【課題】ガラス基板の表面不良の判定時間を減らし、ＮＧの可能性の高い表面不良のみを検査員に提供して検査の集中度を極大化させる。
【解決手段】表面不良検査装置は、ガラス基板１の上方にそれぞれ配置され、ガラス基板表面不良に対する第１イメージおよび第２イメージをそれぞれ撮影する撮像装置１０および２０と、ガラス基板１の下方に配置され、撮像装置１０、２０側にガラス基板１を透過する暗視野照明装置３０と、第１イメージ上の不良の位置座標と、第２イメージ上の不良の位置座標とを演算する検出信号処理部４０とを備えている。ガラス基板上面に対する撮像装置１０、２０の撮影領域Ｐ１は互いに重ね合わされ、ガラス基板下面に対する撮像装置１０、２０の撮影領域Ｐ２、Ｐ３は、互いに異なるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】複雑形状をした物体の外観検査において、目視では検出困難な形状の不良を定量的に評価し、検出する物体の外観検査方法及びその装置を提供することにある。
【解決手段】
物体の外観を検査する方法を、検査対象物体を載置して少なくとも一方向に連続的に移動させながら検査対象物体を撮像して検査対象物体の表面のテクスチャ情報を含む検査対象物体の画像を取得しながら検査対象物体の表面凹凸情報を取得し、この取得した検査対象物体の表面凹凸情報から検査対象物体の立体形状を復元し、取得した画像と復元した検査対象物体の立体形状とから表面テクスチャを持った物体の外観情報を得、この得られた外観情報から複数の特徴を抽出し、この抽出した複数の特徴のうち少なくとも１つの特徴を予め設定した参照データの前記少なくとも１つの特徴に対応する特徴と比較して検査対象となる物体の外観を評価するようにした。 （もっと読む）

【課題】２倍強の管径差をもつ広範な管径（３５０mm〜８００mm）を対象に、検査対象となる配管内を円滑にかつ適正な速度で走行して、管内を斑なく的確に観察できる自走式管内検査カメラ装置を提供する。
【解決手段】走行ユニットを構成する管径変換ユニット１と管径変換ユニット１に選択的に結合される管径変換アダプタ用取付アダプタ１３および第１乃至第３の管径変換アダプタ（ＣＡ１）〜（ＣＡ３）とにより複数種の管径に対応した自走式管内検査カメラ装置の管径変換ユニットを構成している。 （もっと読む）

【課題】ベルトの深さ方向の傷の検出精度を向上させるベルト検査装置を提供する。
【解決手段】所定方向に形成された内側平坦部２０及び外側平坦部２２と、湾曲側部２９ａ、２９ｂとを輪郭とする略矩形断面を呈する薄型金属ベルト１８の表面に存在する傷を検査するベルト検査装置３０であって、内側平坦部２０側から照明光を湾曲側部２９ａ、２９ｂに出力する赤色光源４８、５０と、外側平坦部２２側から、前記湾曲側部によって反射された照明光を撮影するカラーカメラ４０、４２と、カラーカメラ４０、４２が照明光を撮影した画像に基づいて薄型金属ベルト１８の表面状態を判定する表面状態判定部７８とを備え、表面状態判定部７８は、撮影された照明光の幅を計測し、該照明光の幅に基づいて、薄型金属ベルト１８に、所定方向を深さ方向とする傷があるか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】 シート材を高速搬送させても短時間で観察画像を取得することができ、シート材が搬送方向と垂直な方向であって、前記観察部の視野内にある前記シート材の搬送方向と直交する方向（つまり、シート材の厚み方向や幅方向）にバタツキや揺動を生じたとしても、観察画像の品質及び評価の質が損われることを防ぐことができる、シート材端部の観察・評価装置及び方法を提供する。
【解決手段】 観察対象となるシート材の端部を搬送させながら観察し、
観察視野範囲の一部分を観察領域として登録し、当該領域を別個に複数登録でき、当該観察部の外部から複数の部分観察領域を選択するかを指示して、複数登録された中から一つの部分観察領域に切り替える部分観察領域切替機能を有し、
シート端部位置検出器から得られた信号に基づいて観察部に対して部分観察領域が切り替わるように信号出力する、シート材端部の観察評価装置及び方法。 （もっと読む）

【課題】被検査対象物であるワークに対して加工したり、他の部位を装着したりすることなく、ワーク全周の疵を安定して検出することが可能な検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】ワークＷの円筒面を検査部４にて検査するための検査装置および検査方法である。回転軸心Ｌ１，Ｌ２が相互に平行に配設されている一対の回転軸１１，１２にてワークを支持させた状態で、回転体１１，１２をワークに接触させる。一対の回転軸１１，１２を回転駆動させることにより、回転体３１をワークとともに回転させる。回転軸１１，１２とワークＷとの間に滑りが生じることなくワークＷがその軸心廻りに１回転する基準時間での回転体３１の回転状態を検出する。回転状態に基づいてワークＷと回転軸１１，１２との間に滑りがあるか否かを判断しつつ、ワークＷの画像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】反射型サンプル基板上の欠陥の特性を、非破壊かつ高精度に評価可能な欠陥特性評価装置を提供する。
【解決手段】本発明は、反射型サンプル基板であるマスク基板１１上の被検欠陥１２に対して、実際の露光で利用する波長のコヒーレント光を、マスク基板１１上の被検欠陥と略同一のサイズに集光する集光光学系１０と、集光光学系１０により集光され、マスク基板１１上にコヒーレント光を照射する照射部１６と、照射部１６により照射された照射パタン領域１３ｂからの回折光を２次元的に受光する二次元検出器１３と、二次元検出器１３による受光結果である画像情報を記録する記録部１７と、記録部１７により記録された画像情報から、被検欠陥１２の反射振幅と位相分布を反復計算により導出する導出部１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】汚染に起因する性能の劣化を抑制できる露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置は、露光光の光路を第１液体で満たすように第１液体で液浸部を形成可能な第１部材と、第１部材から離れた位置で第２液体で液浸部を形成可能な第２部材と、所定部材と第２部材との間の第２液体に振動を与える振動発生装置とを備え、第２液体を用いて所定部材をクリーニングする。 （もっと読む）

【課題】検査対象からの反射光角度の変化に基づいて基板の欠陥を精度よく検査することができる検査装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る検査装置は、赤外光を出射する光源１１と、光源１１から出射される赤外光を平行光としてウエハ３０に略垂直に入射させ、当該ウエハ３０からの反射光を導く光学系と、光学系により導かれる反射光のうち、正反射光以外の光を検出するＩＲカメラ１９、２０とを備え、光源１１からの赤外光を導光する光ファイバ１３の出射端面面は、光学系の瞳位置に配置されている。 （もっと読む）

【課題】より明瞭に撮像できる視覚装置を提供する。
【解決手段】被撮像物１を撮像する撮像手段１１と、照明光を発生する照明光発生手段１２と、照明光を拡散させる照明光拡散手段１３とを備え、照明光拡散手段１３は、撮像手段１１の光軸の延長上に配置された筒状の部材であり、照明光発生手段１２は、照明光拡散手段１３の筒壁の外面に照明光を照射できる位置に配置され、照明光拡散手段１３の筒壁は、照明光発生手段１２から照射された照明光を照明光拡散手段１３の内部に透過させ、照明光拡散手段１３の内部に透過した照明光を反射・拡散させることができるように形成されており、照明光拡散手段１３の内部で反射・拡散された照明光が被撮像物１に当たり、被撮像物１に反射した照明光が照明光拡散手段１３の内部を通じて撮像手段１１に送られる。 （もっと読む）