【課題】微小フィーチャ工作物を電気化学的に処理するチャンバ、システム及び方法をここに開示する。
【解決手段】一実施形態では、電気化学堆積チャンバは、微小フィーチャ工作物に第１の処理流動体の流れを運ぶように構成された第１のフローシステムを有している処理部を含む。チャンバは、電極と、電極に少なくとも隣接して第２の処理流動体の流れを運ぶように構成された第２のフローシステムとを有している電極部を更に含む。チャンバは、第１及び第２の処理流動体を分離するために処理部と電極部との間に無孔仕切りを更に含む。無孔仕切りは、陽イオン又は陰イオンが第１及び第２の処理流動体間の仕切りを通って流されるように構成されている。 （もっと読む）

電気化学的処理のための装置において、処理材料（１）のための給電ユニットの給電装置（２，３）を金属堆積から保護するために、処理材料（１）の電気化学的処理中に、給電装置（２，３）を液体内に特定の長さまで浸漬した場合、給電装置のブランク部分上に０．０４ｍｍ以上の金属が堆積しないように、処理材料と接触するための接触手段（１２）からスタートして特定の長さにわたり、少なくとも１つの給電装置（２，３）を取り囲む少なくとも１つの電気絶縁シェル（７，８）の設置が提案されている。
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基板に金属をメッキする方法及び装置。本装置は、メッキ液を含有するように構成された液体ベースンと、液体ベースンの下の部分に配置された陽極液体容積と、液体ベースンの上の部分に配置された陰極液体容積と、陽極液体容積を陰極液体容積から分けるために配置されたイオン膜と、陽極液体容積の中央に配置されたメッキ電極と、陽極液体容積においてメッキ電極に隣接して配置された非メッキ電極とを含んでいる。 （もっと読む）

電気絶縁箔材料上で互いに電気絶縁された小さな導電性構造体の連続的な電解処理を可能にするために、互いに電気絶縁された、ワークピース（１）の表面上の導電性構造体を電解処理するための装置が設けられ、前記装置には、ａ）ワークピース（１）と接触するための少なくとも１つの電極（６）、ならびに少なくとも１つの電解領域であって、そのそれぞれ１つにおいて、少なくとも１つの対向電極（４）およびワークピース（１）が処理液に接触する電解領域、を含む少なくとも１つの配列と、ｂ）少なくとも１つの電解領域の外に配置され、かつ処理液と接触していない少なくとも１の接触電極（４）と、が含まれ、そしてｃ）少なくとも１の接触電極（６）および少なくとも１つの電解領域が共に非常に接近して離間配置されているので、小さな導電性の構造体を電解処理することができる。
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【解決手段】湿式化学処理チャンバは、被固定ユニットと、被固定ユニットに着脱可能に結合される着脱ユニットと、被固定ユニット及び着脱ユニットに接触するシールと、被固定ユニット及び／又は着脱ユニットに設けられる処理要素とから構成される。被固定ユニットは、被固定ユニットを介して処理流体を導くように構成されてなる第１の流路系統と、統合処理ツールにおけるプラットホームないしデッキに被固定ユニットをしっかりと取り付けるための取付固定具とを備える。着脱ユニットは、被固定ユニットにおける第１の流路系統へと及び／又は同流路系統から処理流体を導くように構成されてなる第２の流路系統を備える。シールに設けられたオリフィスを通って、処理流体は第１の流路系統と第２の流路系統との間を流れ、処理要素は、サブ・ミクロンの微細構造をもった微細構造ワークピースの表面を処理すべく処理流体に性質を与える。 （もっと読む）

【課題】導電性シート上に金属めっき膜を形成する電解めっき方法において、厚み制御がしやすく、厚み分布が均一で、めっき液量が少量ですむめっき方法および装置。
【解決手段】導電性シートと前記導電性シート表面から間隔をおいて設置された回転ローラーとの間に、めっき液を保持しながらめっきをおこなう。また前記回転ローラーは表面に凹凸を有し、前記導電性シートと前記ローラー間の間隔を調整する機構を有することで、上記課題が解決する。 （もっと読む）

【課題】液シール性を高めて、ワークの大きさ、めっき厚さ等の浸漬処理条件の変更等に柔軟に対応できる経済的なダム式連続浸漬処理装置を提供する。
【解決手段】ワークＷを浸漬処理する浸漬処理槽Ｄとこの浸漬処理槽の前及び／又は後に配設したボックス槽Ｂとを備えた浸漬処理槽群と、ワークＷを水平走行させる搬送手段Ａと、各ボックス槽の前後に設けたワーク通路１を開閉する、液シール性を高めたゲート手段２と、ボックス槽と浸漬処理槽とに連通する連通パイプと、ボックス槽から排出される処理液を受ける受け槽と、受け槽から対応する浸漬処理槽に液を返送する返送手段とを有し、ボックス槽が、ワーク進行方向に対して直交する方向に複数並設したボックス室ｂ１、ｂ２を有する構成とし、ボックス槽の前後に変換槽Ｃを配設し、変換槽が、複数設けたワーク走行レーンの所望の走行レーンにワークＷを変換する変換手段３１を配設してなる構成である。 （もっと読む）

【課題】 めっき対象物１に均一な電気めっきを施すことができ、アノード４の挿入、取り出し作業を機械力により省力的に行えるアノード自動挿入装置等を提供する。
【解決手段】 アノードサポート3 の上面30にアノード4 を搬出入するアノードハンドリング装置7 と、めっき対象物1 が搬送される速度とめっき電流および通電時間に基づいてアノード4 の消耗量を計算し、その消耗量に応じて、アノード4 とめっき対象物1 との間隔T1がほぼ一定となるように、アノードプッシャー9の押し込み量を、その押し込み方向における単一のアノード4 の幅T2よりも小さい単位で制御する制御装置10とを備える。 （もっと読む）