【課題】ケーブル類からのガスの発生の問題をなくし、また、可動性のケーブルダクト等の複雑な構造を採用することなく、真空室内の駆動源に電力を供給することができる真空処理装置を提供すること。
【解決手段】電力供給機構２は、隔壁１１の側面１１４に配置されている。電力供給機構２は非接触型のものであり、隔壁１１の外側に配置された１次側電磁石２１と、隔壁１１内に配置された２次側電磁石２２とを有する。電力供給機構２は、１次側電磁石２１から電磁誘導により発生する磁場を用いて２次側電磁石２２に電力及び通信信号を供給する。コントローラボックス９内の制御器９３は、２次側電磁石２２が１次側電磁石２１から受けた磁場により得られる高周波電力を整流し、また、その高周波電力から通信信号を検出する。これにより、制御器９３は、この電力を用いて通信信号を搬送ロボット１０の駆動部へ送信することで搬送ロボット１０を駆動する。 （もっと読む）

【課題】搬送トラブルのおそれを防止することのできる基板搬送装置を提供すること。
【解決手段】ＬＬ／ＵＬチャンバー１およびプロセスチャンバー２の第１〜第３ガイドプレート５，６，７には、複数の浮上用ガス噴出孔８，……，８が形成されている。第１ガイドプレート５および第２ガイドプレート６は、上下２段に、かつ、昇降機構４５により基板載置面５ａ，６ａの高さが変化するように構成されている。第２ガイドプレート６における第３ガイドプレート７を臨む端部には、基板４を第３ガイドプレート７の基板載置面７ａから第２ガイドプレート６の基板載置面６ａへ誘導する誘導部６ｂが設けられている。同様に、第３ガイドプレート７における第１ガイドプレート５を臨む端部には、基板４を第１ガイドプレート５の基板載置面５ａから第３ガイドプレート７の基板載置面７ａへ誘導する誘導部７ｂが設けられている。 （もっと読む）

【課題】静電浮上モータを用いた真空搬送装置において、大きな静電吸引力を得ることができ、高重量物を搬送可能な真空搬送装置を提供する。
【解決手段】移載装置５を支持台３の下面側に支持することによって支持台３の上面全体を真空雰囲気中に露出させることが可能になり、これに伴い真空室１の天板部１７ａの内面に、支持台３の上面全体に対応して平板電極７を配置することが可能になる。これにより、電極面積を広くとることが可能となり、従来の典型的な真空搬送装置に比較して、大きな静電吸引力を得ることができ、高重量物を搬送可能な真空搬送装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】ケーブル類からのガスの発生の問題をなくし、また、真空室の真空状態を確保しつつ真空室外から真空室内の可動部の位置を検出することができる真空処理装置を提供する。
【解決手段】センサヘッド３２により支持台４等の位置情報を検出し、送信機９５により位置情報を光信号Ｌ１、Ｌ２及びＬ３に変換し透光部１１３ｂを介して真空室１外の受信機８１に出射し、受信機８１で光信号Ｌ１、Ｌ２及びＬ３を受信しドライバ／電源ユニット８で位置情報に変換することができる。つまり、真空室１外から支持台４等の位置情報を検出するために、真空室１の隔壁１１に貫通孔を形成して位置情報を送信するためのケーブルをこの貫通孔を介して真空室１外へ導出したり、真空室１内に敷設したりする必要がない。従って、ケーブル類からのガスの発生の問題をなくし、真空室１の真空状態を確保しつつ真空室１外から真空室１内の支持台４等の位置を検出できる。 （もっと読む）

【課題】真空室内の発熱源を有効に冷却することができる真空処理装置を提供すること。
【解決手段】真空搬送装置は、コントローラボックス９内を冷却するために、コントローラボックス９内でコイル及び／または制御器９３等の発熱源により熱せられた気体を、その気体の温度より低い温度の気体に交換する交換機構１２０を備えている。移動体が待機して静止しているときには、アクチュエータ１２１がそれぞれ作動し、隔壁側コネクタ１２８がボックス側コネクタ１２７に接続される。気体操作部１３０から冷却気体が導入管１２５を介してコントローラボックス９内に導入され、排出管１２６を介してコントローラボックス９内で熱せられた気体が排出される。 （もっと読む）

【課題】例えば半導体素子製造用の各種基板を収容するＦＯＵＰ等の荷を、ビークル等の搬送手段により搬送する搬送システムにおいて、簡単な構成により効率良く荷を搬送する。
【解決手段】搬送システム（１００）は、第１経路（１）と、第１経路に沿って一の荷（３）を搬送すると共に該搬送される一の荷を移載可能な第１移載手段（５）を有する搬送車（２）と、少なくとも一箇所において、第１経路の側方における第１経路よりも下方を通る第２経路と、第２経路上で一の荷と同一又は異なる他の荷を搬送する搬送手段（３０）と、一箇所における第２経路よりも下方に配置されたポートと、少なくとも一箇所において、搬送される他の荷を横移載方式でポートとの間で移載可能な第２移載手段（４０）とを備える。第１移載手段は、一の荷を縦移載又は横移載方式でポートとの間で移載可能である。 （もっと読む）

【課題】処理装置の処理能力をより十分に発揮できる。
【解決手段】製造装置（処理装置）には基板を収容した容器Ｆが搬入される（Ｓ１）。処理装置は、搬入された容器から基板を取り出し、基板に加工処理を施した後に、基板を容器に収容する。製造装置において基板が取り出された空の容器Ｆは、一旦小ストッカへと搬出される（Ｓ２）。そして、基板に加工処理が施されている間に製造装置へと次の容器Ｆが搬入される（Ｓ３、ＮＯ→Ｓ６、ＮＯ→Ｓ１）。一方、製造装置において基板の加工処理が終了すると（Ｓ３、ＹＥＳ）、小ストッカに一旦保管された空の容器Ｆが製造装置へと搬入される（Ｓ４）。製造装置において加工処理済みの基板が収容された容器Ｆは、製造装置から小ストッカへと搬出される（Ｓ５）。 （もっと読む）

【課題】筐体内で発生したパーティクルの筐体外への流出を防止することができ、筐体内で安定したダウンフローを生成することができる半導体製造装置を提供する。
【解決手段】処理炉５１を有するウエハ処理領域と、ウエハを収納するポッド２を搬送するポッド搬送装置３５を有するポッド保管室１１ｂと、ウエハ処理領域とポッド保管室１１ｂとを内部に有するメイン筐体１１とを備えたバッチ式ＣＶＤ装置において、メイン筐体１１の正面壁１１ａに開設されたポッド搬入口１２とエアインテーク２６を開閉する第一シャッタ１３と第二シャッタ２８とを両側ロッドシリンダ装置２９によって連動させる。ポッド２の搬入搬出時にはポッド搬入口１２を第一シャッタ１３で開き、エアインテーク２６を第二シャッタ２８で閉じる。ポッド保管室１１ｂ内でのポッド搬送時にはポッド搬入口１２を第一シャッタ１３で閉じ、エアインテーク２６を第二シャッタ２８で開く。 （もっと読む）

【課題】自動倉庫内のクリーン環境を保ち、保管物品の汚染を効率的に防止し、搬送中に物品が受ける振動を所定のレベル以下に保ち、物品への悪影響を効率的に防止する。
【解決手段】棚と、入出庫装置と、クリーンエアの供給用ファンフィルタユニットと、開度調整自在な排気口と、入出庫装置によって搬送と棚との間の受け渡しが自在なクリーン環境の測定用ユニット、とを備えた自動倉庫であって、予め定められた所定のルールに従って、自動倉庫内のクリーン環境と振動とを測定すると共に、ＦＦＵの送風量及び排気バルブの開度を調整し、搬送中に搬送物品が受ける振動を所定レベル以下に保つためにスタッカークレーンの動作を規制する。 （もっと読む）

【課題】基板を載せる搬送用ハンドのズレ量を検出して、搬送用ハンドが基板を収納するカセット等の他の周辺機器に衝突したり、搬送用ハンド自身が破損することを未然に防止する搬送用ロボットを提供すること。
【解決手段】本発明の搬送用ロボットは、ワークを搬送するための搬送用ロボットの制御方法において、前記搬送用ロボットのアーム先端に配置される搬送用ハンドを備え、前記搬送用ハンドに取り付けられた加速度センサと、前記加速度センサに接続されたコントローラとからなり、所望の位置にワークを搬送するために、前記搬送用ハンドを移動させるときの加速度の設定値を前記コントローラに予め記憶させておき、実際に前記搬送用ハンドがワークを搬送するときの加速度と前記初期状態のときの加速度とを比較して、前記比較したときの加速度の差分をリアルタイムで検出して搬送用ハンドの位置を補正する。 （もっと読む）