【課題】 ＳＰＭにおいてアスペクト比の高い凹凸を有する試料の温度特性および表面形状を精度よく測定し、正確な温度特性や観察像を得ることができるプローブを提供する。
【解決手段】 本発明は、カンチレバー２２の先端に温度を測定するための温度測定用素子を形成した温度測定用プローブ１であって、温度測定用素子がカンチレバー２２に形成された第１の金属構造体２９および第２の金属構造体３０で構成され、第１の金属構造体２９の先端部と第２の金属構造体３０の先端部が重なる形で接続されることで形成されており、且つその接続部直上に先端部が先鋭化されるとともに基部が棒状に形成され、試料上を走査される探針２１が形成されていることとした。 （もっと読む）

【課題】薄膜タイプでありながらも、全体の厚みが一定で、熱電対膜が保護された形態になる薄型熱電対を提供すること。
【解決手段】フィルム状基材１の両面にそれぞれ熱電対膜４，５がエッチングによりパターニングされるとともに、一方の熱電対膜４の端部４ａが露出する状態で窓１ａが設けられ、その露出した端部４ａが窓１ａを通して折り返されてもう一方の熱電対膜５の端部と重なり、その重なった部分で端部同士が溶接で接続されており、熱電対膜４，５を覆うようにしてフィルム状基材１の両面にそれぞれ保護層２，３が積層されている。薄型であってかつ全体の厚みが一定なものとなる。また、フィルム状基材１上にパターニングされた熱電対膜４，５が保護層２，３でカバーされた形態になる。 （もっと読む）

本発明における温度計測用チューブは、前記チューブを腐食及び溶融から保護するように冷却する高剛性なシャフト（１）と、前記チューブの端部に熱電対（９）を格納し、且つ貴金属から構成される端部取付部（１５）とを備えている組立体である。前記端部取付部は、耐腐食性及び高融点を有している。アルミナ被膜部（１３）は、２つの金属の間における電気化学的変化を含む腐食を防止するために、２つの金属の間に配置されている。
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【課題】 例えば、火力発電所等のボイラに設置した熱電対からの温度検出信号を運転制御装置に変換器を介して行う温度信号入力回路において、プラント運転中に変換器を調整するとプラントへの外乱が大きくなる恐れがあり、運転制御装置の制御回路を手動制御にするか、又は、プラント全体を停止して調整していた。
【解決手段】 熱制御を必要とする熱機関装置に設置した熱電対１からの温度検出信号を変換器３を介して前記熱機関装置の制御装置２に入力する温度信号入力回路において、変換器３から制御装置２に至る温度信号伝達回路に、デジタル温度信号を加算するバイアス回路１０を設けてなる温度信号入力回路。 （もっと読む）

【課題】
熱処理炉の温度制御装置に於いて、制御系を複雑にすることなく、温度制御の精度の向上を図る。
【解決手段】
炉内を複数のゾーンに分割し、該ゾーンそれぞれに対して少なくとも１つの温度検出器を設け、該温度検出器により温度検出した検出結果を基に前記ゾーン毎に炉内の加熱状態を制御する半導体製造装置に於いて、前記ゾーンの内、温度変化の最も大きいゾーンに対しては前記温度検出器を異なる位置に複数設け、該ゾーンに於ける前記温度検出器が配設される領域を他のゾーンに於ける前記温度検出器が配設される領域よりも大きくした。
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【課題】熱電対のバーンアウトを確実に検出する。
【解決手段】熱電対１０の出力端子にスイッチＳＷ１により選択的に電源＋Ｂを接続する。ＳＷ１の開閉に連動してＳＷ３を開閉制御し、熱電対１０の出力を検出する。ＳＷ１をＯＮするタイミングでコンパレータ２０で増幅器１２の出力を基準電圧Ｖｒｅｆと比較してバーンアウトを検出する。ＳＷ１のＯＦＦタイミングでＳＷ３をＯＮし、熱電対１０の出力を検出する。ＳＷ３のＯＦＦタイミングではキャパシタＣにより増幅器１２の出力をホールドして検出精度を維持する。 （もっと読む）

【課題】薄膜タイプでありながらも、全体の厚みが一定で、熱電対膜が保護された形態になる薄型熱電対を提供すること。
【解決手段】一方の熱電対膜３がパターニングされるとともにその熱電対膜３の端部が露出する状態で窓４が設けられた一方のフィルム状基材１と、他方の熱電対膜５がパターニングされるとともにその熱電対膜５の端部が露出する状態で窓６が設けられた他方のフィルム状基材２とが、熱電対膜３，５を内側としてかつ両者の窓４，６が重なるように貼り合わせられ、一方の熱電対膜３の端部と他方の熱電対膜５の端部とが窓４，６の部分で溶接されている。接合部分の厚みが窓４，６の中で吸収され、薄型であってかつ全体の厚みが一定なものとなる。また、熱電対膜３，５がフィルム状基材１，２の間に挟まれて保護された形態になる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、走査型熱顕微鏡のプローブに関する。
【解決手段】本発明に係る走査型顕微鏡のプローブは、カンチレバーと、該カンチレバーに形成される第一導電層と、該第一導電層に形成され、穴が設けられる絶縁層と、該絶縁層の表面に形成される第二導電層と、熱電対と、該熱電対の端部に設置されるカーボンナノチューブと、を含む。前記第一導電層は前記絶縁層の穴を通して前記第二導電層と接触して、前記熱電対が形成される。前記カーボンナノの一端は前記熱電対に接続される。 （もっと読む）

【課題】低コストでかつ長期間にわたって、高炉内溶銑温度をできるだけ精度良く推定しうる高炉内溶銑温度の推定方法を提供する。
【解決手段】高炉の出銑口の深度と略同等またはそれ以上の長さの金属棒に、その長手方向に沿う温度計収容室を設け、この温度計収容室に、２対の熱電対素子が長手方向の異なる位置に組み込まれたシース熱電対を収容してなる出銑口温度計を、炉内に突き出すことなく出銑口のマッド内に挿入し、前記シース熱電対で測定した２点の温度Ｔ_１およびＴ_２から、下記式に基づいて高炉内溶銑温度Ｔ_Ｐを推定する。
式 Ｔ_Ｐ＝Ｔ_Ｐ＝Ｔ_２＋（λ_Ｍ・Ｌ_２＋λ_Ｓ・Ｌ_３）／（λ_Ｍ・Ｌ_１）・（Ｔ_２−Ｔ_１）
ここに、Ｌ_１，Ｌ_２，Ｌ_３は図１中に示す距離、λ_Ｍはマッドの熱伝導率、λ_Ｓは金属棒の熱伝導率である。 （もっと読む）

【課題】 狭隘な場所に熱電対が設置できることが求められている。
【解決手段】 並列に配置した一対のＫ熱電対素線の＋側素線および−側素線をそれぞれＰＦＡ樹脂で被覆を施し、ＰＦＡ樹脂で被覆した２本の＋側素線と−側素線を束ねた外側にＰＦＡ樹脂の被覆を施した径方向断面の外形寸法を幅０．５ｍｍ以下で高さ０．２５ｍｍ以下の扁平状断面に形成したＰＦＡ樹脂被覆細径熱電対とした。 （もっと読む）