【課題】備える機能素子を直接測定することなく、機能素子の寸法を精度よく測定することにより、機能素子の状態が把握されることができる電子装置を提供すること。
【解決手段】電子装置１は、基板２と、基板２上に配置され、固定電極３１および固定電極３１と空隙を隔てて対向配置された可動板３２２を備える可動電極３２を有する機能素子３と、基板２上に設けられ、機能素子３が配置された空洞部６を画成する素子周囲構造体５と、基板２上の空洞部６の外部に設けられ、固定電極３１に対応する第１の検査用膜４１と、可動電極３２に対応する第２の検査用膜４２とを有する検査体４とを有し、検査体４は、所定の部位の寸法が測定されることにより、機能素子３の所定の部位の寸法を求めるために用いられることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】移動しながら同一の被測定物を複数回測定したときに正しい高さ得る。
【解決手段】測定間隔算出部２１は、速度センサ部１３によって測定された車両１の速度測定値から、距離センサ部１４が１つの被測定物１００を複数回測定可能な測定時間間隔を算出し、指示部２２は、算出された測定時間間隔で測定を行なうよう距離センサ部１４へ指示する。判断部２４は、距離センサ部１４から出力された距離測定情報から、測定の対象とする被測定物と、実際に測定した被測定物１００の形状が一致するか否かを判断し、形状が一致すると判断した場合、被測定物１００を測定したときに連続して得られた距離測定情報の中から最小の距離を示す距離測定情報を選択し、これを正しい距離測定情報とする。地上高算出部２６は、選択された距離測定情報で示される距離測定値に、距離センサ部１４の測定の始点から地上までの距離を加算し、被測定物１００の地上高値を算出する。 （もっと読む）

本発明は、コンピュータ制御された管の機械加工、特に、レーザによる管の切断のための方法に関する。上記方法は、以下のステップを備えている。
−或る長さの管を供給するステップと、
−コンピュータ制御された機械加工ステーションに上記供給された管を配置するステップと、
−上記供給された管を機械加工するために、上記機械加工ステーションを制御するためのプログラムを実行するステップと、
−上記コンピュータ制御された機械加工ステーションに上記管を配置する前に、上記供給された長さの管の寸法を計測するステップ。
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【課題】操作性や使い勝手に優れたマイクロメータ装置を提供する。
【解決手段】測定子９を用いて微少変位を測定するマイクロメータ装置２８において液晶表示装置又は有機ＥＬ表示装置からなる表示装置２２に操作プログラムや測定結果を分り易く表示し、また独立な機能をもつ多数のキーからなる操作パネル２４を備えることで入力操作が簡単に行える。更にマイクロメータ装置を何台並べる多連測定において測定条件が同一の場合、測定条件転送手段２０により１台目２９の測定条件を２台目以降２８，３０に一括に転送することで各本体の測定条件の入力が効率的になる。 （もっと読む）

【課題】車体と路面との距離を高精度に測定が可能な車高測定装置を提供する。
【解決手段】車体４に設けられ、車体４と路面との距離を超音波を用いて測定する車高測定装置１Ｒは、超音波を路面の所定部位に向けて発信するとともに前記所定部位から跳ね返った反射波を受信する受発信手段を備え、前記所定部位は、自車の移動に伴い自車の車輪が踏んだ跡であり、前記受発信手段の車体４に対する取り付け位置は、車幅方向において車両直進時の左後輪２Ｒの車輪幅内であり、且つ、左後輪２Ｒに対し車体後方側に設けられたマッドガード３の後方とした。 （もっと読む）

【課題】レベルセンサのプロセス依存型オフセット誤差を正確に修正する費用有効性の高い方法を提供する。
【解決手段】基板Ｗ（たとえば基板を支持するための基板テーブルを備えたリソグラフィ装置内の基板）を露光する方法には、第１及び第２のセンサ１０,１１を使用して少なくとも１つの基板Ｗの一部の第１及び第２の高さ測定を実行するステップと、測値の差に基づいてオフセット誤差マップを作成し、且つ、記憶するステップと、第１のセンサ１０を使用して高さ測定を実行することによって、前記基板Ｗ（又は前記部分と類似した処理が施された他の基板）の複数の部分のハイト・マップを作成して記憶し、且つ、オフセット誤差マップによってこのハイト・マップを修正するステップと、前記基板Ｗ（又は他の基板）を露光するステップが含まれている。 （もっと読む）

【課題】レベルセンサのプロセス依存型オフセット誤差を正確に修正する費用有効性の高い方法を提供する。
【解決手段】基板Ｗ（たとえば基板を支持するための基板テーブルを備えたリソグラフィ装置内の基板）を露光する方法には、第１及び第２のセンサ１０，１１を使用して少なくとも１つの基板Ｗの一部の第１及び第２の高さ測定を実行するステップと、測値の差に基づいてオフセット誤差マップを作成し、且つ、記憶するステップと、第１のセンサ１０を使用して高さ測定を実行することによって、前記基板Ｗ（又は前記部分と類似した処理が施された他の基板）の複数の部分のハイト・マップを作成して記憶し、且つ、オフセット誤差マップによってこのハイト・マップを修正するステップと、前記基板Ｗ（又は他の基板）を露光するステップが含まれている。 （もっと読む）

【課題】セッティング時の使い勝手を向上させることができるとともに、測定値の信頼性を維持しつつ、有効測定範囲を最大限使用可能な測定器を提供する。
【解決手段】本体と、本体に対して移動可能に構成されたスタイラスと、本体に対するスタイラスの変位量を検出するエンコーダ１２と、エンコーダ１２により検出された変位量から測定値を演算する演算部１３と、演算部１３が演算した測定値を表示する表示部１４と、演算部に指令を与える操作部１５，１６と、スタイラスの移動ストロークの下限値よりも大きく、かつ、上限値よりも小さい有効測定範囲を記憶した記憶部１７を備える。演算部１３は、エンコーダ１２により検出された変位量が記憶部１７に記憶された有効測定範囲内であるか否かを判定し、その判定結果を表示部に表示する。 （もっと読む）

【課題】金属リングの周長を精度よく測定することができる金属リングの周長測定方法を提供する。
【解決手段】金属リングＷを１対のローラ２，３に掛け回し、一方のローラ３を他方のローラ２から離間する方向へ移動することにより金属リングＷに張力を付与すると共に両ローラ２，３間の距離を測定し、両ローラ２，３間の距離から金属リングＷの周長を算出する金属リングＷの周長測定方法において、金属リングＷの１つの部位Ｐ_１が両ローラ２，３間の所定の位置Ｍにあるときに金属リングＷの周長を算出した後、金属リングＷの他の部位Ｐ_２が所定の位置Ｍにあるときに金属リングＷの周長を算出する処理を少なくとも１回行い、算出された全ての金属リングＷの周長の平均値を金属リングＷの周長とする。金属リングＷの周長を算出する処理を少なくとも３回以上行うことが好ましい。 （もっと読む）

【課題】位置が特定されないセンサの検出対象物の検出有無の情報により、検出対象物の検出部分の面積情報、形状種別情報、形状種別情報に応じた形状判定関数を用いずに、検出対象物の形状情報を推定する形状推定システム、センタサーバ、形状推定方法、及び、形状推定プログラムを提供する。
【解決手段】形状推定システムにおいて、センサノード装置２０１−１〜２０１−ｍがそれぞれ、所定のセンシングエリア内における検出対象物の有無を検出して検出結果をセンタサーバ装置４０１に送信し、センタサーバ装置４０１が、受信した検出結果に基づき算出する検出対象物を検出した検出センサ数と、センサノード装置２０１−１〜２０１−ｍの所定のセンシングエリアに関する情報と、面積あたりのセンサノード装置２０１−１〜２０１−ｍの設置密度情報とに基づき、検出対象物の形状に関する形状情報の推定値を算出する。 （もっと読む）