【課題】 耐摩耗性および潤滑性が高くかつ耐欠損性に優れた表面被覆工具を提供することにある。
【解決手段】 基体２の表面に、個々の平均層厚が１〜１００ｎｍの第１薄層７と第２薄層８の交互積層で全体平均層厚が０．８〜１０μｍの被覆層６を形成し、前記第１薄層が、組成式：Ｍ_ｘ（Ｃ_{１−ａ−ｂ−ｄ}Ｎ_ａＯ_ｂＢ_ｄ）_ｙ（ただし、Ｍは周期表第４、５、６族元素、Ａｌ、Ｓｉ、Ｙ、Ｃｅのうちの一種以上の金属元素、１．０＜ｘ／ｙ≦１．５、０≦ａ≦１、０≦ｂ≦０．５、０≦ｄ≦０．５）で表わされるとともに、前記第２薄層８が、組成式：Ｍ_ｘ（Ｃ_{１−ａ−ｂ−ｄ}Ｎ_ａＯ_ｂＢ_ｄ）_ｙ（ただし、Ｍは周期表第４、５、６族元素、Ａｌ、Ｓｉ、Ｙ、Ｃｅのうちの一種以上の金属元素、０．５≦ｘ／ｙ≦１．０、０≦ａ≦１、０≦ｂ≦０．５、０≦ｄ≦０．５）で表わされる構成とした表面被覆工具１である。 （もっと読む）

【課題】溶着性の高い被削材の高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）下部層として、ＡｌとＴｉの複合窒化物層、（ｂ）中間層として、ＡｌとＣｒ（とＭ）の複合窒化物層、（ｃ）上部層として、組成式：（Ａｌ_１−αＣｒ_α）Ｎ_βまたは（Ａｌ_{１−γ−δ}Ｃｒ_γＭ_δ）Ｎ_ε（Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上）で表した場合、０．２≦α≦０．６、０．１０≦γ≦０．５４、０．０１≦δ≦０．２５、０．２≦γ＋δ≦０．６（但し、α値、γ値、δ値はいずれも原子比）を満足する平均組成を有し、かつ、上部層における窒素含有割合（β値、ε値。但し、原子比）が、中間層側から上部層表面に向かって減少する濃度分布構造を有し、しかも、上部層表面における窒素含有割合（β値、ε値）が、０≦β≦０．３５、０≦ε≦０．３５を満足する組成傾斜型のＡｌとＣｒ（とＭ）の複合窒化物層、を設ける。 （もっと読む）

【課題】溶着性の高い被削材の高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）下部層として、（Ａｌ，Ｔｉ）Ｎ層、（ｂ）中間層として、層厚方向にそって、Ｃｒ最高含有点とＣｒ最低含有点の間でＣｒおよびＡｌ含有量がそれぞれ連続的に変化する組成変化（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層、（ｃ）上部層として、組成式：（Ａｌ_１−αＣｒ_α）Ｎ_βで表した場合、０．０５≦α≦０．５０（α値は原子比）を満足する平均組成を有し、かつ、上部層における窒素含有割合（β値。但し、原子比）が、中間層側から上部層表面に向かって減少する濃度分布構造を有し、しかも、上部層表面における窒素含有割合（β値）が、０≦β≦０．３５を満足する組成傾斜（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層、を形成する。 （もっと読む）

【課題】有機層を用いることなく、耐熱性を向上させた反射防止膜を有するプラスチックレンズおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】プラスチックレンズ基材の表面に直接または他の層を介して多層反射防止膜を有するプラスチックレンズ。前記多層反射防止膜は、金属元素が同一であり、かつ酸素含有量が異なる少なくとも２つの金属酸化物層を隣接して有する複合層を含む。上記のプラスチックレンズの製造方法。前記複合層を構成する各金属酸化物層は、同一の蒸発源を用い、かつ隣接する層同士は、反応性酸素ガス分圧が異なる条件下で蒸着することで形成されることを含む。 （もっと読む）

【課題】溶着性の高い被削材の高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、（ａ）下部層として、（Ａｌ_１−ＸＴｉ_Ｘ）Ｎを満足する（但し、Ｘは原子比で０．３≦Ｘ≦０．７）ＡｌとＴｉの複合窒化物層、（ｂ）中間層として、（Ａｌ_１−αＣｒ_α）Ｎまたは（Ａｌ_{１−β−γ}Ｃｒ_βＭ_γ）Ｎ（ここで、Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分）を満足する（但し、α、β、γは原子比で０．２≦α≦０．６、０．１０≦β≦０．５４、０．０１≦γ≦０．２５、０．２≦β＋γ≦０．６）を満足するＡｌとＣｒ（とＭ）の複合窒化物層、（ｃ）上部層として、ＡｌとＣｒ（とＭ）の合金層を設ける。 （もっと読む）

【課題】溶着性の高い被削材の高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、（ａ）下部層として、０．５〜５μｍの平均層厚の（Ａｌ_１−ＸＴｉ_Ｘ）Ｎを満足する（但し、Ｘは原子比で０．３≦Ｘ≦０．７）ＡｌとＴｉの複合窒化物層、（ｂ）中間層として、０．５〜５μｍの平均層厚の（Ａｌ_１−αＣｒ_α）Ｎを満足する（但し、αは原子比で０．２≦α≦０．６）を満足するＡｌとＣｒの複合窒化物層、（ｃ）上部層として、０．２〜０．６μｍの平均層厚の（Ａｌ_１−ＸＴｉ_Ｘ）Ｎを満足する（但し、Ｘは原子比で０．３≦Ｘ≦０．７）ＡｌとＴｉの複合窒化物層、を設ける。 （もっと読む）

【課題】優れた結晶性を有するＩＩＩ族窒化物半導体層を形成できる製造装置を提供する。
【解決手段】基板１１上にＩＩＩ族窒化物半導体層をスパッタ法によって形成するための製造装置であって、チャンバ４１と、チャンバ４１内に配置されたＩＩＩ族元素を含有するターゲット４７と、ターゲット４７をスパッタして原料粒子を基板１１に供給する第１プラズマを発生させる第１プラズマ発生手段５１と、窒素元素を含む第２プラズマを発生させる第２プラズマ発生手段５２と、第１プラズマ発生手段５１と第２プラズマ発生手段５２とを制御して、チャンバ４１内に第１プラズマと第２プラズマとを交互に発生させる制御手段とを備えるＩＩＩ族窒化物半導体層の製造装置とする。 （もっと読む）

【課題】耐摩耗性と耐熱性とに優れたγ−アルミナベースの硬質皮膜を１０００℃以下で形成することができる耐摩耗性部材を提供する。
【解決手段】アルミニウム酸化物を基とする硬質皮膜を基材に被覆した硬質皮膜形成部材であって、硬質皮膜は、窒素を含有し、組成が次式（１）で示され、Ａｌ_１−ｘＭ_ｘ（Ｏ_１−ｙＮ_ｙ）_ｚ（０≦ｘ≦０．５、０＜ｙ≦０．５、ｚ＞０）…式（１）式（１）におけるＭは、第４族、第５族、第６族（Ｃｒを除く）、Ｙ、Ｍｇ、Ｓｉ、Ｂからなる群から選択される少なくとも１種の元素であり、硬質皮膜は基材の温度が４００〜６００℃において形成されることを特微とする。 （もっと読む）

【課題】低中硬度被削材の高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）下部層として、組成式：（Ｃｒ_1−ＸＡｌ_Ｘ）Ｎ又は組成式：（Ｃｒ_{1−Ｘ−Ｚ}Ａｌ_ＸＭ_Ｚ）Ｎ（Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上。０．４５≦Ｘ≦０．７５、０．０１≦Ｚ≦０．２５）を満足するＣｒとＡｌ（とＭ）の複合窒化物層、（ｂ）上部層として、層厚方向に沿って、Ｙ最高含有点とＣｒ最高含有点とが交互に繰り返し存在し、ＣｒとＹの含有割合が連続的に変化する成分濃度分布構造を有し、Ｙ最高含有点が、組成式：（Ｃｒ_１−αＹ_α）Ｎ（０．１６≦α≦０．２６）を満足し、Ｃｒ最高含有点が、組成式：（Ｃｒ_１−βＹ_β）Ｎ（０．０１≦β≦０．１０）を満足するＣｒとＹの複合窒化物層を蒸着形成する。 （もっと読む）

【課題】低中硬度被削材の高速高送り切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体の表面に、（ａ）組成式：（Ｃｒ_1−αＡｌ_α）Ｎあるいは組成式：（Ｃｒ_1−α−βＡｌ_αＭ_β）Ｎ（但し、Ｍは、Ｃｒを除く周期律表４ａ，５ａ，６ａ族の元素、Ｓｉ、Ｂ、Ｙのうちから選ばれた１種又は２種以上の添加成分を示し、原子比で、０．４５≦α≦０．７５、０．０１≦β≦０．２５）を満足するＣｒとＡｌ（とＭ）の複合窒化物層からなる下部層、（ｂ）組成式：（Ｃｒ_１−γＹ_γ）Ｎ（但し、原子比で、０．０１≦γ≦０．１）を満足するＣｒとＹの複合窒化物層からなる上部層、以上（ａ）、（ｂ）で構成された硬質被覆層を形成してなる表面被覆切削工具。 （もっと読む）