【課題】能率よく、かつ正確に適切な矯正を行うことができる矯正プレスを提供する。
【解決手段】被矯正プレートＰを載せるベッド５と、ベッド５の上方から被矯正プレートＰを押圧する上型７とを有する矯正プレスであって、被矯正プレートＰの平坦度を測定する平坦度計を備えており、平坦度計が、レーザー光投射器１０とカメラ２０からなり、レーザー光投射器１０は、プレスの一側においてレーザー光を被矯正プレートＰの上面に照射できる位置に配置されており、カメラ２０は、プレスの他側においてレーザー光の照射方向に対し被矯正プレートＰの送り方向においてオフセットした位置に配置されている。レーザー光投射器１０とカメラ２０が１対もしくは２対用いられる矯正プレスは、ベッドとクラウン部をコラムを介して連結した構造であって、前後コラム間のサイドオープニング開口ＳＯは被矯正プレートの幅（Ｗ）に対する比がＳＯ／Ｗ≧0.3が好ましい。 （もっと読む）

【課題】塗膜の将来の劣化状態を予測できる塗膜劣化予測方法、塗膜劣化予測装置及びコンピュータプログラムを提供すること。
【解決手段】塗膜劣化予測装置１の仮想劣化画像作成手段１１は、所定のパラメータ及び時間変数に対応する複数の仮想劣化画像を作成する。対象画像作成手段１２は、塗装面の撮影画像から対象画像を作成する。仮想プロファイル作成手段１３は、仮想劣化画像の統計量として劣化部の個数ｆ、面積率ａ、標準偏差ｓを算出し、ｆ−ａ−ｓ空間座標上に仮想プロファイルを示す。統計量算出手段１４は、対象画像から統計量を算出し、対象値特定手段１５は、対象画像に近い仮想プロファイルの統計量を特定し、特定した特定量に対応するパラメータ及び時間変数を特定する。劣化予測画像作成手段１６は、特定されたパラメータを劣化進行モデルに入力し、時間変数に特定された値よりも大きい値を入力して、劣化予測画像を作成する。 （もっと読む）

【課題】勾配に基づいて、しわを特定できるしわ検出装置を提供する。
【解決手段】しわ検出装置１００は、電極およびセパレータが積層されてなる積層体４０に対して相対的に移動しながら、最外層のセパレータに対して、スリット光を投光する投光部１１０と、セパレータ上のスリット光の形状を撮影するカメラ１２０と、撮影されたスリット光の形状に基づいて、セパレータの表面形状を検出し、検出した表面形状に基づいて、セパレータの勾配を算出し、算出した勾配に基づいてしわを判定する制御部１３０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ハニカム構造体の端面の平行度を測定する際、ハニカム構造体のセル構造をなす隔壁に欠陥が生じることを十分に防止できる外形検査装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る外形検査装置は、セル構造を有するハニカム構造体を検査対象とするものである。外形検査装置は、ハニカム構造体の端面に向けてレーザー光を照射する光源、及び、端面で反射したレーザー光を受光するとともにレーザー光の強度に応じた電気信号を出力する受光部を有する変位センサを備え、ハニカム構造体の端面の平行度を、ハニカム構造体に非接触で測定する。 （もっと読む）

【課題】圧着端子をより正確に検査することができ、構成の簡単化または検査時間の短縮を図ることのできる圧着端子の検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置４０は、第１検査ユニット４１、第２検査ユニット４２、および第３検査ユニット４３を備える。第１、第２、第３検査ユニット４１，４２，４３は、それぞれ連続端子３０の移動経路から外れた位置に配置された第１、第２、第３投光装置および第１、第２、第３受光装置６１，６２，６３を備える。第１投光装置は、端子３５の長手方向に延びる帯状の第１の光７１を照射する。第２および第３投光装置は、端子３５の長手方向と直交する方向に延びる帯状の第２の光７２を照射する。コンピュータは、第１、第２、第３受光装置６１，６２，６３の各受光量に基づいて、端子３５の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】鏡面に近い面の表面性状を、それぞれの製品あるいは業界に特有の感性に近い指標に基いて定量的且つ総合的に評価できるようにする。
【解決手段】コンピュータ制御にてディスプレイ１１に表示したチェックパターンを被測定面２１に投影して、反射像を撮影装置１２により撮影し、その画像データを収得してコンピュータ３でデータ処理するよう構成した鏡面計１を使用し、コンピュータ３に、鏡面度、鏡面度バラツキ、光沢度、シャープネス、うねり又は形状誤差、コントラストおよび白濁度といった複数の測定項目の算出ロジックを含むコンピュータソフト５を組み込んで、それら複数の測定項目を順次自動的に測定し、鏡面度を含む複数の測定項目を指標として表面性状を評価できるようにする。 （もっと読む）

【課題】液浸法で露光を行う露光装置の液体に接する部分に異常があるかどうかを効率的に判定する。
【解決手段】露光光ＥＬで投影光学系ＰＬと液体１とを介して基板Ｐを露光する露光方法において、液体１に接する接液部を光学的に観察し、得られる第１画像データを記憶する第１工程と、接液部の液体１との接触後、例えば液浸露光後に接液部を光学的に観察して第２画像データを得る第２工程と、第１画像データと第２画像データとを比較して、その観察対象部の異常の有無を判定する第３工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの表面に生じうる特定欠陥をより確実に検出することが可能な検出方法、検出システムおよび検出プログラムを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の特定欠陥の検出方法は、ウェーハの表面に光を照射して該ウェーハの表面上の欠陥の位置に対応して検出される輝点の面内位置情報である輝点マップを取得する工程（Ｓ１０１）と、前記輝点マップにおいて、特定欠陥の発生が予想される領域である判定対象領域と、該判定対象領域以外の所定領域である参照領域とを特定し、前記判定対象領域における輝点密度の、前記参照領域における輝点密度に対する比を算出する工程（Ｓ１０２）と、算出された前記比の値に基づいて、前記特定欠陥の発生の有無を判定する工程（Ｓ１０３）と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【目的】光量センサ出力と画像取得用のセンサ出力の応答速度のずれによる補正誤差を低減する。
【構成】パターン検査装置１００は、光源１０３と、被検査試料にレーザ光を照明する照明光学系１７０と、レーザ光の光量を測定する光量センサ１４４と、パターンの光学画像を撮像するＴＤＩセンサ１０５と、ＴＤＩセンサ１０５の出力タイミングが早い場合に、出力タイミングとの時間差分の期間、ＴＤＩセンサ１０５の出力データを一時的に記憶する記憶装置１４０と、光量センサ１４４の出力タイミングが早い場合に、出力タイミングとの時間差分の期間、光量センサ１４４の出力データを一時的に記憶する記憶装置１４２と、光学画像の階調値を時間差分ずらした時刻に出力された光量値を用いて補正する補正回路１４８と、比較対照となる参照画像を入力し、階調値が補正された光学画像と参照画像とを画素単位で比較する比較回路１０８と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】記録紙の種類を詳細に判別することのできる小型の光学センサを低コストで提供する。
【解決手段】第１の偏光方向の直線偏光の光を、記録媒体に照射する光照射系と、前記光照射系より照射された光のうち、前記記録媒体において正反射された光を検出する正反射光検出系と、前記光照射系より照射された光のうち、前記記録媒体において拡散反射された光を検出する前記第１の偏光方向に直交する第２の偏光方向の光を透過する光学素子を備えた拡散反射光検出系と、を有する測定系を複数有していることを特徴とする光学センサを提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）