【課題】可視光の光学吸収が少なく密着性の良好なフッ化マグネシウム等のフッ化物薄膜をプラスチック基材上に真空蒸着法により高速で、且つ極めて安定した成膜速度で連続的に形成する。
【解決手段】
プラスチックフィルム（４）を連続的に巻出す巻出し部（２）と、
巻出し部（２）から巻き出されたプラスチックフィルム（４）を巻き取る巻取り部（３）と、
巻出し部（２）と巻取り部（３）との間に配置されたメインロール（５）と、
高い材料密度と微細な空孔を有する固体材料、または、充填密度の高い顆粒材料、または、前記固体材料と前記顆粒材料との混合材料であり、かつ、フッ化マグネシウムを主体とするフッ化物を含み、かつ、メインロール（５）に対向配置された蒸着材料（６）と、
蒸着材料（６）に電子ビームを照射する電子銃（７）と、
蒸着材料（６）を連続的に供給する供給手段と、
を備える真空槽（１）を有する真空蒸着装置。 （もっと読む）

【課題】フィラメントと融着することなく、フィラメントを十分に固定することのできるフィラメント固定機構を提供する。
【解決手段】フィラメントの端部４ＡＴを挟んで対向配置された第１および第２の部材２０，３０と、フィラメントの端部４ＡＴと共に第１および第２の部材２０，３０の間に挟まれた押さえ板４０と、第２の部材３０を第１の部材２０に締結するボルト５０とを備える。第１の部材２０は、ボルト５０の締め付け方向と交差する方向に支柱部２１から突き出した腕部２２，２３を有する。第２の部材３０は、平板部３１の両端部に立設する鉤部３２，３３を有する。ボルト５０を締め付け方向に回転させることで、腕部２２，２３と鉤部３２，３３とが当接したのち、押さえ板４０と支柱部２１の接触領域２１Ｓとによってフィラメントの端部４ＡＴが十分強固に把持される。 （もっと読む）

【課題】複雑な外形を有する加工物の全面に所望通りに被覆材料を付着させる装置を提供する。
【解決手段】加工物に真空めっきを施す装置１０は、被覆材料を内包し、高温かつ準大気圧で作用しうるめっきチャンバと；めっきチャンバ内および被覆材料上に電子ビームを照射し、被覆材料を溶解させ溶融被覆材料を気化させるよう作用しうる電子ビーム銃と；めっきチャンバ１４内における加工物１２の支持および操作を行う機構３４とを含む。支持機構３４は、加工物を保持する結合装置５８と；加工物の全方向の移動を可能にする継手と；結合装置５８と継手とを接続する中間部材と；加工物を所定の垂直面６６内において移動させる装置とをさらに含む。支持機構３４は、中間部材に接続し加工物を所定の水平面において移動させる装置９２を含みうる。 （もっと読む）

【課題】蒸着材料をハース内に載置するに際し、外周方向に散乱してビーム照射領域から外れてしまうことを防止して、蒸着材料をハースの中心領域へ確実に載置をすることが可能であって、それにより、効率的に蒸着材料へのビーム照射を行うことが可能となる真空蒸着装置ならびに該装置に着脱可能な蒸着材料の散乱防止治具およびその使用方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る真空蒸着装置は、ハースに固形状の蒸着材料を載置する際に、該蒸着材料の該ハース内での散乱を防止する治具が着脱可能に設けられ、該治具は、前記ハース内に収容可能な外形を備え、且つ、中央に前記蒸着材料の載置領域を規制する開口部を備える。 （もっと読む）

【課題】位相制御素子の故障を検出することのできる電子ビーム発生装置を提供する。
【解決手段】交流電力の導通角を制御する位相制御手段３と、前記位相制御手段により位相制御された交流電力を昇圧整流し直流電圧に変換する昇圧整流回路４，５と、前記直流電圧が加速電圧として供給される電子銃８と、前記加速電圧を検出した検出信号に基づいて加速電圧が一定になるように前記位相制御手段を制御する制御回路１５とを備えた電子ビーム発生装置において、前記加速電圧を検出した検出信号に基づいて加速電圧の脈動分の増加を検出する異常検出回路を設けた。 （もっと読む）

【課題】所定の組成比の膜を成膜して高靱性、耐摩耗性と密着力向上とを両立させる。
【解決手段】Ｎ2 ガスの導入手段を有する真空槽１１と、Ｍ（Ｍは、Ｔi またはＣr ）用、Ａl 用のハース３１、３１と、ホローカソード形の電子銃２０、２０と、電子ビーム電源と、ワークＷ、Ｗ…用のバイアス電源と、質量分析計５０と、組成比制御系とを設ける。 （もっと読む）

【課題】電池用極板に用いる活物質層等の電子ビーム蒸着における、輻射熱軽減を実現するための成膜装置を提供すると共に、これを用いた生産性、安定性に優れた成膜方法を提供すると共に、これを用いた成膜方法を提供すること。電池用途に限らず、広く真空成膜装置一般における熱負荷課題の解決を図る。
【解決手段】蒸発材料３１を保持する容器３２の上面の一部を遮蔽する遮蔽板３７によって３以上の溶融面領域に分割された溶融領域に選択的に電子ビームが照射される蒸発機構によって成膜を行う。 （もっと読む）

【課題】容量維持率、ハイレート特性や低温特性や信頼性に優れた非水電解質二次電池用負極とその製造方法およびそれを用いた非水電解質二次電池を提供する。
【解決手段】非水電解質二次電池用負極であって、少なくとも片面に凹部１２と凸部１３が形成された集電体１１と、集電体１１の凸部１３上に斜立して形成された柱状体部をｎ（ｎ≧２）段に積層した構成を有する柱状体１５と、を備え、柱状体１５の内部に、リチウムイオンの吸蔵・放出による膨張・収縮の小さい層１５５ｂを設けた構成を有する。 （もっと読む）

【課題】ＥＢ−ＰＶＤチャンバ内部の溶融プールの一定の相対液面を監視して維持するように設計された、独立したシステムを備えるＥＢ−ＰＶＤ装置を提供する。
【解決手段】電子ビーム物理蒸着装置において送り速度を調整する方法は、電子ビーム物理蒸着装置のチャンバ内部の第１の高さにターゲットを位置決めするステップと、電子ビーム物理蒸着装置の電子銃によって生成される電子ビームの中に所定の速度でターゲットを送るステップと、電子のビームでターゲットを蒸発させるステップと、チャンバに近接して配置された光センサを使用してターゲットの少なくとも１つの画像の第１の光強度と第２の光強度の差を測定することによって第１の高さを監視するステップと、第１の高さの変化を求めるステップと、ターゲット送り速度を調整するステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】蒸発により飛散した物質がポールピース上に堆積していくのを防止するとともに、真空チャンバ内、特にポールピースの周囲に余分な残骸物を残しておくような状況をつくり出さないことの可能な真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】ポールピース５１を蒸発により飛散した物質から遮蔽するポールピースカバー１５と、該ポールピースカバー１５を所定の支点を中心として回転駆動し及び並進駆動する駆動手段を備える。そして、前記ポールピースカバー１５を被打撃体２０の被打撃面に所定回数衝突させて、当該ポールピースカバー１５に付着した物質を該ポールピースカバー１５から剥落させるように、前記駆動手段を駆動制御する制御手段を備える。 （もっと読む）