【課題】容易に溶け跡の平坦化作業を行える電子銃蒸着用電子銃装置を提供する。
【解決手段】電子ビーム軌道を所定角度曲げてるつぼ６内の蒸着材料７に照射し、該蒸着材料７を溶融してその蒸着材料の蒸気を上部に配置された被蒸着基板に付着させて薄膜を形成させるように構成させた電子ビーム蒸着用電子銃装置において、偏向コイル３による電子ビーム軌道と、走査コイル５による電子ビーム軌道とを制御する電子ビーム軌道制御手段と、該電子ビーム軌道制御手段により前記蒸着材料７へ入射する電子ビーム８の入射角を制御する入射角制御手段とを設け、これら電子ビーム軌道制御手段と入射角制御手段とを動作させることにより、るつぼ６内の蒸着材料の溶け具合の平均化を図る。 （もっと読む）

【課題】昇華する昇華材料を安定的に合成樹脂フィルム上に付着させることにより成膜して合成樹脂フィルムの上の成膜の特性を向上させること。
【解決手段】本発明の真空成膜装置１は、真空雰囲気下にある真空室内において合成樹脂フィルム７の少なくとも一方の面に昇華される昇華材料を蒸着して成膜する。真空成膜装置１は、材料容器９に収容された昇華材料９ａを電子線発生手段８の電子線により昇華させる手段と、昇華材料９ａの近傍に加熱水蒸気を供給する加熱水蒸気供給手段１４と、昇華材料９ａ及び前記加熱水蒸気の両方にマイクロ波を照射させて昇華材料９ａの蒸気を酸化反応させるマイクロ波発生手段１２と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】膜材の気化によりハースに付着した成膜堆積物の再気化を抑制、または成膜堆積物がハースに堆積するのを抑制して、ワークに安定した膜特性を有する被膜を成膜することができるイオンプレーティング装置および成膜方法を提供すること。
【解決手段】真空チャンバ３の内部におけるハース５の露出面５ｂの表面温度を、タブレット２１の気化によりハース５の露出面５ｂに付着した成膜堆積物の再気化を抑制する第１の温度領域、または気化したタブレット２１のハース５の露出面５ｂに対する付着を抑制する第２の温度領域に制御する構成にした。 （もっと読む）

【課題】蒸着速度を低下させることなくＸ線による悪影響を避け得る電子ビーム蒸着装置を提供する。
【解決手段】真空容器１内に配置された坩堝２内の蒸着材料に電子ビームＥＢを照射し、この電子ビームの照射により蒸発した蒸着材料を真空容器１内の基板ホルダー４に保持された基板Ｋ表面に付着させて薄膜を形成するための蒸着装置であって、坩堝２と基板Ｋとの間に円筒体からなるＸ線遮蔽体１１を水平軸心回りで回転自在に配置するとともに、このＸ線遮蔽体１１を加熱するヒータ１３を具備し、且つＸ線遮蔽体１１を、坩堝２の開口部からＸ線を被蒸着部材に照射した際に、Ｘ線ＲによるＸ線遮蔽体１１の投影部分が被蒸着部材の薄膜形成範囲に略一致するような大きさにしたものである。 （もっと読む）

【課題】ピアス式電子銃の円盤状のカソード２を、カソード２より大径の外周リング２１に３本以上の支持ロッド２２を介して支持させるカソード支持構造において、カソード及び支持ロッドの熱膨張により支持ロッドの座屈を生ずることを防止できると共に、カソードからの熱引けを効果的に抑制できるようにする。
【解決手段】各支持ロッド２２を、カソード２と外周リング２１との間に、支持ロッド２２の軸線が該軸線と外周リング２１の内周面との交点とカソード２の中心とを結ぶ直線Ｌに対しカソード２の周方向一方に傾むくように配置する。また、支持ロッド２２の軸線に合致する直線とこの直線に平行でカソード２の中心を通る直線とをカソード２の軸線に直交する平面に射影したときの２直線間の距離を偏心量δとして、δが全ての支持ロッド２２で等しくなるようにする。 （もっと読む）

基板上に薄膜を堆積するための方法及びシステムは、基板上方に位置付けた蒸気供給流源からの蒸発可能材料を導入することを含む。蒸発可能材料は蒸発され、蒸気供給流源から蒸気供給流として基板から離れる方向に向けられる。蒸気供給流は、リディレクタから基板の方へ向きなおされて、基板上に薄膜として堆積される。 （もっと読む）

【課題】 コアにコイルを巻いて構成した電磁偏向器により電子ビームを被照射物に照射する際に、所望の位置に正確に電子ビームを照射することが出来る様にする。
【解決手段】
強磁性体をコアに持つ電磁偏向器２のコイルに電流を流すことによって、電子銃５から発生された電子ビームを偏向し、被照射物に照射する様にした電子ビーム照射方法において、前記電磁偏向器２による電子ビームの偏向範囲において、最大偏向させる電流を前記コイルに流す工程と、最小偏向させる電流を前記コイルに流す工程とを、交互に複数回くり返した後に、前記コイルに所望の電流を流す様にした電子ビーム照射方法。 （もっと読む）

【課題】 反射電子トラップの反射電子捕獲率を大幅に向上させる。
【解決手段】 真空チャンバ１内において、坩堝８内に収容された蒸発材料７に電子銃９からの電子ビームＥＢを照射することにより蒸発材料７を蒸発させ、蒸発粒子を基板４上に付着させる様に成す。真空チャンバ１内に設けられ、蒸発材料７で反射した電子ビームを捕獲するための反射電子トラップ２１は、反射電子が入射する開口部を有する箱状の形状を成しており、反射電子を偏向させる磁界をその箱の内部に発生させるための磁極と、磁界により偏向された反射電子が入射する面に配置される電子吸収体とを成す。 （もっと読む）

【課題】砂付着に対して強い耐性を有し、粒子衝突時の表面仕上げ、硬度、高サイクル疲労強度の劣化が最小限又はゼロに抑えられ、且つ、エアフォイル領域及び表面形状に与える影響が最小限になる表面を有するタービンエンジン部品を提供すること。
【解決手段】耐砂付着性を有するタービンエンジン部品１０の表面１４であって、基材１２と、該基材上に堆積されてコーティング表面１６を形成する炭化物及び／又は窒化物コーティングとから成り、該コーティングの表面の粗度（Ｒａ）が１２マイクロインチ未満である、タービンエンジン部品１０の表面１４。 （もっと読む）

【課題】本発明はロールツーロールタイプの薄膜形成装置に関する。
【解決手段】薄膜パターン形成装置は、マスク積載部と、上記マスク積載部と開閉可能な開放口が設けられた成膜空間部を有する真空チャンバと、上記成膜空間部に配置され、シートを走行させる巻出ロール及び巻取ロールと、蒸着ソースを収容して蒸着ソースを蒸発させ蒸着領域上に位置した上記シート上に薄膜を蒸着させるように装着されたソース載置部と、上記シート上に蒸着しようとする薄膜のパターンを定義するパターンを有し、上記マスク積載部に備えられた少なくとも一つのマスクと、上記マスク積載部において備えられた少なくとも一つのマスクを上記成膜空間部の蒸着位置にまたはその反対に搬送させることができるよう構成されたマスク移動部と、上記ソース載置部において上記マスクに蒸発される蒸着ソースの進行を選択的に遮蔽させるシャッタ部とを含む。 （もっと読む）