解除用傾斜溝１７ｂと、ロック用係合溝２３ａ間に位置するボール受け部材２３に設けられ、ロック用係合溝１７ａと反対方向に傾斜する複数の突出し用傾斜溝２３ｂとからなる突出し手段を備える。アーム側アタッチメント３の本体７には、アーム側流体通路が連通する装着孔７ｂ内にて軸線方向へ移動可能で、装着孔７ｂの吐出口部を開閉する開閉部材７ｆを設ける。ツール側アタッチメントには、吐出口部を通過して装着孔７ｂ内に進入可能で、ツールの流体機器に接続されるツール側流体通路２３ａが形成された接続口部２３ｂを設ける。 （もっと読む）

【課題】仮組みが必要な部品の組立作業に使用されるロボットにおいて、第２の部品を第１の部品に対して仮組みできるハンドの構造を開示し、第２の部品を仮組みした後、第２の部品を仮組みしたロボットのハンドが他の作業に使用できるようにする。
【解決手段】ロボットハンドが、ロボットのアーム先端２２に固定され、把持動作が可能な一対の把持部材を備えた第１のハンド２１と、第１のハンド２１によって把持されたときに保持ツメ１６を閉じることができる第２のハンド１０と、から構成され、第２の部品の穴と第１の部品の穴に挿入された第２のハンド１０が、第１のハンド２１によって離されたとき、保持ツメ１６が付勢手段１３によって開き、第２の部品が第１の部品に対して係止されるよう構成した。 （もっと読む）

【課題】要求される連結精度や加わる荷重負荷がさほど高くなく、しかもその負荷が特定の狭い範囲の方向にのみ加わるといった使用用途の場合に、構造が簡単で低コストなツールチェンジャが得られるようにする。
【解決手段】ツールプレート部４０の位置決め部４２を、該ツールプレート部４０の係合部４３が該係合部４３に対するマスタプレート部２０のフック部２３の通過を許容する第１相対位置にマスタプレート部２０が位置するときに該マスタプレート部２０の係止部２２による係止が不能となる領域に配置し、係合部４３を、係止部２２による位置決め部４２の係止が可能となる第２相対位置にマスタプレート部２０が位置するときに該係合部４３に対するフック部２３の通過を阻止する領域に位置するように設ける。 （もっと読む）

【課題】結合面が水平方向以外を向く場合であっても、良好に動作する自動ツール交換を提供すること。
【解決手段】ロック解除位置からロック位置に対するカム部材１７の移動に伴ってロック用傾斜溝１７ａを摺接して半径方向外側へ移動するロック用ボール１３を係合用傾斜溝２３ａに係合してアーム側アタッチメント３及びツール側アタッチメント５相互を連結する一方、ロック位置からロック解除位置に対するカム部材１７の移動に伴って係合用傾斜溝２３ａに対するロック用ボール１３の係合を解除すると共に突出し用傾斜溝１７ｂを摺接して半径方向外側へ移動するロック解除用ボール１５を離脱用傾斜溝２３ｂに摺接してアーム側アタッチメント３からツール側アタッチメント５を突出し可能にする。 （もっと読む）

【課題】第１・第２ユニット相互の着脱動作に要する時間が短く、電力供給の停止があった場合でも不用意に第２ユニットが落下するという事態が生じない自動工具交換装置を提供すること。
【解決手段】第１ユニット１に設けた駆動部３により軸部６を前進又は後退させて当該軸部６に係合するカム７を回動せしめ、第１ユニット１に対して第２ユニット８を着脱させるものであり、駆動部３は、モータ３０によって回転せしめられる第１永久磁石板４と、前記第１永久磁石板４に対して対向配置され且つ上記軸部６の軸線方向に進退のみ可能に設けられた第２永久磁石板５を有し、前記第１・第２永久磁石板４，５相互が、同極で対向したときには反発力により軸部６が第２永久磁石板５と共に前進し、異極で対向したときには吸着力により軸部６が第２永久磁石５と共に後退する。 （もっと読む）

【課題】様々な種類のツールを自動交換でき、小形で安価な自動工具交換装置を構成する。
【解決手段】ロボット７の手首に固定されるロボット側交換装置１と、別々のツール８が固定される複数のツール側交換装置２と、ロボット側交換装置１とツール側交換装置２を連結する連結機構をロボット側交換装置１に設けた自動工具交換装置において、流体用連結部４と電力用連結部５を、ロボット側交換装置１とツール側交換装置２の双方に設け、ツール側交換装置２に設けた電力線搬送通信ユニット１０と、ツール８のコントローラ９とツール側交換装置２の間に設けた動力線搬送通信ユニット１０と、ツール８のコントローラ９及びツール８の制御信号を変換して電力線搬送通信ユニット１０に接続する。 （もっと読む）

【課題】 チャック機構の取り付け位置を容易に変更することができるワークのチャック装置を提供する。
【解決手段】 フレーム８からチャック機構１８を外し、且つチャック脱着装置装置４１によってチャック機構１８を保持した状態で、支持板５とともにフレーム８を回転せしめることで、チャック脱着装置装置４１によって保持されているチャック機構１８に対向する位置に、フレーム８の異なる箇所に形成された位置決め用凹部１１ｂ、１２ｂが位置することになる。 （もっと読む）

【課題】
ロボットハンド用フォークを構成する管状体と内部に挿入されている部材との接合力を強固にし、優れたロボットハンド用フォーク及び前記フォークを備えたロボットハンドを提供すること
【解決手段】
ねじによって土台に固定されてロボットハンドを構成するフォークであって、断面が矩形である管状体Ａと、管状体Ａの一端部に挿入された部材Ｂと、管状体Ａの外面から内面まで貫通し部材Ｂに到達している前記ねじの座ぐり穴とを有し、管状体Ａおよび部材Ｂが管状体Ａの内面に対して部材Ｂを押しつけることで接合固定されていることを特徴とするフォーク。 （もっと読む）

【課題】同一のハンド装置の爪で、ワークを掴むことができ、かつエアブロー又は洗浄液での洗浄などの流体噴出ユニットを掴むこともできるハンドリングロボットを提供。
【解決手段】ハンド装置 2は、爪 3でワーク 4を掴むことができ、かつハンド装置 2の爪 3は、流体噴出ユニット 8の本体15を内側で掴む内側補合形状25及び内側に開口する内側貫通穴14を有し、流体噴出ユニット 8の本体15は吸着パッド17と、吸着パッド17に本体内の配管16で配管接続されハンド装置 2の爪 3の内側に開口する内側貫通穴14と嵌まり合うよう吸着パッド17の外側に開口する外側開口26、を有し、ハンド装置 2の爪 3は、ワーク 4を掴む作業を行った後、流体噴出ユニット 8をハンド装置 2の爪 3の内側で掴み、流体噴出ユニット 8のノズル20から圧縮流体24を噴出する作業を行うようにした。 （もっと読む）