【課題】カイロ包材などに適用し得る、ガスのバリア性能を低下させ、一方で水蒸気のバリア性能に優れるガスバリア性フィルムおよび該ガスバリア性フィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】真空チャンバー２４２内で、るつぼ２４７に有する蒸着源２４８にエレクトロンビーム１２０を照射することにより蒸着源２４８を蒸発させ、コーティングドラム２４６上に案内された基材フィルム２０１の上に蒸発した蒸着源２４８による無機酸化物の蒸着膜２０を形成し、蒸着源２４８へのエレクトロンビーム１２０の入射位置より前方であって、るつぼ２４７の蒸着源２４８が接する内側壁面１４０を、蒸着源２４８が接する内側底面１５０の接線ｌに対して３０°〜６０°の間の角度θで傾斜させて設ける。 （もっと読む）

【課題】真空蒸着法を用いて透明高分子フィルム基材の上に酸化珪素膜を蒸着したフィルムで、着色せず透明であり、かつ、ガスバリア性能を有する、両面の利点を兼ね備えた透明ガスバリア性フィルムを得る。
【解決手段】減圧下で酸化珪素材料をビーム加熱蒸着法により蒸発させることで酸化珪素粒子を得、かつ、前記酸化珪素材料の近傍に水蒸気および二酸化炭素の反応性ガスを導入し、前記酸化珪素粒子を透明高分子フィルム基材の片面もしくは両面に蒸着することで前記透明高分子フィルム基材上に酸化珪素膜を形成することで透明ガスバリア性フィルムを製造する。 （もっと読む）

【課題】 単一の電子銃の本体部を用いつつ特定の構成要素のみを交換することにより異なるニーズにそれぞれ対応することが可能な蒸着用電子銃を実現する。
【解決手段】 単一の電子銃の本体部１０を用い、磁性体からなる立設のポールピース１１ａ，１１ｂが固定された、磁気回路を形成する磁性体からなる回路形成部材１５ａ，１５ｂおよび非磁性体からなる上部カバー１３と、磁性体からなる横設のポールピース２１ａ，２１ｂおよび本体部１０内より射出された電子ビームの軌道を微調整する磁性体からなるビーム軌道調整部材２３ａ，２３ｂが固定された、磁気回路を形成する磁性体からなる回路形成部材２２ａ，２２ｂおよび非磁性体からなる上部カバー２４とのいずれも本体部１０の上部に装着可能とする。 （もっと読む）

【課題】ＭｇＯ保護膜の耐久性を損うことなく、しかもこのＭｇＯ保護膜を用いたＦＰＤの放電応答特性及び発光効率を向上する。
【解決手段】ＦＰＤ用のＭｇＯ保護膜１３の表面に窪み１３ａを形成するとともに粒子１３ｂを付着させる表面処理用蒸着材１１は、ＭｇＯを主成分とし平均粒径が０．５μｍ〜１ｍｍである。この表面処理用蒸着材１１をＭｇＯ保護膜１３の表面にスプラッシュさせることにより、平均穴径５０ｎｍ〜１００００ｎｍの窪み１３ａが形成され、かつ平均粒径５０ｎｍ〜１００００ｎｍの粒子１３ｂが付着される。 （もっと読む）

【課題】 従来の電子ビ−ム加熱方式を採用した薄膜形成装置は、単に金属試料に電子ビ−ムを照射するだけであったので、金属試料表面に照射した電子ビ−ムの多くが反射電子となってルツボ外に放射され、試料に対する過熱効率が低いものになっていた。
【解決手段】 本発明の薄膜形成装置は、電子ビ−ムを照射する第１試料を収めた第１ルツボから放射される反射電子を第２ルツボ内に収めた第２試料に直接照射することにより、試料の過熱効率を改善したものである。 （もっと読む）

本発明は、真空作業チャンバ（２）と、電子ビーム（７）を生成するためであって、蒸着すべき材料（５）を加熱可能であるアキシャル放射器（６）と、前記材料（５）と成膜されるべき基板（３）との間に配置されていて、材料蒸気を前記基板（３）に通す少なくとも１つの蒸気アパーチャ（１０）を有している絞り（９）とを含んでいる、電子ビーム蒸発装置であって、その際前記絞り（９）は磁石系（１４）を有しており、該磁石系を用いて電子ビーム（７）は前記蒸気アパーチャ（１０）を通って前記蒸発されるべき材料（５）に偏向可能である。
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【課題】昇華性の成膜材料６からの安定して分子を放出すると共に、成膜材料６の歩留まりを向上する。
【解決手段】薄膜形成装置は、成膜材料６に向けて電子束を照射する電子銃５を備え、この電子銃５から成膜材料６に電子束を照射し、成膜材料６から分子を放出して個体表面に被着させ、薄膜を形成するものであり、成膜材料６を回転させる回転機構４を備え、成膜材料６を回転しながらその表面に電子銃５から電子束を照射することにより、成膜材料６の表面に対する電子束の照射位置を変えながら分子を放射するものである。このような薄膜形成装置は、特に成膜材料６の表面に対し電子銃５から斜めに電子束を照射する形式のものに適用するとその効果が大きい。また、成膜材料６は電子束の照射により溶融せずに分子を放出する昇華性のものからなるものに適用するのが最適である。 （もっと読む）

【課題】電子ビーム蒸発源を用いた真空蒸着装置において、連続蒸着処理能力の増大を可能とした真空蒸着装置および方法を提供する。
【解決手段】電子ビーム蒸発源を搭載した真空蒸着装置において、装置内の所定の部材を被装する防着カバー、及び防着カバーを移動させる駆動源を備える構成とした。ここで、複数の防着カバーを用いて、その複数の防着カバーのうちの１つが蒸発源に対向する位置に配置され、蒸着源に対向する位置に配置される防着カバーが駆動源によって交換される構成とした。 （もっと読む）

本発明は、高粘着性抗菌フィルムでポリマ表面をコーティングするように適合されたイオンプラズマ蒸着（ＩＰＤ）法に関する。制御されたイオンプラズマ蒸着（ＩＰＤ）プロセスが、選択された金属／金属酸化物で金属またはポリマをコーティングするために使用される。コーティングされた表面を紫外線に露出させることが、堆積されたコーティングの抗菌特性をかなり改善する。本発明は以下の方法を提供する。該方法は、高粘着性抗菌コーティングを生成する方法であって、第１の実質的にマクロ粒子のない金属コーティングを、選択された基板に堆積させることと、該第１のコーティング上に表面層を形成するために、第２のマクロ粒子が密集した金属コーティングを堆積させることと、該表面層を１２０ｎｍ〜４００ｎｍの範囲内の紫外光に露出させることとを包含する。
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【課題】 ターボ機械のブレードやベーンなどにおける、砂塵に関連した疲労に耐久できるように設計されたサーマルバリアコーティングを提供する。
【解決手段】 ターボ機械の物品をコーティングする方法が、物品に任意選択的にボンディングコート層を適用し（ステップ１０）、物品にサーマルバリアコーティング層を適用し（ステップ１２）、コーティングされた物品を少なくとも一つの紫外線硬化性樹脂もしくは熱硬化性樹脂を含む溶液と接触させ（ステップ１４）、このコーティングされた物品を硬化処理し（ステップ１６）、乾燥処理する（ステップ１８）ステップを備える。本発明のコーティング組成により、ターボ機械の運転時に砂塵が浸入してコーティング表面に溶融付着しても、この溶融砂粒のうち少なくとも一つの成分と反応して新たにシーラント層を形成し、磨耗や破損から物品を効果的に保護する。 （もっと読む）