【課題】短時間で生じる温度変化を正確に測定できる優れた応答速度のパッド型熱電対を提供すること。
【解決手段】温度測定を行うシース熱電対１１と、シース熱電対１１の感温部１２周辺を保持してカバープレート２０に取り付けられるパッド部材１３とを具備してなるパッド型熱電対１０において、シース熱電対１１の感温部１２がパッド部材１３の内部を斜めに貫通して設けた傾斜孔１４内を通り、感温部１２のシース先端部がカバープレート２０に密着するパッド部材外表面１３ａと略同一面上に露出して固定されている。 （もっと読む）

【課題】コストダウンを図り、かつ加硫機の停止時間を短くして生産性を改善することが可能なゴム製品加硫中の温度測定方法を提供する。
【解決手段】加硫中のゴム製品１０の温度を測定する温度センサー１と、温度センサー１で測定した温度データを記憶する計測器２を用いて、ゴム製品１０の加硫中の温度を測定する方法である。計測器２を耐熱耐圧容器３内に収容し、この耐熱耐圧容器３をゴム製品１０中に埋設すると共に温度センサー１をゴム製品１０の温度測定位置にセットした後加硫する。加硫後、耐熱耐圧容器３を加硫されたゴム製品から取り出し、耐熱耐圧容器３内の計測器２を取り出し、取り出した計測器２から温度センサー１により加硫中測定された温度データを得る。 （もっと読む）

【課題】 非接触温度センサの異常を、当該非接触温度センサが接続される温度調節器の断線検知回路を利用して検知できるようにする。
【解決手段】 温度調節器１の入力端子２ａと増幅回路９との間に、直列にアナログスイッチ１０を設けるとともに、直流電源Ｖｃｃが供給されているか否かに応じて、制御回路１１によってアナログスイッチ１０の開閉を制御し、直流電源Ｖｃｃが供給されていないときには、アナログスイッチ１０を開いて断線と等価な状態とし、これを温度調節器１の断線検知回路６で検知するようにしている。 （もっと読む）

【課題】 例え内壁に設けたシース差込み穴の内部にシース先端部を差込んだ状態で、胴体を外壁に固定するようにした場合にあっても、外壁と内壁に高い位置精度で穴を加工したり、煩雑な作業を必要としたりすることなく、容易かつスムーズに取付けることができるようにする。
【解決手段】 先端部を被測定物に近接乃至接触させて該被測定物の物理量を計測するシース３２と、該シース３２の基部を該シース３２の軸方向と直交する方向に移動自在に保持する胴体３４を有する。 （もっと読む）

【課題】 四塩化チタン製造用塩化炉の運転における温度測定を長期に亘って安定して低コストで正確に行なう。
【解決手段】 外部保護管と、外部保護管内にスペーサーを介して挿抜自在に保持された内部保護管と、内部保護管内に挿抜自在に保持された絶縁管と、絶縁管内に保持された熱電対と、外部保護管を着脱自在に密封する蓋とを備えた塩化炉内測温用温度計であって、熱電対は、上記蓋を貫通して外部に連通しており、外部保護管および蓋で密封された空間内に、ガスが充填されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】熱電対が昇温により膨張しても、降温により収縮しても、常にその測温接合部が保護管の先端部内面に接触した状態を維持でき、正確な測温ができる測温体ならびにこの測温体を用いた気相成長装置を得る。
【解決手段】測温体２１は、保護管２２と、この保護管２２内に収容された熱電対２３と、この熱電対２３を付勢するコイルバネ３０を備え、保護管２２は、その先端部が閉じられ、基端部が開かれており、コイルバネ３０は、熱電対２３の測温接合部２８が保護管２２の先端部の内面に常時接するように付勢するようにしたものである。また、気相成長装置は、サセプタの温度を測定する測温体として、上記測温体を用いたものである。 （もっと読む）

【課題】真空計に使用できる気体センサとこれを用いた真空計測装置を提供する。
【解決手段】周囲気体の流れを遮断したチャンバ内に設置した半導体の基板１を用い、この基板１から熱分離した薄膜４ａ上に薄膜のヒータ６と温度センサを個別に設け、薄膜のヒータ６から距離を隔てた位置に空隙３００を挟んで、基板１から熱分離した薄膜４ｂ上に温度センサとを、集積化させ、薄膜４ａの温度センサＴＳａと薄膜４ｂの温度センサＴＳｂの出力を利用して、周囲気体の気圧もしくはその成分を計測する気体センサと、周囲気体の気圧もしくはその成分、及び、温度を算出する計測手段とを備えた計測装置。 （もっと読む）

【課題】 基板が薄肉化しても基板表面から温接点部が突出することなく、実基板を熱処理する際の温度分布を正確に測定できるようにした基板熱処理炉用の測温基板を提供する。
【解決手段】 実基板と同形同材のダミー基板の表面に点在する多数の凹部の底部に相互に間隔をあけて貫通する一対の挿通孔を開削し、一対の挿通孔の間に位置して凹部の底部に収容孔を形成している。熱電対は、一対の熱電対素線を凹部の底面に密接せしめると共に、該熱電対素線の先端に膨隆する温接点部を凹部から前記収容孔に嵌入せしめた状態で、該凹部に耐熱固着剤を充填することにより熱電対素線を凹部に埋設されている。 （もっと読む）

【課題】 マイクロ流路内の温度を測定する機能を有するマイクロ流路デバイスを実現する。
【解決手段】 流体が流路に流されて反応物を生成するマイクロ流路デバイスにおいて、
前記流路に設けられ前記流体の温度を測定する測定手段を具備したことを特徴とするマイクロ流路デバイスである。 （もっと読む）

【課題】 流路を流れる流体の温度を高精度に計測することができる微細流路構造体及び微細流路構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】 少なくとも１つの面に流路１１が設けられた流路板２と、流路が設けられた面に積層された封止板３０と、封止板３０の流路板２に接する面に設けられた第１の金属２２と、流路に対応する位置に第１の金属２２との測温接点２４が位置するように封止板３０の流路板２に接する面に設けられた第２の金属２３とを備える。また少なくとも１つの面に流路が設けられた流路板の前記流路が設けられた１つの面に積層される絶縁部材の表面上に第１の金属膜２２を形成する工程と、第１の金属膜２２上にその一部が接触する第２の金属膜２３を形成し、第１の金属膜２２と第２の金属膜２３とが接触する部分に測温接点２４を形成する工程と、絶縁部材の裏面上において、測温接点２４に対峙する領域に加熱体３１を形成する工程とを備える。 （もっと読む）