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国際特許分類[C23C14/06]の内容

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【課題】本発明は、薄く、高硬度のコーティングを形成する方法、およびこのコーティングを含むデバイスに関する。
【解決手段】本発明の方法は、マグネトロンカソードスパッタリングにより、1Paのアルゴン分圧下で基材の少なくとも1つの表面上にチタン薄膜を堆積し、次いで、マグネトロンカソードスパッタリングにより、1Paの分圧を維持しながら、窒素をカソードスパッタリング室内に導入することにより、得られた薄膜上に窒化チタン薄膜を堆積し、さらに、活性同時スパッタリングモードのマグネトロンカソードスパッタリングにより、得られた薄膜上に、チタン、ジルコニウム、ホウ素および窒素に基づくナノ構造化コンポジット材料の薄膜を堆積することにある。
本発明の方法は、機械部品の表面硬度を改良するために、多くの分野、特に機械分野に適用可能である。 (もっと読む)


【課題】
マスター型の表面に導電層、電鋳層、適宜裏打ち材を順次積層し、マスター型の表面と導電層の界面で剥離して、マスター型の形状を転写する電鋳法において、マスター型から強制剥離が可能で、しかも電析プロセス中には隔離しないように付着力を制御して導電層を形成する電鋳法における形状転写導電層の形成方法を提供する。
【解決手段】
マスター型Mの表面にアークプラズマ法によってアンカー金属7を離散的に付着させ、その後、アンカー金属とは異なる金属を物理的蒸着法によって蒸着して導電層8を形成する。具体的には、Si単結晶からなるマスター型表面にCr密度(×1010(atoms/cm2))が6000〜15000となるように付着させ、その上からPt導電層を電子ビーム蒸着法で形成する。 (もっと読む)


【課題】電波透過性および鏡面のような金属調光沢を有し、該金属調光沢が失われにくく、かつ低コストである電波透過性装飾部材を提供する。
【解決手段】該課題は、基体12と、該基体12上に設けられた、半導体物質からなる光反射層14とを有する電波透過性装飾部材10により解決され、光反射層14としては、半導体物質の物理的蒸着によって形成された蒸着膜であることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】耐摩耗性及び靭性の双方に優れる切削工具及びその製造方法を提供する。
【解決手段】TiCNといったTi化合物を主たる硬質相とするサーメットからなる基材10を具える切削工具である。基材10は、微細なTi化合物粒子を主たる硬質相とする微粒層11と、微粒層中の硬質相粒子の平均粒径よりも平均粒径が大きいTi化合物粒子を主たる硬質相とする粗粒層12との積層構造を有し、微粒層11は、基材表面側に配置されている。両層11,12は、密着性に優れており、この切削工具は、両層11,12の特性を十分に活用することができ、耐摩耗性及び靭性の双方に優れる。 (もっと読む)


【課題】 ガス噴出口を工夫することで、面方向の膜厚の均一性を向上させることを目的とする。
【解決手段】 本発明による磁気記録媒体の製造方法は、真空成膜装置100を用いて、円板状基体1の上に少なくとも磁気記録層22および媒体保護層26を成膜する磁気記録媒体の製造方法であって、チャンバ102内に円板状基体1を搬入する工程と、チャンバ102内の空気を排出して略真空に引く工程と、チャンバ102内にガスを導入する工程と、を含み、ガスを導入する工程においては、複数のガス噴出口114を円板状基体1の外周に沿って配置し、当該円板状基体1の半径方向に対して所定角度傾斜した方向にガスを噴出することを特徴としている。 (もっと読む)


【課題】重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】WC基超硬合金、TiCN基サーメット、cBN基超高圧焼結材料で構成された工具基体の表面に、1〜10μmの平均層厚を有する硬質被覆層を蒸着形成してなる表面被覆切削工具において、該硬質被覆層は、その表面研磨面の法線に対して、{100}面の法線がなす傾斜角を測定して作成した傾斜角度数分布グラフにおいて、30〜40度の傾斜角区分に最高ピークが存在し、その度数合計が、全体の60%以上であり、かつ、組成式:(Al1−X−YCrTi)Nを満足する(但し、原子比で、0.3≦X≦0.6、0.1≦Y≦0.3)AlとCrとTiの複合窒化物層から構成されている。 (もっと読む)


【課題】 加飾性、金属光沢性があり、光透過性と光吸収性が両立され、さらには導電性を有する光学薄膜積層体を提供することを課題とする。
【解決手段】 基材の一方の面に薄膜積層体を備える光学薄膜積層体であって、該薄膜積層体が高屈折率薄膜層、低屈折率薄膜層を少なくとも1層以上積層した積層構造であり、且つ、前記基材の薄膜積層体が形成されている面と反対側の面に導電性薄膜層が形成されていることを特徴とする光学薄膜積層体とした。また、前記導電性薄膜層が形成されている面の表面の表面抵抗率が1.00×10−4Ω/□未満であることを特徴とする光学薄膜積層体とした。 (もっと読む)


【課題】 潤滑特性に優れる硬質皮膜と、金属塑性加工用工具を提供する。
【解決手段】 他材と接する基体表面に被覆される硬質皮膜において、その硬質皮膜の表面には炭素同士の結合を有する炭素原子が10原子%以上、好ましくは30原子%以下存在し、かつ前記炭素原子の割合は、硬質皮膜の表面から基体表面に向かって漸減している硬質皮膜である。この炭素原子には、spの結晶構造を有した炭素原子と、spの結晶構造を有した炭素原子の両方が含まれていることが望ましい。そして、このとき、硬質皮膜の種類は金属炭化物または金属炭窒化物とすることが好ましく、具体的にはチタン炭化物またはチタン炭窒化物であることがさらに良い。また、上記の基体表面と硬質皮膜の間には、金属窒化物、具体的にはチタン窒化物からなる皮膜を形成することが好ましい。そして、これらの硬質皮膜を作業面に被覆してなる金属塑性加工用工具である。 (もっと読む)


【課題】ハンダ分級のための種々のサファイアあるいはカーボンに穴をあけてノズルとして使用し、噴出してきた粒子をハンダボールとして回収する場合、もしくはインクジェット式プリンターに使用されるノズルの場合は各種のインクを用いて印刷に寄与しているが、上記ノズルにおいて特に、耐熱性の点が課題として考えられている。
本発明はこの点を改良し、耐食、耐熱、耐摩耗性を備えたノズル及びメッシュを提供することを目的とする。
【解決手段】高温の金属液体及び強い酸化還元性溶液、強い酸あるいはアルカリの溶液に用いられる金属ノズル又はメッシュに、孔と周囲全体にDLC膜を設けて所定の厚さでコートされたノズル及びメッシュを提供する。 (もっと読む)


【課題】電波透過性および鏡面のような金属調光沢を有し、該金属調光沢が失われにくく、かつ低コストである電波透過性装飾部材を提供する。
【解決手段】該課題は、基体12と、該基体12上に設けられた、シリコンまたはゲルマニウムと金属との合金からなる光反射層14とを有する電波透過性装飾部材10により解決され、光反射層14としては、シリコンまたはゲルマニウムと金属との合金の物理的蒸着によって形成された蒸着膜であることが好ましい。 (もっと読む)


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