【課題】熱電材料の熱電能分布を測定すると共に熱伝導率を測定することができる熱電材料測定装置および測定方法を提供する。
【解決手段】熱電材料測定装置は、被測定材料の測定表面を撮影する光学カメラ、加熱ヒータが装備されたプローブ、被測定材料を載置して測定ポイントを位置決めするステージ機構、これらを駆動する制御装置、および測定データのデータ処理を行うデータ処理装置を備え、被測定試料の局所的な熱伝導率と熱電能と表面光学画像を１度の測定で収集して２次元平面位置情報と熱物性値の相関を解析する。熱電材料測定装置において、被測定試料の局所的な熱伝導率と熱電能の測定は、加熱されたプローブに組み込まれた微小熱流計により測定された熱流によって、プローブ接触点の被測定試料の表面温度を正確に推定することにより行う。 （もっと読む）

【課題】処理炉の加熱温度誤検知を防止し、ウェーハの熱処理不良を防止し、歩留りの向上、熱処理の信頼性を向上させる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板を収納し、処理する処理室と、収納された基板を加熱する加熱手段３と、該加熱手段３の温度を熱電対１５，１６，１７，１８の検出電圧に基づき検出し、該熱電対１５，１６，１７，１８により検出された温度に基づき前記加熱手段３を制御する制御手段２３を具備した基板処理装置に於いて、前記熱電対１５，１６，１７，１８と前記制御手段２３とは複数系列の補償導線８７，８８により接続され、前記加熱手段３の温度は前記複数系列の補償導線８７，８８を切換える切換手段８９、９０を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】屈曲した保護管内にセパレータと共に所定の位置に複数の温度センサを異なる位置に配置して成る屈曲型温度センサを製造する方法を提供。
【解決手段】屈曲部の両側に、直線状に延在し、又は一定の曲率で湾曲する前方セパレータ部分１Ａと直線状に延在する後方セパレータ部分１Ｂとを有するセパレータ１に熱電対３の素線を沿わせて熱電対３を配置した後に、前記前方セパレータ部分１Ａを、直線状に延在する前部保護管用素管２Ａ内に配置し、又は前記前方セパレータ部分１Ａと同じ曲率を有する湾曲した前部保護管用素管２Ａ内に配置すると共に、前記後方セパレータ部分１Ｂを直線状に延在する後部保護管用素管内２Ｂに配置し、次いで前部保護管用素管２Ａと後部保護管用素管２Ｂとの突合せ部を一体化することを特徴とする屈曲型温度センサ６の製造方法。 （もっと読む）

【課題】２つの熱電対を使用した温度監視に、種々の故障・異常発生状況に応じて適切な熱電対を選択した温度監視ができる。
【解決手段】切替スイッチ２３は一対の熱電対１２、１３で検出する温度検出信号を切り替えて出力する。監視部２８は熱電対の一方異常、両方異常、差分異常を検出する。切替制御部２７は手動／自動選択用スイッチ１７が手動選択モードにあるときには温度選択用スイッチ１８の操作に応じて切替スイッチ２３を切り替え、自動モードにあって一方異常のときにタイマ３０の確認時間後に他方の熱電対に切り替える。切替スイッチ２４は両方異常で一次遅れ回路３２の出力から保持回路３１の出力に切り替える。切替スイッチ２５は両方異常を検出したときからタイマ３３の時間後にバーンアウト信号に切り替える。 （もっと読む）

【課題】オペアンプのオフセット電圧を相殺することを目的とする。
【解決手段】熱電対２で発生した直流電圧を増幅するオペアンプ２１を備えた温度測定装置１内部の初段増幅回路１２であって、熱電対で発生した直流電圧の入力をＯＮ／ＯＦＦする第１ＳＷ２３と、オペアンプのオフセット電圧を充電するＣＲ回路２４と、オペアンプ及びＣＲ回路間の接続をＯＮ／ＯＦＦする第２ＳＷ２５と、オフセット電圧がゼロになるように、ＣＲ回路にて充電した電圧を減衰してオペアンプに入力するオフセット電圧調整部２６と、オペアンプ及びオフセット電圧調整部間の接続をＯＮ／ＯＦＦする第３ＳＷ２７と、第１ＳＷをＯＮ、第２ＳＷをＯＮ、第３ＳＷをＯＦＦ制御することでオフセット電圧検出動作を実行すると共に、第１ＳＷをＯＦＦ、第２ＳＷをＯＦＦ、第３ＳＷをＯＮ制御することでオフセット電圧相殺動作を実行するクロック回路２９とを有している。 （もっと読む）

【課題】バネから直接に荷重や変位情報を簡単に取り出す検出方法とその装置を提供する。
【解決手段】バネ１が引張，圧縮の変形をする時にそれ自体の微小な抵抗変化を電圧変化，あるいは抵抗変化そのものを検出する。電圧変化として測定する場合，平衡回路として４個の抵抗を組んで成るホイートストンブリッジ回路のアクティブ抵抗３に並列，あるいは直列にバネに取り付けたリード線２を介してバネを抵抗体として導入して検出する。バネ以外の板や棒材の変形についても同じである。 （もっと読む）

【課題】熱電対を加熱容器の内側に配置し、その測温接点がある同熱電対の上端部側を加熱プレートの背面に埋め込んだ構造においても、正確に且つ障害なく温度を測定出来るようにする。
【解決手段】背面電子衝撃加熱装置は、加熱容器１の天板となっている加熱プレート２の背後から加速された電子を衝突させて電子衝撃加熱するフィラメント９を有するものである。前記加熱プレート２の温度を測定する熱電対５の測温接点側の端部を加熱プレート２に絶縁状態で埋め込むことにより、この熱電対５をアース接続されている加熱容器１と電気的に絶縁すると共に、フィラメント９から放出される熱電子に対して熱電対５を遮蔽部材１３で遮蔽した。 （もっと読む）

電気回路の瞬間抵抗値を判定する方法及び電気回路の瞬間抵抗値を判定する計測システムが開示される。方法の例示的な実施例は、回路のその場での瞬間電圧及び回路のその場での瞬間電流を計測し、且つ、瞬間抵抗値を算出する。この方法には、オプションとしての温度計測を包含可能であり、算出された瞬間抵抗値を計測された温度に対して関係付けることができる。方法は、位相角起動型負荷及びゼロクロス（時間比例配分型）負荷に対して適用可能である。
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【課題】通常の半導体ウェハと同様に自動搬送装置により搬送することができて、半導体ウェハ処理時における温度を容易に且つ精密に測定できる半導体製造装置用温度測定具、その温度測定具を用いた半導体製造装置の温度測定方法、及びその温度測定具を用いて温度を測定する半導体製造装置を提供する。
【解決手段】温度測定具１０は、シリコンウェハからなる基板１１と、成膜法、フォトリソグラフィ法及びエッチング法を使用して形成された熱電対１２と、基板１１の縁部に配置されて熱電対１２と接続されたクランプパッド（電極パッド）１３とにより構成されている。半導体製造装置は、そのクランパーピン（固定具）をクランプパッド１３に接触させて温度測定具１０をウェハ搭載部に固定する。熱電対１２の出力は、クランパーピンを介して外部に引き出される。 （もっと読む）

【課題】検査用の熱源を要することなく、自動組立ラインの溶接工程の溶接熱を利用してサーモカップルの検査を全数について自動的に効率良く行うことができるサーモカップルの検査方法を提供すること。
【解決手段】サーモカップル１の溶接工程を含む自動組立ラインの前記溶接工程の後に実施されるサーモカップル１の検査方法として、前記溶接工程でのサーモカップル１の溶接時の溶接熱によってサーモカップル１に発生する起電力を電圧計８で計測し、その計測された起電力値に基づいて制御手段１１がサーモカップル１の正常／異常を自動的に検査するようにする。 （もっと読む）