【課題】カソードが高温になっても、ピンとカソード保持リングが融着しない電子銃を提供する。
【解決手段】電子銃１０は筺体１１を有しており、筺体１１の内部には、カソード部材３１と、発熱装置３２と、アノード電極３が配置されている。カソード部材３１は、カソード電極１と、三個以上（ここでは４個）のピン１５と、保持部材５を有している。カソード電極１はタングステンであり、保持部材５の保持側孔７０の内周面には、タングステンより融点が高いカーボン、グラファイト、又はタンタルカーバイトが露出されており、カソード電極１が発熱装置３２により加熱されたときに輻射や熱伝導によって孔の内周面は融解せず、孔の内部に配置されたピン１５は固着しない。また、ピン１５と保持部材５が熱膨張したときに摩擦によるピンが抜けなくなる現象の発生が少なく、カソード電極１の位置ずれがおきない。 （もっと読む）

【課題】高出力電子銃において、カソードからの熱電子放出効率を上げる技術を提供する。
【解決手段】電子銃１０は筺体１１を有しており、筺体１１の内部には、カソード部材３１と、発熱装置３２と、アノード電極３が配置されている。カソード部材３１は、カソード電極１と、保持部材５とを有している。ピン１５は、タングステンで構成され、カソード電極１は、タンタルで構成されている。タンタルで構成されたカソード電極１は、タングステンで構成されたカソード電極１より低い温度で必要な電子放出量を得ることができるので、電子銃１０を用いて真空処理を複数回行う場合、カソード電極１からの輻射やカソード電極１からピン１５を介した熱伝導によって保持側接触面が従来より昇温せず、ピン１５は固着しない。 （もっと読む）

【課題】生産性が高く、かつ熱伝導性及び靭性、弾性等の機械的特性に優れる電気絶縁性熱伝導シートを提供する。
【解決手段】下方から上方へ向けて延在し、互いに離隔してなる複数のセラミック結晶体と、前記セラミック結晶体の隙間に充填されたゴム弾性を有する高分子体とを具え、前記セラミック結晶体の上部及び下部が、外方へ露出するようにして電気絶縁性熱伝導シートを構成する。 （もっと読む）

【課題】材料の蒸発速度とプラズマ密度を自由に設定し、成膜速度に対するガスバリア性を自由に設定出来、酸素バリア性および水蒸気バリア性に優れたガスバリア性積層体を生産する成膜装置を提供する
【解決手段】フィルム基材をロール・ツー・ロールで搬送する搬送手段と、フィルム基材へ蒸着材料を蒸着させる蒸着手段とを具備する成膜装置であって、蒸着手段が、蒸着材料を蒸発させる手段と、蒸発した蒸着材料をプラズマにより活性化させる手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】 電子ビームのターゲット表面への照射位置の制御を簡易且つ確実に行うとともに、電子ビームによる真空槽内部の損傷を低減することが可能な電子ビームの制御方法を提供する。
【解決手段】 電子ビーム発生器から水平方向に照射される電子ビームを、揺動コイルにより、電子ビームの進行方向に直交する方向に曲げて、真空槽の側面に設けられた導入口から導入し、前記真空槽の内側で偏向素子により下方に偏向して、電子ビームに対する入射角度が調整できるように支持されたターゲットに照射するための電子ビームの制御方法であって、前記揺動コイルを、前記電子ビームの進行方向と直交する２軸方向において磁場を印加するために制御電流I_x及びI_yが通電できるように構成し、前記制御電流I_x及びI_yとして複数の電流値を通電した際に、前記各電流値に対する前記電子ビーム発生器内部の各磁場及び前記真空槽内の各磁場を演算により求め、前記電子ビーム発生器内部の各磁場及び前記真空槽内の各磁場に基づいて、電子ビームが前記ターゲット表面に到達する各座標（ξ，η）を演算により求めるステップと、前記各電流値及び前記各座標（ξ，η）から、前記座標（ξ，η）を変数として前記制御電流I_x,I_yを回帰した関数I_x=f_x（ξ，η）及びI_y=f_y（ξ，η）を演算により求めるステップと、前記関数I_x=f_x（ξ，η）及びI_y=f_y（ξ，η）に基づいて、前記揺動コイルの制御電流を制御するステップとを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【解決課題】スケールアップをしても、蒸着時の真空加熱下でのスプラッシュ現象が生じず、且つ、均一な亜酸化チタンを提供すること。
【解決手段】 二酸化チタン粉末と金属チタン粉末、または二酸化チタン粉末と水素化チタン粉末、または二酸化チタン粉末と金属チタン粉末と水素化チタン粉末の混合粉末を不活性雰囲気下または真空雰囲気下で溶解し、亜酸化チタンを得る溶解工程を有する亜酸化チタンの製造方法であって、該溶解工程において、該原料の混合粉末を溶解し、固化した後、１回以上、溶解固化体を裏返し、一端から他端へ向かって溶解し、固化する再溶解操作を行うこと、を特徴とする亜酸化チタンの製造方法。 （もっと読む）

【課題】待機時においても蒸着装置内部の温度を下げないことで生産再開時の立ち上げ時間ロスを無くすとともに、搬送治具への不要な蒸着粒子付着を抑制し、信頼性の高い基板への薄膜形成を実現する。
【解決手段】ターゲットに電子ビームを照射して搬送治具に載置された基板に薄膜を形成する薄膜形成方法であって、搬送治具に載置された基板に薄膜を形成する成膜時と、搬送治具への基板の載置がない待機時とで、電子ビームを発生させる電子ビーム源である電子銃への投入パワーを略同一とし、かつ、待機時のターゲットに照射する電子ビームの照射領域を異ならせることによって、蒸着装置内部の温度を保ったまま、成膜レートを抑制する。 （もっと読む）

【課題】蒸着材料供給時に生じる飛沫を抑え、投入時の液面の波紋が蒸着に与える影響を低減し、また蒸着材料のロスを少なくする。
【解決手段】真空状態となった真空室１２内に、送りロール１３と巻取りロール１４を設けてベースフイルム１５を走行させる。各ロール１３，１４は、ベースフイルム１５の幅と略同じ円筒状、冷却キャン１６の幅方向の長さはルツボ３１と略同じ円筒状で、内部に冷却水が流れ、ベースフイルム１５の温度上昇による変形等を抑制する。また真空室１２内には、冷却キャン１６と略同じ幅で設けられたルツボ３１には、蒸着材料（固体状態）２０ａを溶解用電子銃２１Ｂで溶融させて供給する。このルツボ３１は、蒸着材料蒸発部分３１Ａと、これに直角に設けられた蒸着材料溶融部分３１Ｂからなる。この蒸着材料溶融部分３１Ｂにより、蒸着材料（固体状態）２０ａを供給する際に生じる波紋の影響を防止して、安定した蒸着を行う。 （もっと読む）

空洞（６）を有し、カソードとして機能するように構築される中空エレメント（５）を備える装置（１）と、前記中空エレメント（５）の空洞（６）内に少なくとも部分的に配置される前記主電極（７）と、前記主電極（７）を電気的に接地する抵抗（１２）と、カソードの壁を通じて延伸する実質的に誘電体からなるチューブ状素子（２１）と、 接地され、チューブ状素子（２１）の周囲に配置されたリング形状アノード（２５）と、カソード（５）に電気的に接続され、約１０nsで少なくとも８ＫＶのカソードの電位を減少可能な前記活性化グループ（１１）とを備え、プラズマを生成しターゲット（３）に向かって電子流を導くための装置である。 （もっと読む）

【課題】フィルム基材の帯電現象による問題を回避しながら、電子ビーム加熱による蒸発物質の蒸着を可能にし、巻取り走行されるフィルム基材に損傷のないバリア性薄膜を安定に成膜できるようにした巻取り式蒸着装置及び巻取り式蒸着方法並びにバリアフィルムを提供する。
【解決手段】電子ビーム１９により加熱されて蒸発する蒸発物質を、巻取り走行されるフィルム基材１２に蒸着してガスバリア性の薄膜を形成する巻取り蒸着装置において、表面にガスバリア性薄膜を蒸着させたフィルム基材１２を、成膜ロール１５から剥離直前に加熱する加熱手段と、成膜ロール１５に正の電位を印加して、巻出し・巻取り室２０内でフィルム基材１２が成膜ロール１５から剥離された後の、フィルム基材１２と成膜ロール１５との間にプラズマ２７を発生させる電位印加手段とを備える。 （もっと読む）