蒸着装置およびそれを用いた蒸着方法
【課題】蒸着材料供給時に生じる飛沫を抑え、投入時の液面の波紋が蒸着に与える影響を低減し、また蒸着材料のロスを少なくする。
【解決手段】真空状態となった真空室１２内に、送りロール１３と巻取りロール１４を設けてベースフイルム１５を走行させる。各ロール１３，１４は、ベースフイルム１５の幅と略同じ円筒状、冷却キャン１６の幅方向の長さはルツボ３１と略同じ円筒状で、内部に冷却水が流れ、ベースフイルム１５の温度上昇による変形等を抑制する。また真空室１２内には、冷却キャン１６と略同じ幅で設けられたルツボ３１には、蒸着材料（固体状態）２０ａを溶解用電子銃２１Ｂで溶融させて供給する。このルツボ３１は、蒸着材料蒸発部分３１Ａと、これに直角に設けられた蒸着材料溶融部分３１Ｂからなる。この蒸着材料溶融部分３１Ｂにより、蒸着材料（固体状態）２０ａを供給する際に生じる波紋の影響を防止して、安定した蒸着を行う。
【解決手段】真空状態となった真空室１２内に、送りロール１３と巻取りロール１４を設けてベースフイルム１５を走行させる。各ロール１３，１４は、ベースフイルム１５の幅と略同じ円筒状、冷却キャン１６の幅方向の長さはルツボ３１と略同じ円筒状で、内部に冷却水が流れ、ベースフイルム１５の温度上昇による変形等を抑制する。また真空室１２内には、冷却キャン１６と略同じ幅で設けられたルツボ３１には、蒸着材料（固体状態）２０ａを溶解用電子銃２１Ｂで溶融させて供給する。このルツボ３１は、蒸着材料蒸発部分３１Ａと、これに直角に設けられた蒸着材料溶融部分３１Ｂからなる。この蒸着材料溶融部分３１Ｂにより、蒸着材料（固体状態）２０ａを供給する際に生じる波紋の影響を防止して、安定した蒸着を行う。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録媒体などの記録材料の蒸着に用いられる蒸着装置およびそれを用いた蒸着方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
磁気記録媒体の容量は、長時間記録や記録装置の小型化により、高容量化が求められている。磁気記録媒体の中でコバルトを中心とするメタルテープは、現在ＤＶＣ（Digital Video Cassette）に広く使われている。その材料としては、Ｃo，Ｃo-Ｎi，Ｃo-Ｃrなどの合金が使われることが多い。これらについて、低コスト化は必須の項目であり、高速にかつ安価に製造する方法が求められている。製造時の歩留りは、低コスト化を実現するための最重要項目の一つである。これは、歩留りが低く、磁気記録媒体に一箇所の欠陥でも存在すると、ドロップアウトとなって記録信号が書き込まれないため、その磁気記録媒体が再生できなくなるためである。
【０００３】
ドロップアウトの数は少なければ少ないほど記録信号の品質がよくなり、より正しい再生がなされる。特に、デジタル信号の記録のためには、より欠陥の少ないものが要求されてきている。磁気記録媒体に対する記録材料の製膜方法には幾つかあるが、現在は、コストと高速生産の観点から、蒸着による製造が一般的である。この蒸着による製造法で歩留りを悪くする最大の要因は、磁気記録媒体に発生する突起と呼ばれる欠陥である。
【０００４】
この欠陥は、蒸着基材（磁気記録媒体の基材）に付着したゴミや基材製造時にできる異常突起や凹みに起因するものもあるが、蒸着時にできるものも多い。その中でも、スプラッシュと呼ばれる、蒸着材料の供給や突沸などにより、記録材料の小さい塊が蒸着基材に付着する欠陥が多い。このスプラッシュが発生すると、均一な膜とならず、蒸着基材に突起が発生する。
【０００５】
この欠陥を防止する方法が幾つか提案されている。
【０００６】
その一例として、図１２のように、蒸着材料のペレットをホッパー９から傾斜させた供給路５を通してルツボ１に供給する方法がある（例えば、特許文献１参照）。これは、供給路５に湾曲部６，７を設けて、この湾曲部６，７で、一旦蒸着材料のペレットを減速させてからルツボ１に供給し、固体物（蒸着材料のペレット）が液体（溶解した蒸着材料）に供給された時に発生する飛沫を極力防止する方法である。
【０００７】
また、図１３のように、ルツボ１に逆凸状の仕切り板２Ａを設け、ベースフイルム１５の冷却キャン１６に仕切り板２Ｂを設け、蒸着材料のペレット２０が固体のまま１Ａに対応する液面を通過しないようにして、蒸着材料のペレット２０が溶融材料の上を走らないようにした方法がある（例えば、特許文献２参照）。
【０００８】
また、図１４のように、送りロール１３と巻取りロール１４とベースフイルム１５と冷却キャン１６とが設けられ、蒸着材料１０を溶解専用電子ビーム４Ｂで溶融し、ルツボ１へ供給し、蒸発専用電子ビーム４Ａで蒸発させることにより、供給時に発生する飛沫や突沸を防止する方法がある（例えば、特許文献３参照）。
【０００９】
しかしながら、どの方法もスプラッシュの低減には一定の効果を得ることはできるが、満足のいくものではない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特許第３０９５５３４号公報
【特許文献２】特許第３７０７１１４号公報
【特許文献３】特公昭６１−４７２２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
前述したように、蒸着による製造においては、歩留りを落とすスプラッシュが大きな問題である。スプラッシュの原因については、はっきりわかってはいないが、幾つかのはっきりした原因も知られている。例えば、蒸着材料がペレット状の場合、電子ビームなどで加熱溶融された蒸着材料にペレットを落下させることになり、ペレットが静かに溶け込まずに溶融材料の上を走ったり爆発したりする。その際に、材料の飛沫が蒸着基材に付着し突起欠陥となる。
【００１２】
その対策として、特許文献１のように、飛沫の発生を少なくするために供給するペレットをソフトに落下させる、あるいは転がし入れるなどの方法が提案されている。また、特許文献２のように、ルツボに逆凸状の仕切り板を設け、蒸着材料が固体のまま液面を通過しないようにして、固体の蒸着材料が溶融した蒸着材料の上を走らないようにした方法や、特許文献３のように、蒸着材料を溶解専用電子ビームで溶融し、ルツボへ供給することによって、供給時に発生する飛沫や突沸を防止する方法が提案されている。
【００１３】
しかしながら、データ記録に使用される磁気記録テープでは、ドロップアウト数が１０個／分以下でないと、欠陥補正を行っても記録の欠落につながる重大欠陥となる。
【００１４】
特許文献１の方法では、飛沫の発生を少なくできても、落下時の溶融材料表面に発生する波紋をなくすことはできないという問題を有している。
【００１５】
我々が鋭意研究した結果、溶融材料表面で発生した波紋が、スプラッシュを発生させていることがわかった。特許文献１の方法では、飛沫の発生を少なくできても波紋の発生を抑えることができないために、波紋から発生するスプラッシュを抑えることはできない。
【００１６】
また、特許文献２の方法は、波紋並びに溶融材料の上を走ったり爆発したりした時に発生するスプラッシュには有効であるが、飛沫の発生を抑えることはできないという問題を有している。飛沫防止の目的でルツボの上方に仕切り板を設けているが、斜方蒸着では蒸着材料が被蒸着物に付着する割合が１０％未満とされており、残りの約９０％が被蒸着物以外に付着する。このため、ルツボを長くすればするほど蒸着材料が無駄になるだけではなく、他の部位に付着した蒸着材料が熱による再溶融で溶け出してルツボ上に落下するために、スプラッシュの最大原因と考えられる飛沫や溶融材料表面にできる波紋の原因になる場合がある。特に、特許文献２ではルツボからの距離が近く、仕切り板に付着した蒸着材料が輻射熱で再溶融して溶け出し、飛沫や溶融材料表面にできる波紋によりスプラッシュになる。
【００１７】
また、より安価な棒形状のものを使用する特許文献３の製造装置でも、やはり飛沫は発生する。通常、棒状の蒸着材料は電子銃からの電子ビームで加熱溶融し、解けた材料の雫として供給するが、落下時に飛沫が発生したり、落下時の溶融材料表面にできる波紋がルツボの蒸着部分に影響して欠陥を生ずることがある。この影響をなくするために、ルツボを長くし溶融部分と蒸着部分の距離を置くなどしている。このため、材料のリサイクルの観点からも他部位への付着量が多ければ多いほど、回収に時間がかかると共に不純物の混入などの弊害が発生し、分別回収が難しくなり、一部材料廃棄などにつながり、安価なものづくりの妨げになっている。
【００１８】
前述したように、特許文献１，２，３の現状方式では効果はあるが、なお欠陥が残るために不十分である。
【００１９】
本発明は、前述した問題に鑑みて考案されたものであり、蒸着材料の供給時に発生する飛沫を抑え、さらに投入時の液面の波紋が蒸着に与える影響を低減すると共に、蒸着材料のロスをできるだけ少なくする蒸着装置およびそれを用いた蒸着方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明は前記の目的を達成するため、請求項１に記載の蒸着装置は、蒸着層が形成される蒸着基材を搬送しながら冷却する冷却キャンと、前記蒸着層を形成する蒸着材料が充填されるＬ字形のルツボと、前記ルツボ内の蒸着材料に電子ビームを照射する電子ビーム照射手段と、を備え、前記ルツボは、前記冷却キャンの幅方向に伸びた蒸着材料蒸発部分と、前記幅方向と直角に伸びた蒸着材料溶融部分とを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、スプラッシュの原因となる蒸着材料の供給時に発生する飛沫を抑え、さらに投入時の液面の波紋が蒸着に与える影響を低減することにより、スプラッシュが原因で発生するドロップアウトを減少させ、テープの品質を向上させることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施の形態１における（ａ）は蒸着用ルツボの斜視図、（ｂ）は蒸着装置の概略構成図
【図２】本実施の形態１における蒸着装置の概略上面図
【図３】本実施の形態１におけるルツボの（ａ）は上面図、（ｂ）は正面の断面図、（ｃ）は右測面の断面図
【図４】従来方式の波紋とスプラッシュの関係を説明する図
【図５】本実施の形態１における波紋とスプラッシュの関係を説明する図
【図６】本発明の実施の形態２におけるルツボの上面図
【図７】本発明の実施の形態３における波紋とスプラッシュの関係を説明する図
【図８】本実施の形態３におけるルツボの（ａ）は斜視図、（ｂ）は正面断面図
【図９】本発明の実施の形態４におけるルツボの（ａ）は上面図、（ｂ）は正面断面図
【図１０】本発明の実施の形態５におけるルツボの（ａ）は上面図、（ｂ）はＡ−Ａ断面図及び部分拡大図
【図１１】本発明の実施の形態６における磁気記録媒体サンプルの作製工程のフローチャート
【図１２】従来（特許文献１）の蒸着材料の供給方法を説明する図
【図１３】従来（特許文献２）の蒸着材料の供給方法を説明する図
【図１４】従来（特許文献３）の蒸着材料の供給方法を説明する図
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を参照して本発明における実施の形態を詳細に説明する。なお、以下の説明において、同じ構成には同じ符号を付して説明を省略する。
【００２４】
（実施の形態１）
図１（ａ）は本発明の実施の形態１における蒸着用ルツボの斜視図であり、図１（ｂ）は蒸着装置の概略構成図である。また、図２は蒸着装置の概略上面図であり、図３はルツボの（ａ）は上面図、（ｂ）は正面の断面図、（ｃ）は右測面の断面図である。
【００２５】
図１（ｂ）に示すように、本実施の形態１の蒸着装置では、その頭部と底部にそれぞれ設けられた排気口１１から真空ポンプ（図示せず）により排気されて内部が真空状態となされた真空室１２内に、図中の反時計回り方向に定速回転する送りロール１３と、図中の反時計回り方向に定速回転する巻取りロール１４とが設けられ、これら送りロール１３から巻取りロール１４にテープ状の蒸着基材であるベースフイルム１５（以後、蒸着基材のことをベースフイルムと呼ぶ）が順次走行するようになされている。
【００２６】
これら送りロール１３から巻取りロール１４側にベースフイルム１５が走行する中途部には、各ロール１３，１４の径よりも大径となされた冷却キャン１６が設けられている。この冷却キャン１６は、ベースフイルム１５を図中の矢印方向に引き出すように設けられ、図中の時計回り方向に定速回転する構成とされている。
【００２７】
また、送りロール１３，巻取りロール１４は、それぞれベースフイルム１５の幅と略同じ長さからなる円筒状をなすものである。冷却キャン１６はルツボ３１と略同じ長さからなる円筒状をなしており、その内部には図示しない冷却水が流れる構造で、冷却キャン１６内の冷却水によりベースフイルム１５の温度上昇による変形等を抑制し得るようになされている。
【００２８】
つまり、ベースフイルム１５は、送りロール１３から順次送り出され、冷却キャン１６の周面を通過し、巻取りロール１４に巻き取られていくように構成されている。
【００２９】
なお、送りロール１３と冷却キャン１６との間、及び冷却キャン１６と巻取りロール１４との間にはそれぞれガイドロール１７，１８が配設され、送りロール１３から冷却キャン１６及び冷却キャン１６から巻取りロール１４にわたって走行するベースフイルム１５に所定のテンションをかけ、ベースフイルム１５が円滑に走行するようになされている。
【００３０】
ここで、真空室１２内は真空１０−３Ｐａとされ、冷却キャンの直径はφ１０００ｍｍであり、冷却温度は−２０℃とされている。また、図２に示すように、真空室１２内には、冷却キャン１６と同じ幅で筐体状のルツボ３１が設けられている。
【００３１】
このルツボ１は、蒸着源たるＣo-Ｎi系等の蒸着材料（固体状態）２０ａを供給し、溶解用電子銃２１Ｂで溶融させるものである。本実施の形態１では、ルツボ３１は、冷却キャン１６の幅方向の長さと同じで、冷却キャン１６と平行な部分である蒸着材料蒸発部分３１Ａと、この蒸着材料蒸発部分３１Ａと直角に設けられた蒸着材料溶融部分３１Ｂから構成されている（図３（ａ）〜（ｃ）参照）。
【００３２】
本発明は、特に、蒸着材料溶融部分１Ｂを設けることにより、蒸着材料（固体状態）２０ａを供給する際に発生する波紋の影響を防止することが可能なものである。
【００３３】
ここで、図４を用いて、従来方式における波紋とスプラッシュの関係を説明する。図４は従来方式のルツボ１０１の断面とベースフイルム１５、蒸発用電子銃２１Ａ及び蒸着材料（固体状態）２０ａとの関係を示す図である。
【００３４】
図示しない溶解用電子銃２１Ｂにより蒸着材料（固体状態）２０ａが溶融されて、ルツボ１０１に落下する。この時、ルツボ１０１内の溶融材料１１０（図１に示す蒸着材料（溶融状態）２０ｂ）の溶融表面１１１は、図４で示すように、溶融した蒸着材料（固体状態）２０ａの落下に伴い、波立つこととなる。このように、溶融材料１１０は、溶融表面１１１が波立った状態で蒸発用電子銃２１Ａの電子ビームで加熱・蒸発され、蒸着材料の溶融材料１１０がベースフイルム１５に被着される。
【００３５】
そして、この波の頂点に電子ビームが当たると、頂点部分は体積が小さいために電子ビームのエネルギーが集中し、溶融材料１１０が突沸蒸発して、小さい塊としてベースフイルム１５に付着するものと考えられる。この小さい塊（スプラッシュ）により、均一な膜にならないで突起となり、ドロップアウトの原因になるものと考えられる。
【００３６】
図５は本実施の形態１における波紋とスプラッシュの関係を説明する図である。この図５は、図４に対応した本実施の形態１の内容である。図５に示すように、ルツボ３１が端部を直角に曲げた蒸着材料溶融部分３１Ｂを設けた構成になっている。溶解用電子銃２１Ｂ（図示せず）により蒸着材料（固体状態）２０ａを加熱溶融して、解けた材料の雫をルツボ３１に供給するわけであるが、蒸着材料溶融部分３１Ｂを設けたことにより、蒸着材料蒸発部分３１Ａにおいて、波の影響を受けることがなく蒸着できるため、スプラッシュの発生を防止することができる。
【００３７】
本実施の形態１によれば、スプラッシュの原因となる蒸着材料の供給時に発生する飛沫を抑え、さらに投入時の液面の波紋が蒸着に与える影響を低減することにより、スプラッシュが原因で発生するドロップアウトを減少させ、蒸着基材の品質を向上させることができる。また、蒸着用ルツボを小さくできるので蒸着材料のロスを少なくすることができるという効果も奏する。
【００３８】
このため、波は蒸着材料溶融部分３１Ｂで発生し、かつ減少及び消滅しているために、蒸着材料蒸発部分３１Ａを蒸発用電子銃２１Ａで加熱蒸発させても、蒸着材料蒸発部分３１Ａに影響することはない。すなわち、電子ビームのパワーを均一に蒸着材料（溶融状態）２０ｂに加わることができ、均一な蒸着材料の蒸発が行えることとなる。
【００３９】
本発明は、前述した構成とすることにより、電子ビームのエネルギー集中がないために、突沸蒸発することがない。そのため、蒸着材料（固体状態）２０ａを供給する際に発生するスプラッシュを防止することが可能なものである。
【００４０】
本実施の形態１では、蒸着材料蒸発部分３１Ａの長さをベースフイルム１５の幅より、２００ｍｍ大きくした。また、蒸着材料溶融部分３１Ｂの幅はベースフイルム１５の幅に対して１／４とするとともに、奥行き寸法もベースフイルム１５の幅に対して１／４とした。
【００４１】
なお、蒸着材料蒸発部分３１Ａの長さをベースフイルム１５の幅より２００ｍｍ大きくしたのは、ベースフイルム１５に蒸着される膜厚の均一性を確保するためであり、膜厚の均一性が確保できれば、２００ｍｍより大きくても小さくてもよく、２００ｍｍに限定されるものではない。
【００４２】
また、蒸着材料溶融部分３１Ｂの幅及び奥行きは、蒸着材料（固体状態）２０ａの寸法，蒸着材料（固体状態）２０ａの供給量，蒸着材料（固体状態）２０ａの落下時に発生する波の大きさ，及び仕切り板寸法に基づいて様々な検討を行ない、ベースフイルム１５の１／４に決定した。しかしながら、この値は、蒸着材料（固体状態）２０ａの寸法，蒸着材料（固体状態）２０ａの供給量，蒸着材料（固体状態）２０ａの落下時に発生する波の大きさ，及び仕切り板寸法により決定されるものであるため、ベースフイルム１５の１／４に限定されるものではない。
【００４３】
一方、真空室１２の側壁部には、図２に示すように、ルツボ３１内に充填された蒸着材料（溶融状態）２０ｂを加熱蒸発させるための蒸発用電子銃２１Ａが取り付けられている。この蒸発用電子銃２１Ａは、蒸発用電子銃２１Ａより放出される電子ビームが、ルツボ３１内の蒸着材料（溶融状態）２０ｂに照射されるような位置に配設されている。そして、この蒸発用電子銃２１Ａによって蒸発した蒸着材料（溶融状態）２０ｂが、冷却キャン１６の周面を定速走行するベースフイルム１５上に磁性層として被着形成（蒸着）される。
【００４４】
また、冷却キャン１６とルツボ３１との間で、かつ冷却キャン１６の近傍には、入射角制限マスク２２ａ，２２ｂが配設されている（図１（ｂ）参照）。この入射角制限マスク２２ａ，２２ｂは、蒸発源（ルツボ３１）から飛来する金属上気流（蒸発した蒸着材料（溶融状態）２０ｂ）の入射角度を規制するためのもので、通常、低入射角制限マスク２２ａと高入射角制限マスク２２ｂとの２つからなる。これら入射角制限マスク２２ａ，２２ｂは、冷却キャン１６の外周表面を定速走行するベースフイルム１５の所定領域を覆う形で形成され、これら入射角制限マスク２２ａ，２２ｂにより、蒸発した蒸着材料（溶融状態）２０ｂがベースフイルム１５に対して所定の角度範囲で斜めに蒸着されるようになっている。蒸着による成膜の際の最高入射角及び最低入射角は、これら入射角制限マスク２２ａ，２２ｂの開口位置によって決まる。
【００４５】
このように、Ｃo，Ｃo-Ｎi合金の蒸着入射ビームは、入射角制限マスク２２を設置することにより、任意に蒸着入射角の範囲を設定でき、ここではこの入射角を４５°とした。
【００４６】
さらに、このような蒸着に際し、真空室１２の側壁部を貫通して設けられる酸素ガス導入口２４を介してベースフイルム１５の表面に酸素ガスが供給され（図１（ｂ）参照）、磁気特性，耐久性及び対候性の向上が図られている。
【００４７】
また、本実施の形態１では、蒸着材料蒸発部分３１Ａと蒸着材料溶融部分３１ＢとでＬ字形を成すルツボ３１を用いて説明したが、このルツボ３１は、例えば、Ｔ字形（蒸着材料溶融部分３１Ｂが図２の紙面下方向に伸びている形状）としても良い。Ｔ字形とすることで、より大量の蒸着材料が必要なために、生産性は若干落ちるが、伝わる波が壁面にぶつかる際の影響を軽減することが可能である。
【００４８】
また、本実施の形態１の蒸着材料の供給時に発生する液面の波紋の影響が蒸着材料蒸発部分３１Ａに影響を与えないようにするために、ルツボ３１の蒸着材料蒸発部分３１Ａに対して直角に蒸着材料溶融部分３１Ｂを設けた構とし、これにより、供給時に波紋が発生しても蒸着材料溶融部分３１Ｂだけに留まるため、蒸着材料蒸発部分３１Ａに影響を与えることがなく、波紋が原因で発生するスプラッシュを抑えることができる。
【００４９】
蒸着材料（固体状態）２０ａの供給方式の一つである棒供給方式においては、スプラッシュを防止するために、ルツボを長く形成しなければならないという問題があったが、本実施の形態１によって、この問題を解決するとともに、蒸着用のルツボ３１も小さくすることができる。
【００５０】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２について、図６のルツボの上面図を用いて説明する。本実施の形態２において、図６に示すルツボ４１の構造が違うこと以外は、前述した実施の形態１の各図と同様の構成である。
【００５１】
本実施の形態２におけるルツボ４１は、図６に示すように、ルツボ４１の両端部分を直角に曲げ、蒸着材料溶融部分４１Ｂを２箇所設けた構成になっている。
【００５２】
本実施の形態２は、実施の形態１に比べて最終製品（成膜されたベースフイルム）を安価に高生産性で生産することが可能なものである。以下、それを実現するための本実施の形態２の構成について詳しく説明する。
【００５３】
最終製品を安価に製作するためには、蒸着の生産性を高めなければならない。そのためには、蒸着速度を速くする必要があり、蒸着速度を速くするためには蒸着材料（固体状態）２０ａを多く供給することが必要となる。溶解用電子銃２１Ｂ（図示せず）により蒸着材料（固体状態）２０ａを加熱溶融して、解けた蒸着材料（固体状態）２０ａの雫をルツボ４１に供給するわけであるが、蒸着速度を上がるためには、当然のことながら蒸着材料（固体状態）２０ａの雫量も多くする必要がある。これに伴い、ルツボ４１への落下時に蒸着材料（溶融状態）２０ｂの波紋が大きくなり、蒸着材料蒸発部分４１Ａへも影響を及ぼすこととなる。
【００５４】
そこで、本実施の形態２では、図６に示すように、両端に蒸着材料溶融部分４１Ｂを設けることにより、両側から蒸着材料（固体状態）２０ａが供給され、溶解用電子銃２１Ｂで溶解・供給が可能な構成になっている。このため、蒸着材料蒸発部分４１Ａでの蒸着速度を速めていっても、２箇所から蒸着材料（固体状態）２０ａを供給することにより、蒸着材料（固体状態）２０ａの雫量は１本供給時と同等でも対応可能である。そのため、スプラッシュの発生を防止しながら実施の形態１よりも蒸着速度を速くすることができる。
【００５５】
（実施の形態３）
本発明の実施の形態３について、図７の波紋とスプラッシュの関係を説明する図を用いて説明する。また、本実施の形態３において、図７に示すルツボ５１の構造が違うこと以外は、前述した実施の形態１の各図と同様の構成である。また、図８はルツボの構成を示す図であって、（ａ）は斜視図、（ｂ）は正面の断面図である。
【００５６】
図７，図８に示すように、ルツボ５１の蒸着材料蒸発部分５１Ａに仕切り板２Ｂ、蒸着材料溶融部分５１Ｂに仕切り板２Ａを設けた構成になっている。
【００５７】
この仕切り板２Ａ，２Ｂはルツボ５１の底部で蒸着材料蒸発部分５１Ａと蒸着材料溶融部分５１Ｂとがつながっている。
【００５８】
本実施の形態３では、蒸着材料（固体状態）２０ａが、溶解用電子銃２１Ｂ（図示せず）で溶融され、ルツボ５１の蒸着材料溶融部分５１Ｂに供給される。この溶融された蒸着材料（固体状態）２０ａがルツボ５１に落下する時に、液面に波が発生する。この波は、蒸着材料蒸発部分５１Ａに対して直角に発生するが、仕切り板２Ａに衝突して、消滅することとなる。また、仕切り板２Ａを越える大きな波が発生しても、仕切り板２Ｂに衝突し、消滅することとなる。
【００５９】
このため、蒸着材料蒸発部分５１Ａを蒸発用電子銃２１Ａで加熱蒸発させても、波は蒸着材料溶融部分５１Ｂで発生し、かつ減少及び消滅しているために、蒸着材料蒸発部分５１Ａに影響することはない。すなわち、電子ビームのエネルギーが均一に蒸着材料（溶融状態）２０ｂに加わるために均一な蒸着材料の蒸発が行えることとなる。
【００６０】
本実施の形態３は、前述の実施の形態と比べて波の影響を更に小さくすることができるため、蒸着材料（固体状態）２０ａを供給する際に発生するスプラッシュを防止する効果が高まるものである。
【００６１】
また、本実施の形態３では、仕切り板２Ａ，２Ｂと設けているが、蒸着材料蒸発部分５１Ａと蒸着材料溶融部分５１Ｂを仕切れて、かつ蒸着材料蒸発部分５１Ａと蒸着材料溶融部分５１Ｂとがルツボ５１底部でつながっており（ルツボ５１の底部付近以外を仕切っており）、かつベースフイルム１５の幅よりも広い位置を確保して設けられれば、仕切り板の枚数や位置はこれに限定されるものではない。
【００６２】
（実施の形態４）
本発明の実施の形態４について、図９（ａ）のルツボの上面図、（ｂ）の正面の断面図を用いて説明する。本実施の形態４において、図９で示すルツボ６１に仕切り板３Ａ，３Ｂを設けたこと以外は、前述した実施の形態１と同様な形態である。
【００６３】
本実施の形態４は、図９に示すように、ルツボ６１の蒸着材料蒸発部分６１Ａに仕切り板３Ａ，３Ｂを設けており、仕切り板３Ａ，３Ｂはルツボ６１の側壁から突堤のように突き出た壁である。蒸着材料蒸発部分６１Ａと蒸着材料溶融部分６１Ｂとは、つながった構成となっている。
【００６４】
前述の実施の形態１で述べたように、本実施の形態４においても、蒸着材料（固体状態）２０ａが、溶解用電子銃２１Ｂ（図示せず）で溶融され、ルツボ６１の蒸着材料溶融部分６１Ｂに供給される時に、溶融された蒸着材料（固体状態）２０ａがルツボ６１に落下し、液面に波が発生する。この波は、蒸着材料蒸発部分６１Ａに対して直角に発生するが、仕切り板３Ｂに衝突し、消滅することとなる。また、仕切り板３Ｂを越える大きな波が発生しても、仕切り板３Ａに衝突し、消滅することとなる。このため、波は蒸着材料溶融部分６１Ｂで発生し、かつ減少及び消滅しているために、蒸着材料蒸発部分６１Ａを蒸発用電子銃２１Ａで加熱蒸発させても、蒸着材料蒸発部分６１Ａに影響することはない。すなわち、電子ビームのパワーが均一に蒸着材料（溶融状態）２０ｂに加わるために、均一な蒸着材料の蒸発が行えることとなる。
【００６５】
前述したような、電子ビームのエネルギー集中がないために、突沸蒸発することがない。このことにより、蒸着材料（固体状態）２０ａを供給する際に発生するスプラッシュを防止するものである。
【００６６】
また、本実施の形態４では、仕切り板３Ａ，３Ｂを設けているが、蒸着材料蒸発部分６１Ａと蒸着材料溶融部分６１Ｂを仕切れて、かつルツボ６１内でつながっており、かつベースフイルム１５の幅よりも広い位置に、設けられればいいわけであり、仕切り板の枚数や位置はこれに限定されるものではない。
【００６７】
（実施の形態５）
本発明の実施の形態５について、図１０（ａ）のルツボの上面図、（ｂ）のＡ−Ａ断面図と部分拡大図を用いて説明する。本実施の形態５において、図１０（ｂ）で示すルツボ７１における蒸着材料溶融部分７１Ｂの壁の一部に傾斜を設けたこと以外は、実施の形態１と同様な形態である。
【００６８】
図１０（ｂ）に示すように、ルツボ７１の蒸着材料溶融部分７１Ｂの壁の一部に傾斜を設けることにより、蒸着材料（固体状態）２０ａが溶解用電子銃２１Ｂで加熱溶融された後に、蒸着材料溶融部分７１Ｂから供給される時に、雫となり傾斜面に落下し、自重でルツボ７１に供給されることとなる。こうすることにより、材料供給時に発生する飛沫を抑制することができ、飛沫によるスプラッシュを低減するこができる。
【００６９】
この傾斜面はルツボ７１に設けるだけでなく、傾斜した板を蒸着材料溶融口に別に設けてもよく、溶融した蒸着材料（固体状態）２０ａが自重でルツボ７１に供給されれば、特に限定されるものではない。また、傾斜の角度や長さについても、蒸着材料（固体状態）２０ａが自重でルツボ７１に供給されれば、特にこれに限定されるものではない。
【００７０】
（実施の形態６）
本発明の実施の形態６について、前述の各実施の形態で説明した蒸着用ルツボを使用し、磁気記録媒体を製造する蒸着装置を説明する。本実施の形態６の蒸着装置により製造される磁気記録媒体は、非磁性支持体であるベースフイルム１５上に強磁性金属、あるいはその合金の薄膜からなる磁性層が形成されるとともに、この磁性層の形成面とは反対側の面にバックコート層が形成される磁気記録媒体である。
【００７１】
本実施の形態６における磁気記録媒体サンプルの作製工程を図１１のフローチャートで説明する。
・ポリエンエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フイルムからなるベースフイルム１５（厚み６．３μ）上にＣoを蒸着させ磁性層を形成する（ステップＳ１）。この時のＣoの純度は９９．９９％、また厚みは２０００Åである。
・この磁性層の形成面とは反対側の面にバックコート層を形成する（ステップＳ２）。バックコートの形成に当たっては、主成分はニトロセルロースを塗布工法により、ＷＥＴ厚み５０μで形成する。
・磁性層の形成面に防錆目的で防錆層を形成する（ステップＳ３）。防錆層の形成に当たっては、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）層を形成するために、スパッタ法でカーボンをターゲットとして、７０Åの膜を形成する。
・磁性層の潤滑目的で、潤滑層を形成する（ステップＳ４）。潤滑層の形成に当たっては、主成分はパーフルオロポリエーテルを塗布工法により、ＷＥＴ厚み１５μで形成する。
・ドロップアウトの測定目的で、６．３５ｍｍ幅に裁断し、ＤＶＣ（６．３５ｍｍ幅）カセットに組み込む（ステップＳ５）。
【００７２】
なお、この蒸着に際しては、図１（ａ），（ｂ）、に示すように、蒸着材料（固体状態）２０ａは棒材で供給され、溶解用電子銃２１Ｂで加熱溶融して、供給する構成となっている。
【００７３】
溶解された蒸着材料（溶融状態）２０ｂは蒸発用電子銃２１Ａにより、加熱蒸発され、ベースフイルム１５上で磁性層を形成する。
（実施例１）
前述の実施の形態１と同様な形態で、同様な装置を使用して、磁気記録媒体を製造した。なお、この時の蒸着速度は６０ｍ／分である。
（実施例２）
ルツボが実施の形態２と同様な形態（ルツボ４１）で、蒸着材料（固体状態）２０ａの棒材を両側から供給し、蒸着速度を１２０ｍ／分とした以外は、実施例１と同様な装置を使用して、磁気記録媒体を製造した。
（実施例３）
ルツボが実施の形態３と同様な形態（ルツボ５１）とした以外は、実施例１と同様な装置を使用して、磁気記録媒体を製造した。
（実施例４）
ルツボが実施の形態４と同様な形態（ルツボ６１）とした以外は、実施例１と同様な装置を使用して、磁気記録媒体を製造した。
（実施例５）
ルツボが実施の形態５と同様な形態（ルツボ７１）とした以外は、実施例１と同様な装置を使用して、磁気記録媒体を製造した。
（比較例）
ルツボ１が通常の形態（図４のルツボ１０１）とした以外は、実施例１と同様な装置を使用して、磁気記録媒体を製造した。
【００７４】
このようにして作製された蒸着テープのドロップアウトを測定した。測定した結果を（表１）に示す。
【００７５】
【表１】
【００７６】
この測定には、パナソニック社製ＤＶＣビデオデッキを改造したものを使用した。
【００７７】
相対速度は３．８ｍ／秒、記録信号は通常のビデオ信号で、基準白色を通常の５０％で行うことで、よりドロップアウトがわかり易いようにした。
【００７８】
ドロップアウトの基準は、再生出力が−１６ｄｂより低下した時間が１０μｓｅｃ以上続いた回数を測定した。測定は５分間行い、１分間当たりの平均値をドロップアウトの個数とした。
【００７９】
（表１）から明らかなように、前記実施例１〜５のいずれも、比較例の通常ルツボと比較して、１分間当たりの平均ドロップアウトの個数は減少した値を示している。特に、実施例５のルツボ７１の蒸着材料溶融部分７１Ｂの壁の一部が傾斜面を有しているルツボの値が、他の実施例より小さい。
【００８０】
これは蒸着材料（固体状態）２０ａを加熱溶融した後、その雫が自重でルツボ７１に落下することにより、落下時に発生する飛沫を抑えることができているからだと考えられる。このことより、他の実施例も蒸着材料溶融部分７１Ｂの壁の一部が傾斜面を有している方が好ましいことがわかる。
【００８１】
なお、以上に説明した各実施の形態は一例であって、本発明の冷却キャンの幅方向に伸びた蒸着材料蒸発部分と、幅方向と直角方向に伸びた蒸着材料溶融部分とを有する蒸着用ルツボの応用は、同様の技術を専門とする技術者あるいは業者には容易に考えうるものであり、それらは本発明から逃れるものではない。
【産業上の利用可能性】
【００８２】
本発明は記録媒体の製造装置に使用して有効であるばかりでなく、金属蒸着膜や無機蒸着膜を必要とするシートの分野に効果があり、食品用あるいは電子製品用の防湿や湿気性を目的としたパッケージや包装紙、あるいは機能性のシートなどの生産に有効である。
【符号の説明】
【００８３】
１，３１，４１，５１，６１，７１，１０１ ルツボ
１Ａ，３１Ａ，４１Ａ，５１Ａ，６１Ａ，７１Ａ 蒸着材料蒸発部分
１Ｂ，３１Ｂ，４１Ｂ，５１Ｂ，６１Ｂ，７１Ｂ 蒸着材料溶融部分
２Ａ，２Ｂ，３Ａ，３Ｂ 仕切り板
４Ａ 蒸発専用電子ビーム
４Ｂ 溶解専用電子ビーム
５ 供給路
６，７ 湾曲部
９ ホッパー
１０ 蒸着材料
１１ 排気口
１２ 真空室
１３ 送りロール
１４ 巻取りロール
１５ ベースフイルム
１６ 冷却キャン
１７，１８ ガイドロール
２０ ペレット
２０ａ 蒸着材料（固体状態）
２０ｂ 蒸着材料（溶融状態）
２１Ａ 蒸発用電子銃
２１Ｂ 溶解用電子銃
２２ａ，２２ｂ 入射角制限マスク
２４ 酸素ガス導入口
１１０ 溶融材料
１１１ 溶融表面
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録媒体などの記録材料の蒸着に用いられる蒸着装置およびそれを用いた蒸着方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
磁気記録媒体の容量は、長時間記録や記録装置の小型化により、高容量化が求められている。磁気記録媒体の中でコバルトを中心とするメタルテープは、現在ＤＶＣ（Digital Video Cassette）に広く使われている。その材料としては、Ｃo，Ｃo-Ｎi，Ｃo-Ｃrなどの合金が使われることが多い。これらについて、低コスト化は必須の項目であり、高速にかつ安価に製造する方法が求められている。製造時の歩留りは、低コスト化を実現するための最重要項目の一つである。これは、歩留りが低く、磁気記録媒体に一箇所の欠陥でも存在すると、ドロップアウトとなって記録信号が書き込まれないため、その磁気記録媒体が再生できなくなるためである。
【０００３】
ドロップアウトの数は少なければ少ないほど記録信号の品質がよくなり、より正しい再生がなされる。特に、デジタル信号の記録のためには、より欠陥の少ないものが要求されてきている。磁気記録媒体に対する記録材料の製膜方法には幾つかあるが、現在は、コストと高速生産の観点から、蒸着による製造が一般的である。この蒸着による製造法で歩留りを悪くする最大の要因は、磁気記録媒体に発生する突起と呼ばれる欠陥である。
【０００４】
この欠陥は、蒸着基材（磁気記録媒体の基材）に付着したゴミや基材製造時にできる異常突起や凹みに起因するものもあるが、蒸着時にできるものも多い。その中でも、スプラッシュと呼ばれる、蒸着材料の供給や突沸などにより、記録材料の小さい塊が蒸着基材に付着する欠陥が多い。このスプラッシュが発生すると、均一な膜とならず、蒸着基材に突起が発生する。
【０００５】
この欠陥を防止する方法が幾つか提案されている。
【０００６】
その一例として、図１２のように、蒸着材料のペレットをホッパー９から傾斜させた供給路５を通してルツボ１に供給する方法がある（例えば、特許文献１参照）。これは、供給路５に湾曲部６，７を設けて、この湾曲部６，７で、一旦蒸着材料のペレットを減速させてからルツボ１に供給し、固体物（蒸着材料のペレット）が液体（溶解した蒸着材料）に供給された時に発生する飛沫を極力防止する方法である。
【０００７】
また、図１３のように、ルツボ１に逆凸状の仕切り板２Ａを設け、ベースフイルム１５の冷却キャン１６に仕切り板２Ｂを設け、蒸着材料のペレット２０が固体のまま１Ａに対応する液面を通過しないようにして、蒸着材料のペレット２０が溶融材料の上を走らないようにした方法がある（例えば、特許文献２参照）。
【０００８】
また、図１４のように、送りロール１３と巻取りロール１４とベースフイルム１５と冷却キャン１６とが設けられ、蒸着材料１０を溶解専用電子ビーム４Ｂで溶融し、ルツボ１へ供給し、蒸発専用電子ビーム４Ａで蒸発させることにより、供給時に発生する飛沫や突沸を防止する方法がある（例えば、特許文献３参照）。
【０００９】
しかしながら、どの方法もスプラッシュの低減には一定の効果を得ることはできるが、満足のいくものではない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特許第３０９５５３４号公報
【特許文献２】特許第３７０７１１４号公報
【特許文献３】特公昭６１−４７２２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
前述したように、蒸着による製造においては、歩留りを落とすスプラッシュが大きな問題である。スプラッシュの原因については、はっきりわかってはいないが、幾つかのはっきりした原因も知られている。例えば、蒸着材料がペレット状の場合、電子ビームなどで加熱溶融された蒸着材料にペレットを落下させることになり、ペレットが静かに溶け込まずに溶融材料の上を走ったり爆発したりする。その際に、材料の飛沫が蒸着基材に付着し突起欠陥となる。
【００１２】
その対策として、特許文献１のように、飛沫の発生を少なくするために供給するペレットをソフトに落下させる、あるいは転がし入れるなどの方法が提案されている。また、特許文献２のように、ルツボに逆凸状の仕切り板を設け、蒸着材料が固体のまま液面を通過しないようにして、固体の蒸着材料が溶融した蒸着材料の上を走らないようにした方法や、特許文献３のように、蒸着材料を溶解専用電子ビームで溶融し、ルツボへ供給することによって、供給時に発生する飛沫や突沸を防止する方法が提案されている。
【００１３】
しかしながら、データ記録に使用される磁気記録テープでは、ドロップアウト数が１０個／分以下でないと、欠陥補正を行っても記録の欠落につながる重大欠陥となる。
【００１４】
特許文献１の方法では、飛沫の発生を少なくできても、落下時の溶融材料表面に発生する波紋をなくすことはできないという問題を有している。
【００１５】
我々が鋭意研究した結果、溶融材料表面で発生した波紋が、スプラッシュを発生させていることがわかった。特許文献１の方法では、飛沫の発生を少なくできても波紋の発生を抑えることができないために、波紋から発生するスプラッシュを抑えることはできない。
【００１６】
また、特許文献２の方法は、波紋並びに溶融材料の上を走ったり爆発したりした時に発生するスプラッシュには有効であるが、飛沫の発生を抑えることはできないという問題を有している。飛沫防止の目的でルツボの上方に仕切り板を設けているが、斜方蒸着では蒸着材料が被蒸着物に付着する割合が１０％未満とされており、残りの約９０％が被蒸着物以外に付着する。このため、ルツボを長くすればするほど蒸着材料が無駄になるだけではなく、他の部位に付着した蒸着材料が熱による再溶融で溶け出してルツボ上に落下するために、スプラッシュの最大原因と考えられる飛沫や溶融材料表面にできる波紋の原因になる場合がある。特に、特許文献２ではルツボからの距離が近く、仕切り板に付着した蒸着材料が輻射熱で再溶融して溶け出し、飛沫や溶融材料表面にできる波紋によりスプラッシュになる。
【００１７】
また、より安価な棒形状のものを使用する特許文献３の製造装置でも、やはり飛沫は発生する。通常、棒状の蒸着材料は電子銃からの電子ビームで加熱溶融し、解けた材料の雫として供給するが、落下時に飛沫が発生したり、落下時の溶融材料表面にできる波紋がルツボの蒸着部分に影響して欠陥を生ずることがある。この影響をなくするために、ルツボを長くし溶融部分と蒸着部分の距離を置くなどしている。このため、材料のリサイクルの観点からも他部位への付着量が多ければ多いほど、回収に時間がかかると共に不純物の混入などの弊害が発生し、分別回収が難しくなり、一部材料廃棄などにつながり、安価なものづくりの妨げになっている。
【００１８】
前述したように、特許文献１，２，３の現状方式では効果はあるが、なお欠陥が残るために不十分である。
【００１９】
本発明は、前述した問題に鑑みて考案されたものであり、蒸着材料の供給時に発生する飛沫を抑え、さらに投入時の液面の波紋が蒸着に与える影響を低減すると共に、蒸着材料のロスをできるだけ少なくする蒸着装置およびそれを用いた蒸着方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明は前記の目的を達成するため、請求項１に記載の蒸着装置は、蒸着層が形成される蒸着基材を搬送しながら冷却する冷却キャンと、前記蒸着層を形成する蒸着材料が充填されるＬ字形のルツボと、前記ルツボ内の蒸着材料に電子ビームを照射する電子ビーム照射手段と、を備え、前記ルツボは、前記冷却キャンの幅方向に伸びた蒸着材料蒸発部分と、前記幅方向と直角に伸びた蒸着材料溶融部分とを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、スプラッシュの原因となる蒸着材料の供給時に発生する飛沫を抑え、さらに投入時の液面の波紋が蒸着に与える影響を低減することにより、スプラッシュが原因で発生するドロップアウトを減少させ、テープの品質を向上させることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施の形態１における（ａ）は蒸着用ルツボの斜視図、（ｂ）は蒸着装置の概略構成図
【図２】本実施の形態１における蒸着装置の概略上面図
【図３】本実施の形態１におけるルツボの（ａ）は上面図、（ｂ）は正面の断面図、（ｃ）は右測面の断面図
【図４】従来方式の波紋とスプラッシュの関係を説明する図
【図５】本実施の形態１における波紋とスプラッシュの関係を説明する図
【図６】本発明の実施の形態２におけるルツボの上面図
【図７】本発明の実施の形態３における波紋とスプラッシュの関係を説明する図
【図８】本実施の形態３におけるルツボの（ａ）は斜視図、（ｂ）は正面断面図
【図９】本発明の実施の形態４におけるルツボの（ａ）は上面図、（ｂ）は正面断面図
【図１０】本発明の実施の形態５におけるルツボの（ａ）は上面図、（ｂ）はＡ−Ａ断面図及び部分拡大図
【図１１】本発明の実施の形態６における磁気記録媒体サンプルの作製工程のフローチャート
【図１２】従来（特許文献１）の蒸着材料の供給方法を説明する図
【図１３】従来（特許文献２）の蒸着材料の供給方法を説明する図
【図１４】従来（特許文献３）の蒸着材料の供給方法を説明する図
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を参照して本発明における実施の形態を詳細に説明する。なお、以下の説明において、同じ構成には同じ符号を付して説明を省略する。
【００２４】
（実施の形態１）
図１（ａ）は本発明の実施の形態１における蒸着用ルツボの斜視図であり、図１（ｂ）は蒸着装置の概略構成図である。また、図２は蒸着装置の概略上面図であり、図３はルツボの（ａ）は上面図、（ｂ）は正面の断面図、（ｃ）は右測面の断面図である。
【００２５】
図１（ｂ）に示すように、本実施の形態１の蒸着装置では、その頭部と底部にそれぞれ設けられた排気口１１から真空ポンプ（図示せず）により排気されて内部が真空状態となされた真空室１２内に、図中の反時計回り方向に定速回転する送りロール１３と、図中の反時計回り方向に定速回転する巻取りロール１４とが設けられ、これら送りロール１３から巻取りロール１４にテープ状の蒸着基材であるベースフイルム１５（以後、蒸着基材のことをベースフイルムと呼ぶ）が順次走行するようになされている。
【００２６】
これら送りロール１３から巻取りロール１４側にベースフイルム１５が走行する中途部には、各ロール１３，１４の径よりも大径となされた冷却キャン１６が設けられている。この冷却キャン１６は、ベースフイルム１５を図中の矢印方向に引き出すように設けられ、図中の時計回り方向に定速回転する構成とされている。
【００２７】
また、送りロール１３，巻取りロール１４は、それぞれベースフイルム１５の幅と略同じ長さからなる円筒状をなすものである。冷却キャン１６はルツボ３１と略同じ長さからなる円筒状をなしており、その内部には図示しない冷却水が流れる構造で、冷却キャン１６内の冷却水によりベースフイルム１５の温度上昇による変形等を抑制し得るようになされている。
【００２８】
つまり、ベースフイルム１５は、送りロール１３から順次送り出され、冷却キャン１６の周面を通過し、巻取りロール１４に巻き取られていくように構成されている。
【００２９】
なお、送りロール１３と冷却キャン１６との間、及び冷却キャン１６と巻取りロール１４との間にはそれぞれガイドロール１７，１８が配設され、送りロール１３から冷却キャン１６及び冷却キャン１６から巻取りロール１４にわたって走行するベースフイルム１５に所定のテンションをかけ、ベースフイルム１５が円滑に走行するようになされている。
【００３０】
ここで、真空室１２内は真空１０−３Ｐａとされ、冷却キャンの直径はφ１０００ｍｍであり、冷却温度は−２０℃とされている。また、図２に示すように、真空室１２内には、冷却キャン１６と同じ幅で筐体状のルツボ３１が設けられている。
【００３１】
このルツボ１は、蒸着源たるＣo-Ｎi系等の蒸着材料（固体状態）２０ａを供給し、溶解用電子銃２１Ｂで溶融させるものである。本実施の形態１では、ルツボ３１は、冷却キャン１６の幅方向の長さと同じで、冷却キャン１６と平行な部分である蒸着材料蒸発部分３１Ａと、この蒸着材料蒸発部分３１Ａと直角に設けられた蒸着材料溶融部分３１Ｂから構成されている（図３（ａ）〜（ｃ）参照）。
【００３２】
本発明は、特に、蒸着材料溶融部分１Ｂを設けることにより、蒸着材料（固体状態）２０ａを供給する際に発生する波紋の影響を防止することが可能なものである。
【００３３】
ここで、図４を用いて、従来方式における波紋とスプラッシュの関係を説明する。図４は従来方式のルツボ１０１の断面とベースフイルム１５、蒸発用電子銃２１Ａ及び蒸着材料（固体状態）２０ａとの関係を示す図である。
【００３４】
図示しない溶解用電子銃２１Ｂにより蒸着材料（固体状態）２０ａが溶融されて、ルツボ１０１に落下する。この時、ルツボ１０１内の溶融材料１１０（図１に示す蒸着材料（溶融状態）２０ｂ）の溶融表面１１１は、図４で示すように、溶融した蒸着材料（固体状態）２０ａの落下に伴い、波立つこととなる。このように、溶融材料１１０は、溶融表面１１１が波立った状態で蒸発用電子銃２１Ａの電子ビームで加熱・蒸発され、蒸着材料の溶融材料１１０がベースフイルム１５に被着される。
【００３５】
そして、この波の頂点に電子ビームが当たると、頂点部分は体積が小さいために電子ビームのエネルギーが集中し、溶融材料１１０が突沸蒸発して、小さい塊としてベースフイルム１５に付着するものと考えられる。この小さい塊（スプラッシュ）により、均一な膜にならないで突起となり、ドロップアウトの原因になるものと考えられる。
【００３６】
図５は本実施の形態１における波紋とスプラッシュの関係を説明する図である。この図５は、図４に対応した本実施の形態１の内容である。図５に示すように、ルツボ３１が端部を直角に曲げた蒸着材料溶融部分３１Ｂを設けた構成になっている。溶解用電子銃２１Ｂ（図示せず）により蒸着材料（固体状態）２０ａを加熱溶融して、解けた材料の雫をルツボ３１に供給するわけであるが、蒸着材料溶融部分３１Ｂを設けたことにより、蒸着材料蒸発部分３１Ａにおいて、波の影響を受けることがなく蒸着できるため、スプラッシュの発生を防止することができる。
【００３７】
本実施の形態１によれば、スプラッシュの原因となる蒸着材料の供給時に発生する飛沫を抑え、さらに投入時の液面の波紋が蒸着に与える影響を低減することにより、スプラッシュが原因で発生するドロップアウトを減少させ、蒸着基材の品質を向上させることができる。また、蒸着用ルツボを小さくできるので蒸着材料のロスを少なくすることができるという効果も奏する。
【００３８】
このため、波は蒸着材料溶融部分３１Ｂで発生し、かつ減少及び消滅しているために、蒸着材料蒸発部分３１Ａを蒸発用電子銃２１Ａで加熱蒸発させても、蒸着材料蒸発部分３１Ａに影響することはない。すなわち、電子ビームのパワーを均一に蒸着材料（溶融状態）２０ｂに加わることができ、均一な蒸着材料の蒸発が行えることとなる。
【００３９】
本発明は、前述した構成とすることにより、電子ビームのエネルギー集中がないために、突沸蒸発することがない。そのため、蒸着材料（固体状態）２０ａを供給する際に発生するスプラッシュを防止することが可能なものである。
【００４０】
本実施の形態１では、蒸着材料蒸発部分３１Ａの長さをベースフイルム１５の幅より、２００ｍｍ大きくした。また、蒸着材料溶融部分３１Ｂの幅はベースフイルム１５の幅に対して１／４とするとともに、奥行き寸法もベースフイルム１５の幅に対して１／４とした。
【００４１】
なお、蒸着材料蒸発部分３１Ａの長さをベースフイルム１５の幅より２００ｍｍ大きくしたのは、ベースフイルム１５に蒸着される膜厚の均一性を確保するためであり、膜厚の均一性が確保できれば、２００ｍｍより大きくても小さくてもよく、２００ｍｍに限定されるものではない。
【００４２】
また、蒸着材料溶融部分３１Ｂの幅及び奥行きは、蒸着材料（固体状態）２０ａの寸法，蒸着材料（固体状態）２０ａの供給量，蒸着材料（固体状態）２０ａの落下時に発生する波の大きさ，及び仕切り板寸法に基づいて様々な検討を行ない、ベースフイルム１５の１／４に決定した。しかしながら、この値は、蒸着材料（固体状態）２０ａの寸法，蒸着材料（固体状態）２０ａの供給量，蒸着材料（固体状態）２０ａの落下時に発生する波の大きさ，及び仕切り板寸法により決定されるものであるため、ベースフイルム１５の１／４に限定されるものではない。
【００４３】
一方、真空室１２の側壁部には、図２に示すように、ルツボ３１内に充填された蒸着材料（溶融状態）２０ｂを加熱蒸発させるための蒸発用電子銃２１Ａが取り付けられている。この蒸発用電子銃２１Ａは、蒸発用電子銃２１Ａより放出される電子ビームが、ルツボ３１内の蒸着材料（溶融状態）２０ｂに照射されるような位置に配設されている。そして、この蒸発用電子銃２１Ａによって蒸発した蒸着材料（溶融状態）２０ｂが、冷却キャン１６の周面を定速走行するベースフイルム１５上に磁性層として被着形成（蒸着）される。
【００４４】
また、冷却キャン１６とルツボ３１との間で、かつ冷却キャン１６の近傍には、入射角制限マスク２２ａ，２２ｂが配設されている（図１（ｂ）参照）。この入射角制限マスク２２ａ，２２ｂは、蒸発源（ルツボ３１）から飛来する金属上気流（蒸発した蒸着材料（溶融状態）２０ｂ）の入射角度を規制するためのもので、通常、低入射角制限マスク２２ａと高入射角制限マスク２２ｂとの２つからなる。これら入射角制限マスク２２ａ，２２ｂは、冷却キャン１６の外周表面を定速走行するベースフイルム１５の所定領域を覆う形で形成され、これら入射角制限マスク２２ａ，２２ｂにより、蒸発した蒸着材料（溶融状態）２０ｂがベースフイルム１５に対して所定の角度範囲で斜めに蒸着されるようになっている。蒸着による成膜の際の最高入射角及び最低入射角は、これら入射角制限マスク２２ａ，２２ｂの開口位置によって決まる。
【００４５】
このように、Ｃo，Ｃo-Ｎi合金の蒸着入射ビームは、入射角制限マスク２２を設置することにより、任意に蒸着入射角の範囲を設定でき、ここではこの入射角を４５°とした。
【００４６】
さらに、このような蒸着に際し、真空室１２の側壁部を貫通して設けられる酸素ガス導入口２４を介してベースフイルム１５の表面に酸素ガスが供給され（図１（ｂ）参照）、磁気特性，耐久性及び対候性の向上が図られている。
【００４７】
また、本実施の形態１では、蒸着材料蒸発部分３１Ａと蒸着材料溶融部分３１ＢとでＬ字形を成すルツボ３１を用いて説明したが、このルツボ３１は、例えば、Ｔ字形（蒸着材料溶融部分３１Ｂが図２の紙面下方向に伸びている形状）としても良い。Ｔ字形とすることで、より大量の蒸着材料が必要なために、生産性は若干落ちるが、伝わる波が壁面にぶつかる際の影響を軽減することが可能である。
【００４８】
また、本実施の形態１の蒸着材料の供給時に発生する液面の波紋の影響が蒸着材料蒸発部分３１Ａに影響を与えないようにするために、ルツボ３１の蒸着材料蒸発部分３１Ａに対して直角に蒸着材料溶融部分３１Ｂを設けた構とし、これにより、供給時に波紋が発生しても蒸着材料溶融部分３１Ｂだけに留まるため、蒸着材料蒸発部分３１Ａに影響を与えることがなく、波紋が原因で発生するスプラッシュを抑えることができる。
【００４９】
蒸着材料（固体状態）２０ａの供給方式の一つである棒供給方式においては、スプラッシュを防止するために、ルツボを長く形成しなければならないという問題があったが、本実施の形態１によって、この問題を解決するとともに、蒸着用のルツボ３１も小さくすることができる。
【００５０】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２について、図６のルツボの上面図を用いて説明する。本実施の形態２において、図６に示すルツボ４１の構造が違うこと以外は、前述した実施の形態１の各図と同様の構成である。
【００５１】
本実施の形態２におけるルツボ４１は、図６に示すように、ルツボ４１の両端部分を直角に曲げ、蒸着材料溶融部分４１Ｂを２箇所設けた構成になっている。
【００５２】
本実施の形態２は、実施の形態１に比べて最終製品（成膜されたベースフイルム）を安価に高生産性で生産することが可能なものである。以下、それを実現するための本実施の形態２の構成について詳しく説明する。
【００５３】
最終製品を安価に製作するためには、蒸着の生産性を高めなければならない。そのためには、蒸着速度を速くする必要があり、蒸着速度を速くするためには蒸着材料（固体状態）２０ａを多く供給することが必要となる。溶解用電子銃２１Ｂ（図示せず）により蒸着材料（固体状態）２０ａを加熱溶融して、解けた蒸着材料（固体状態）２０ａの雫をルツボ４１に供給するわけであるが、蒸着速度を上がるためには、当然のことながら蒸着材料（固体状態）２０ａの雫量も多くする必要がある。これに伴い、ルツボ４１への落下時に蒸着材料（溶融状態）２０ｂの波紋が大きくなり、蒸着材料蒸発部分４１Ａへも影響を及ぼすこととなる。
【００５４】
そこで、本実施の形態２では、図６に示すように、両端に蒸着材料溶融部分４１Ｂを設けることにより、両側から蒸着材料（固体状態）２０ａが供給され、溶解用電子銃２１Ｂで溶解・供給が可能な構成になっている。このため、蒸着材料蒸発部分４１Ａでの蒸着速度を速めていっても、２箇所から蒸着材料（固体状態）２０ａを供給することにより、蒸着材料（固体状態）２０ａの雫量は１本供給時と同等でも対応可能である。そのため、スプラッシュの発生を防止しながら実施の形態１よりも蒸着速度を速くすることができる。
【００５５】
（実施の形態３）
本発明の実施の形態３について、図７の波紋とスプラッシュの関係を説明する図を用いて説明する。また、本実施の形態３において、図７に示すルツボ５１の構造が違うこと以外は、前述した実施の形態１の各図と同様の構成である。また、図８はルツボの構成を示す図であって、（ａ）は斜視図、（ｂ）は正面の断面図である。
【００５６】
図７，図８に示すように、ルツボ５１の蒸着材料蒸発部分５１Ａに仕切り板２Ｂ、蒸着材料溶融部分５１Ｂに仕切り板２Ａを設けた構成になっている。
【００５７】
この仕切り板２Ａ，２Ｂはルツボ５１の底部で蒸着材料蒸発部分５１Ａと蒸着材料溶融部分５１Ｂとがつながっている。
【００５８】
本実施の形態３では、蒸着材料（固体状態）２０ａが、溶解用電子銃２１Ｂ（図示せず）で溶融され、ルツボ５１の蒸着材料溶融部分５１Ｂに供給される。この溶融された蒸着材料（固体状態）２０ａがルツボ５１に落下する時に、液面に波が発生する。この波は、蒸着材料蒸発部分５１Ａに対して直角に発生するが、仕切り板２Ａに衝突して、消滅することとなる。また、仕切り板２Ａを越える大きな波が発生しても、仕切り板２Ｂに衝突し、消滅することとなる。
【００５９】
このため、蒸着材料蒸発部分５１Ａを蒸発用電子銃２１Ａで加熱蒸発させても、波は蒸着材料溶融部分５１Ｂで発生し、かつ減少及び消滅しているために、蒸着材料蒸発部分５１Ａに影響することはない。すなわち、電子ビームのエネルギーが均一に蒸着材料（溶融状態）２０ｂに加わるために均一な蒸着材料の蒸発が行えることとなる。
【００６０】
本実施の形態３は、前述の実施の形態と比べて波の影響を更に小さくすることができるため、蒸着材料（固体状態）２０ａを供給する際に発生するスプラッシュを防止する効果が高まるものである。
【００６１】
また、本実施の形態３では、仕切り板２Ａ，２Ｂと設けているが、蒸着材料蒸発部分５１Ａと蒸着材料溶融部分５１Ｂを仕切れて、かつ蒸着材料蒸発部分５１Ａと蒸着材料溶融部分５１Ｂとがルツボ５１底部でつながっており（ルツボ５１の底部付近以外を仕切っており）、かつベースフイルム１５の幅よりも広い位置を確保して設けられれば、仕切り板の枚数や位置はこれに限定されるものではない。
【００６２】
（実施の形態４）
本発明の実施の形態４について、図９（ａ）のルツボの上面図、（ｂ）の正面の断面図を用いて説明する。本実施の形態４において、図９で示すルツボ６１に仕切り板３Ａ，３Ｂを設けたこと以外は、前述した実施の形態１と同様な形態である。
【００６３】
本実施の形態４は、図９に示すように、ルツボ６１の蒸着材料蒸発部分６１Ａに仕切り板３Ａ，３Ｂを設けており、仕切り板３Ａ，３Ｂはルツボ６１の側壁から突堤のように突き出た壁である。蒸着材料蒸発部分６１Ａと蒸着材料溶融部分６１Ｂとは、つながった構成となっている。
【００６４】
前述の実施の形態１で述べたように、本実施の形態４においても、蒸着材料（固体状態）２０ａが、溶解用電子銃２１Ｂ（図示せず）で溶融され、ルツボ６１の蒸着材料溶融部分６１Ｂに供給される時に、溶融された蒸着材料（固体状態）２０ａがルツボ６１に落下し、液面に波が発生する。この波は、蒸着材料蒸発部分６１Ａに対して直角に発生するが、仕切り板３Ｂに衝突し、消滅することとなる。また、仕切り板３Ｂを越える大きな波が発生しても、仕切り板３Ａに衝突し、消滅することとなる。このため、波は蒸着材料溶融部分６１Ｂで発生し、かつ減少及び消滅しているために、蒸着材料蒸発部分６１Ａを蒸発用電子銃２１Ａで加熱蒸発させても、蒸着材料蒸発部分６１Ａに影響することはない。すなわち、電子ビームのパワーが均一に蒸着材料（溶融状態）２０ｂに加わるために、均一な蒸着材料の蒸発が行えることとなる。
【００６５】
前述したような、電子ビームのエネルギー集中がないために、突沸蒸発することがない。このことにより、蒸着材料（固体状態）２０ａを供給する際に発生するスプラッシュを防止するものである。
【００６６】
また、本実施の形態４では、仕切り板３Ａ，３Ｂを設けているが、蒸着材料蒸発部分６１Ａと蒸着材料溶融部分６１Ｂを仕切れて、かつルツボ６１内でつながっており、かつベースフイルム１５の幅よりも広い位置に、設けられればいいわけであり、仕切り板の枚数や位置はこれに限定されるものではない。
【００６７】
（実施の形態５）
本発明の実施の形態５について、図１０（ａ）のルツボの上面図、（ｂ）のＡ−Ａ断面図と部分拡大図を用いて説明する。本実施の形態５において、図１０（ｂ）で示すルツボ７１における蒸着材料溶融部分７１Ｂの壁の一部に傾斜を設けたこと以外は、実施の形態１と同様な形態である。
【００６８】
図１０（ｂ）に示すように、ルツボ７１の蒸着材料溶融部分７１Ｂの壁の一部に傾斜を設けることにより、蒸着材料（固体状態）２０ａが溶解用電子銃２１Ｂで加熱溶融された後に、蒸着材料溶融部分７１Ｂから供給される時に、雫となり傾斜面に落下し、自重でルツボ７１に供給されることとなる。こうすることにより、材料供給時に発生する飛沫を抑制することができ、飛沫によるスプラッシュを低減するこができる。
【００６９】
この傾斜面はルツボ７１に設けるだけでなく、傾斜した板を蒸着材料溶融口に別に設けてもよく、溶融した蒸着材料（固体状態）２０ａが自重でルツボ７１に供給されれば、特に限定されるものではない。また、傾斜の角度や長さについても、蒸着材料（固体状態）２０ａが自重でルツボ７１に供給されれば、特にこれに限定されるものではない。
【００７０】
（実施の形態６）
本発明の実施の形態６について、前述の各実施の形態で説明した蒸着用ルツボを使用し、磁気記録媒体を製造する蒸着装置を説明する。本実施の形態６の蒸着装置により製造される磁気記録媒体は、非磁性支持体であるベースフイルム１５上に強磁性金属、あるいはその合金の薄膜からなる磁性層が形成されるとともに、この磁性層の形成面とは反対側の面にバックコート層が形成される磁気記録媒体である。
【００７１】
本実施の形態６における磁気記録媒体サンプルの作製工程を図１１のフローチャートで説明する。
・ポリエンエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フイルムからなるベースフイルム１５（厚み６．３μ）上にＣoを蒸着させ磁性層を形成する（ステップＳ１）。この時のＣoの純度は９９．９９％、また厚みは２０００Åである。
・この磁性層の形成面とは反対側の面にバックコート層を形成する（ステップＳ２）。バックコートの形成に当たっては、主成分はニトロセルロースを塗布工法により、ＷＥＴ厚み５０μで形成する。
・磁性層の形成面に防錆目的で防錆層を形成する（ステップＳ３）。防錆層の形成に当たっては、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）層を形成するために、スパッタ法でカーボンをターゲットとして、７０Åの膜を形成する。
・磁性層の潤滑目的で、潤滑層を形成する（ステップＳ４）。潤滑層の形成に当たっては、主成分はパーフルオロポリエーテルを塗布工法により、ＷＥＴ厚み１５μで形成する。
・ドロップアウトの測定目的で、６．３５ｍｍ幅に裁断し、ＤＶＣ（６．３５ｍｍ幅）カセットに組み込む（ステップＳ５）。
【００７２】
なお、この蒸着に際しては、図１（ａ），（ｂ）、に示すように、蒸着材料（固体状態）２０ａは棒材で供給され、溶解用電子銃２１Ｂで加熱溶融して、供給する構成となっている。
【００７３】
溶解された蒸着材料（溶融状態）２０ｂは蒸発用電子銃２１Ａにより、加熱蒸発され、ベースフイルム１５上で磁性層を形成する。
（実施例１）
前述の実施の形態１と同様な形態で、同様な装置を使用して、磁気記録媒体を製造した。なお、この時の蒸着速度は６０ｍ／分である。
（実施例２）
ルツボが実施の形態２と同様な形態（ルツボ４１）で、蒸着材料（固体状態）２０ａの棒材を両側から供給し、蒸着速度を１２０ｍ／分とした以外は、実施例１と同様な装置を使用して、磁気記録媒体を製造した。
（実施例３）
ルツボが実施の形態３と同様な形態（ルツボ５１）とした以外は、実施例１と同様な装置を使用して、磁気記録媒体を製造した。
（実施例４）
ルツボが実施の形態４と同様な形態（ルツボ６１）とした以外は、実施例１と同様な装置を使用して、磁気記録媒体を製造した。
（実施例５）
ルツボが実施の形態５と同様な形態（ルツボ７１）とした以外は、実施例１と同様な装置を使用して、磁気記録媒体を製造した。
（比較例）
ルツボ１が通常の形態（図４のルツボ１０１）とした以外は、実施例１と同様な装置を使用して、磁気記録媒体を製造した。
【００７４】
このようにして作製された蒸着テープのドロップアウトを測定した。測定した結果を（表１）に示す。
【００７５】
【表１】
【００７６】
この測定には、パナソニック社製ＤＶＣビデオデッキを改造したものを使用した。
【００７７】
相対速度は３．８ｍ／秒、記録信号は通常のビデオ信号で、基準白色を通常の５０％で行うことで、よりドロップアウトがわかり易いようにした。
【００７８】
ドロップアウトの基準は、再生出力が−１６ｄｂより低下した時間が１０μｓｅｃ以上続いた回数を測定した。測定は５分間行い、１分間当たりの平均値をドロップアウトの個数とした。
【００７９】
（表１）から明らかなように、前記実施例１〜５のいずれも、比較例の通常ルツボと比較して、１分間当たりの平均ドロップアウトの個数は減少した値を示している。特に、実施例５のルツボ７１の蒸着材料溶融部分７１Ｂの壁の一部が傾斜面を有しているルツボの値が、他の実施例より小さい。
【００８０】
これは蒸着材料（固体状態）２０ａを加熱溶融した後、その雫が自重でルツボ７１に落下することにより、落下時に発生する飛沫を抑えることができているからだと考えられる。このことより、他の実施例も蒸着材料溶融部分７１Ｂの壁の一部が傾斜面を有している方が好ましいことがわかる。
【００８１】
なお、以上に説明した各実施の形態は一例であって、本発明の冷却キャンの幅方向に伸びた蒸着材料蒸発部分と、幅方向と直角方向に伸びた蒸着材料溶融部分とを有する蒸着用ルツボの応用は、同様の技術を専門とする技術者あるいは業者には容易に考えうるものであり、それらは本発明から逃れるものではない。
【産業上の利用可能性】
【００８２】
本発明は記録媒体の製造装置に使用して有効であるばかりでなく、金属蒸着膜や無機蒸着膜を必要とするシートの分野に効果があり、食品用あるいは電子製品用の防湿や湿気性を目的としたパッケージや包装紙、あるいは機能性のシートなどの生産に有効である。
【符号の説明】
【００８３】
１，３１，４１，５１，６１，７１，１０１ ルツボ
１Ａ，３１Ａ，４１Ａ，５１Ａ，６１Ａ，７１Ａ 蒸着材料蒸発部分
１Ｂ，３１Ｂ，４１Ｂ，５１Ｂ，６１Ｂ，７１Ｂ 蒸着材料溶融部分
２Ａ，２Ｂ，３Ａ，３Ｂ 仕切り板
４Ａ 蒸発専用電子ビーム
４Ｂ 溶解専用電子ビーム
５ 供給路
６，７ 湾曲部
９ ホッパー
１０ 蒸着材料
１１ 排気口
１２ 真空室
１３ 送りロール
１４ 巻取りロール
１５ ベースフイルム
１６ 冷却キャン
１７，１８ ガイドロール
２０ ペレット
２０ａ 蒸着材料（固体状態）
２０ｂ 蒸着材料（溶融状態）
２１Ａ 蒸発用電子銃
２１Ｂ 溶解用電子銃
２２ａ，２２ｂ 入射角制限マスク
２４ 酸素ガス導入口
１１０ 溶融材料
１１１ 溶融表面
【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸着層が形成される蒸着基材を搬送しながら冷却する冷却キャンと、
前記蒸着層を形成する蒸着材料が充填されるＬ字形のルツボと、
前記ルツボ内の蒸着材料に電子ビームを照射する電子ビーム照射手段と、を備え、
前記ルツボは、前記冷却キャンの幅方向に伸びた蒸着材料蒸発部分と、前記幅方向と直角に伸びた蒸着材料溶融部分とを有すること
を特徴とする蒸着装置。
【請求項２】
前記蒸着材料溶融部分が蒸着材料蒸発部分の両端にあること
を特徴とする請求項１記載の蒸着装置。
【請求項３】
前記蒸着材料蒸発部分と前記蒸着材料溶融部分との連通部の一部が仕切り板で仕切られていること
を特徴とする請求項１または２記載の蒸着装置。
【請求項４】
前記仕切り板は、前記ルツボの底部付近以外を仕切っていること
を特徴とする請求項３記載の蒸着装置。
【請求項５】
前記蒸着材料溶融部分の壁の一部が傾斜面を有していること
を特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の蒸着装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の蒸着装置において、電子ビーム照射手段により加熱した前記ルツボ内の蒸着材料によって、前記冷却キャンで冷却されながら搬送される前記蒸着基材に蒸着層を形成すること
を特徴とする蒸着方法。
【請求項１】
蒸着層が形成される蒸着基材を搬送しながら冷却する冷却キャンと、
前記蒸着層を形成する蒸着材料が充填されるＬ字形のルツボと、
前記ルツボ内の蒸着材料に電子ビームを照射する電子ビーム照射手段と、を備え、
前記ルツボは、前記冷却キャンの幅方向に伸びた蒸着材料蒸発部分と、前記幅方向と直角に伸びた蒸着材料溶融部分とを有すること
を特徴とする蒸着装置。
【請求項２】
前記蒸着材料溶融部分が蒸着材料蒸発部分の両端にあること
を特徴とする請求項１記載の蒸着装置。
【請求項３】
前記蒸着材料蒸発部分と前記蒸着材料溶融部分との連通部の一部が仕切り板で仕切られていること
を特徴とする請求項１または２記載の蒸着装置。
【請求項４】
前記仕切り板は、前記ルツボの底部付近以外を仕切っていること
を特徴とする請求項３記載の蒸着装置。
【請求項５】
前記蒸着材料溶融部分の壁の一部が傾斜面を有していること
を特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の蒸着装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の蒸着装置において、電子ビーム照射手段により加熱した前記ルツボ内の蒸着材料によって、前記冷却キャンで冷却されながら搬送される前記蒸着基材に蒸着層を形成すること
を特徴とする蒸着方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【公開番号】特開２０１０−２６５４９８（Ｐ２０１０−２６５４９８Ａ）
【公開日】平成２２年１１月２５日（２０１０．１１．２５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−１１６２６１（Ｐ２００９−１１６２６１）
【出願日】平成２１年５月１３日（２００９．５．１３）
【出願人】（０００００５８２１）パナソニック株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１１月２５日（２０１０．１１．２５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年５月１３日（２００９．５．１３）
【出願人】（０００００５８２１）パナソニック株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
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