【課題】 本発明は、熱振動による損傷を防ぐことのできる構造を備えた温度計測装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 タービン本体１０から排出される排ガスの温度を計測する温度計測装置５が、外車室３外側より挿入される熱電対５１を備え、この熱電対５１によって温度計測が成される。又、温度計測装置５において、熱電対５１の先端が、ディフューザ２内部に設置された保護管５２の先端で固定されることにより、その測定位置を固定することができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、熱振動による損傷を防ぐことのできる構造を備えた温度計測装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 タービン本体１０から排出される排ガスの温度を計測する温度計測装置５が、外車室３外側より挿入される熱電対５１と、タービン本体１０から排出される排ガスをディフューザ２外部に導くバイパス管５２と、を備える。そして、熱電対５１がバイパス管５２に挿入されることで、タービン本体１０から排出される排ガス温度が計測される。 （もっと読む）

【課題】放射源からの汚染物質を閉じ込める汚染障壁として機能するフォイルトラップの温度を監視することにより、フォイルトラップの温度を許容範囲内に保つことができる放射線システムを提供する。
【解決手段】放射線ビームを発生させる放射線システム１は、極端紫外線３を発生させる極端紫外放射源２、放射源２からの汚染を閉じ込めるフォイルトラップ４、フォイルトラップ４からの放射熱を収集するヒートシンクとして作用する金属プレート７、金属プレート７の温度を検出する熱電対センサ９を含む。 （もっと読む）

【課題】 ＳＰＭにおいてアスペクト比の高い凹凸を有する試料の温度特性および表面形状を精度よく測定し、正確な温度特性や観察像を得ることができるプローブを提供する。
【解決手段】 本発明は、カンチレバー２２の先端に温度を測定するための温度測定用素子を形成した温度測定用プローブ１であって、カンチレバー２２に形成された第１の金属構造体２９の第1の端部２９１の上面に設けられ、棒状に形成された第1の探針基部２９２と、第２の金属構造体３０の第２の端部３０１の上面に設けられ、棒状に形成された第２の探針基部３０２と、第1の探針基部２９２と第２の探針基部３０２の上面に設けられ、第1の探針基部２９２と第２の探針基部３０２を接続する形に形成された先端部が先鋭化された探針先端部７０で構成されている探針２１が温度測定素子を兼ねていることとした。 （もっと読む）

【課題】内部に細かい気孔を含むＷ−Ｒｅ系熱電対のような熱電対線であっても、真空空間からその外部に高い気密性を保持した状態で引き出すことが出来、これにより熱電対線と補償導線との接続部を真空空間の外部で同じ温度に保持した状態で温度測定を可能として、熱電対が指示する起電力に誤差が生じないようにする。
【解決手段】熱電対の真空フィードスルーは、熱電対ポート３を封止した無機絶縁体７を貫通して熱電対線９ａ、９ｂのリード線側を真空空間からその外部に引き出し、その熱電対線９ａ、９ｂの引出部分を含めて熱電対線９ａ、９ｂの基部を樹脂絶縁体１０で覆って気密に封止し、熱電対線９ａ、９ｂのリード線側を真空空間の外部で補償導線１５ａ、１５ｂと接続可能とする。 （もっと読む）

【課題】温度の測定工程を自動化することができ、かつ、高温中でも測定精度が劣化しないウェハ型温度センサを提供する。
【解決手段】ウェハ型温度センサ１１は、ウェハ１２と、ウェハ１２上を複数の領域に区分し、区分された各領域Ｘ，Ｙ・・・に配置されてウェハ１２上の温度を検出する複数の温度センサ１３ａ，１３ｂ・・・（以下、総称して「センサ１３」という）と、複数の温度センサ１３のセンサ出力を出力信号として出力する接点１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】この発明の目的は、自動化に適し、耐熱性を高めてウェハの温度分布を測定できるウェハ温度計およびその製造方法を提供する。
【解決手段】ウェハ１の上面を複数の領域に区分し、区分された各領域に複数の温度センサ２１，２２…２ｎを配置し、複数の温度センサ２１，２２…２ｎの出力信号を変換処理回路４により温度データに変換して処理する。変換処理回路４は、その周囲がナノクリスタルシリコン層からなる断熱材で形成された収納室に収納される。 （もっと読む）

【課題】 熱電対に温度検出とヒータ機能と試料保持機能を持たせ、温度制御機能、試料観察とデータ記録などに関する改善を図った加熱計測用熱電対システムを提供する。
【解決手段】
加熱計測切換部２２にて加熱電源部２３と計測部２４を交互に切換ながら、加熱電源部２３により試料６を保持した熱電対３に半サイクル矩形波を通電して加熱し、計測部２４により次の半サイクル間に熱電対３からの熱起電力に基づくアナログ温度信号をＡ／Ｄ変換部２５にてデジタル変換し、制御部２１にて変換されたデジタル温度信号を受けるとともにこれらを制御し、制御部２１のデジタル温度信号をＤ／Ａ変換部２６にてアナログ変換し、このアナログ値を温度調節部２７で受け温度調節するよう構成した加熱計測ユニット１と各種設定操作が出来る設定操作手段２とを備え、所定観察温度における試料の溶融状態や融体と固体の反応などを容易に直接観察出来るものとした。 （もっと読む）

マイクロマシニング型の構造体、温度センサおよび／または放射線センサおよびマイクロマシニング型の構造体を製作するための方法が提案される。この場合、マイクロマシニング型の構造体（１０）が、基板（２０）と、基準コンタクト（３５）および測定コンタクト（３７）を有する熱電対（３０）とを有している。この場合、基板が、主基板平面（２１）を有している。この場合、熱電対が、基準コンタクトと測定コンタクトとの間に第１の材料（３６）を有していて、測定コンタクトと別の基準コンタクトとの間に第２の材料（３８）を有している。この場合、基準コンタクトと測定コンタクトとの間に、主基板平面に対して垂直な方向で、第１の材料が、第２の材料の上方に配置されているかまたは第２の材料が、第１の材料の上方に配置されている。
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【課題】特に簡易で低コストの組立ての点で既知の測定プローブを改良する。
【解決手段】本発明は、浸漬端部及び後方端部を有し、かつセンサー（３）が浸漬端部に配置される測定ヘッド（１）を有する金属溶融物又はスラグ溶融物における測定のための測定プローブに関する。本発明はまた、測定ヘッドが浸漬端部及び後方端部を有し、センサーが浸漬端部に配置され、それらの信号線（１１）がチャネル（２）により測定ヘッドを通って案内され、かつ、別個のチャネルが各センサーに対して設けられる測定プローブに関する。 （もっと読む）