【課題】簡素化を図りつつ、対象物を短時間で高精度に検査することができる。
【解決手段】撮像手段１１と対象物Ｔとの間に光軸Ｏに交差する方向に向けて光線Ｌを放射する光源１２と、光源１２から放射された光線Ｌを撮像手段１１の光軸Ｏ方向に沿って対象物Ｔ側に向けて反射するハーフミラー１３と、ハーフミラー１３と対象物Ｔとの間に光軸Ｏと同軸に配置され、外周面１４ａにハーフミラー１３により反射された光線Ｌが入射する円錐状または円錐台状の内ミラー部材１４と、内ミラー部材１４よりも大径の円錐台状の孔部１５が光軸Ｏと同軸に貫設され、孔部１５の内周面１５ａに内ミラー部材１４の外周面１４ａにより反射された光線Ｌが入射する外ミラー部材１６とを備え、外ミラー部材１６は、内ミラー部材１４の外周面１４ａから孔部１５の内周面１５ａに入射した光線Ｌを、対象物Ｔの外周面Ｔ１に垂直に入射するように反射する検査装置１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】シャック−ハルトマンの波面センサを用いた平面度測定装置において、測定精度及び領域分解能を向上させる。
【解決手段】平行化が可能な光束である一次光束Ｂ１を射出する光源１と、前記光源１から射出された一次光束Ｂ１を前記測定対象領域ＡＲに導いて反射させ、その反射した光束である二次光束Ｂ２を、平面状の波頭を有する光束として出力する導光手段２と、前記導光手段２から出力された二次光束Ｂ２と直交するように設けられたレンズアレイ３と、前記レンズアレイ３を構成する各レンズの入射側光軸上に設けられて、各レンズに入射する光径をレンズの径よりもそれぞれ小さくするアパーチャ部材４と、前記レンズアレイ３を通ってレンズ毎に分離された光である分離光Ｄを検出する光検出手段５と、前記光検出手段５で得られた各分離光Ｄの位置又は傾きに基づいて、前記測定対象領域ＡＲの平面度に係る値を算出する平面度算出部６とを設けるようにした。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査工程における未検査を抑制すること。
【解決手段】ウエハを保持するステージ１２と、前記ステージに保持されたウエハのアライメントを行なうアライメント部３２と、アライメントされた前記ウエハ表面の欠陥を検査する検査部３４と、前記アライメント部が前記アライメントを開始してから前記欠陥の検査が終了するまでの時間である検査時間が所定時間より短い場合、前記アライメント部に前記アライメントを再度行なわせ、前記検査部に前記欠陥を再度検査させる制御部３６と、を具備する欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】陽極酸化アルミナの状態（微細凹凸構造の形状、欠陥等）を簡易に検査できる検査装置および検査方法、ならびに陽極酸化アルミナの微細凹凸構造の形状等のムラや表面の欠陥が抑えられた、陽極酸化アルミナを表面に有する部材の製造方法を提供する。
【解決手段】モールド１００に光を照射するライン状照明装置１０（第一の照射手段）と；モールド１００の陽極酸化アルミナで反射した光を撮像するカラーラインＣＣＤカメラ１２（第一の撮像手段）と；モールド１００に光を照射するライン状照明装置２０（第二の照射手段）と；モールド１００の陽極酸化アルミナで反射した光を撮像するモノクロラインＣＣＤカメラ２２（第二の撮像手段）と；２つのカメラによって撮像された画像から得られた色情報および輝度情報に基づいて陽極酸化アルミナの状態の良否を判定する画像処理装置３０（画像処理手段）とを有する検査装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】レールの凹凸をレール長手方向に連続測定するレール凹凸測定装置を提供する。
【解決手段】測定レール（Ｒ１）上を走行可能な測定車両（１０）と、測定車両（１０）の進行距離を測定する距離センサ（３１）と、測定車両（１０）に取り付けられると共に測定レールの長手方向に不均等な間隔で順に直列に配置された第１、第２および第３の変位センサ（２１、２２、２３）からなる変位センサ群（２０）を有し、第１、第２および第３の変位センサ（２１、２２、２３）のうち少なくとも１つの変位センサは位置について変更可能である。 （もっと読む）

【課題】検査装置における伝送プロトコルは画像データの送信側と受信側が使用する伝送プロトコルに応じて最適化されている。このため、使用する伝送プロトコルが変更されると、データの分配を実行する部分の再開発が必要とされる。
【解決手段】画像データに付加情報を付して出力する撮像部と画像データを処理する画像処理部との間に画像分配部を配置する。さらに、画像分配部を、第１の伝送プロトコルにより撮像部から入力される画像データを所定のデータ形式に変換する画像入力部と、所定のデータ形式に変換されたデータの分配を制御する分配制御部と、所定のデータ形式のデータを第２の伝送プロトコルの画像データに変換して画像処理部に出力する画像出力部とで構成する。 （もっと読む）

【課題】錠剤の変更にも柔軟かつ円滑に対応することができ、しかも検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる錠剤検査装置及びＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】錠剤検査装置２１は、容器フィルムのポケット部に収容された錠剤に対し光を照射可能な照明装置２２と、照明された範囲内の錠剤を撮像可能なカメラ２３と、カメラ２３から出力される画像信号を処理する画像処理装置２４とを備える。画像処理装置２４は、画像データに基づき錠剤の輪郭を抽出し、輪郭上における第１の所定点及び第２の所定点の接線の向き情報を演算するとともに、第１及び第２の所定点で挟まれた第３の所定点の接線の向き情報を求め、第３の所定点の接線の向き情報が、第１の所定点の接線の向き情報及び第２の所定点の接線の向き情報に基づく許容範囲を逸脱している場合に、当該第３の所定点に関し不良候補として判定する。 （もっと読む）

【課題】 タイヤ表面の薄広凸欠陥を高精度に検出することができるタイヤの欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】 ステップＳ１を開始するまでに、予め連続的にスリット光像を含む２次元画像を取得しておく。ステップＳ１では、撮像された複数の２次元画像データから、スリット光像を抽出する。ステップＳ２では、抽出されたスリット光像から偏心によるぶれである偏心成分を除去する。ステップＳ３では、偏心成分を除去した光像に基づいて特徴量を算出し、ステップＳ４で、算出された特徴量に基づいて薄広凸欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシートの製造過程における錠剤の欠け等の検査に際し、検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる錠剤検査装置及びＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】錠剤検査装置２１は、容器フィルムのポケット部に収容された錠剤に対し光を照射可能な照明装置２２と、照明された範囲内の錠剤を撮像可能なカメラ２３と、カメラ２３から出力される画像信号を処理する画像処理装置２４とを備える。画像処理装置２４は、目標となる錠剤の輪郭に関し、重心を原点とする各角度毎の複数の各点の接線の向き情報を目標向き情報として記憶しておき、検査に際し、抽出された錠剤の輪郭に基づき重心を特定するとともに、前記各角度毎の対応する各交点の接線の向き情報を求め、当該接線の向き情報と目標向き情報とを比較する。そして、１の交点の接線の向き情報が、対応する目標向き情報に対し許容範囲を逸脱している場合に、不良候補として判定する。 （もっと読む）

【課題】表面を溶削された鋼材の表面に残留する湯だれや未溶削部などの欠陥を精度良く確実に検出できる溶削済み鋼材の表面検査方法、およびこれに用いる検査装置を提供する。
【解決手段】１２００℃以上に加熱され且つ表面ｆ１〜ｆ４，ｃ１〜ｃ４を溶削された鋼材Ｍの該表面を撮像する第１カメラ１０、および、該カメラ１０により得られた画像の輝度信号ｂｓを温度に換算し、健常部位との温度差により湯だれ部ｍｄや未溶削部ｕｍの疑似欠陥部分の有無を判別する信号処理部１１を含む疑似欠陥検出部１２と、上記撮像がされた同じ鋼材Ｍの表面ｆ１〜ｆ４，ｃ１〜ｃ４にレーザＬ１を照射するレーザ照射装置２、照射された該レーザＬ１が拡散反射された鋼材Ｍの表面ｆ１〜ｆ４，ｃ１〜ｃ４を撮像する第２カメラ７、および、該カメラ７により得られた画像を基に、鋼材Ｍの表面を連続した断面形状により３次元的に示す画像処理部８を含む３次元計測部９と、を備えている、溶削済み鋼材の表面検査装置１。 （もっと読む）